技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種基板處理裝置、氣體供給方法、基板處理方法和成膜方法。該基板處理裝置具有：處理容器，其能夠收納基板；壓力檢測(cè)單元，其測(cè)定該處理容器內(nèi)的壓力；排氣側(cè)閥，其設(shè)置于將該處理容器內(nèi)進(jìn)行排氣的排氣管；氣體貯存罐，其經(jīng)由氣體供給管而與所述處理容器連接；氣體量測(cè)定單元，其測(cè)定該氣體貯存罐中貯存的氣體量；以及控制閥，其設(shè)置于所述第一氣體供給管，基于由所述壓力檢測(cè)單元檢測(cè)出的所述處理容器內(nèi)的壓力改變閥開(kāi)度，來(lái)控制從所述氣體貯存罐向所述處理容器供給的氣體的流路面積，由此能夠控制所述處理容器內(nèi)的壓力。

技術(shù)研發(fā)人員：菊池一行;岡部庸之;福島講平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.28
技術(shù)公布日：2017.10.10