技術特征：

技術總結
本發明公開一種泵電機殼表面硅薄膜沉積方法，包括以下操作步驟：（1）將泵電機殼放入活化液中浸泡20?30min，取出，用去離子水洗凈電機殼表面；（2）將活化后的泵電機殼放入真空室中，抽真空，之后將真空室內的溫度升至150?170℃時，立即向其中充入甲硅烷氣體，繼續將真空室內的溫度升至280?300℃，持續此溫度3.5?4小時，之后停止加熱，并向其中通入溫度為5?10℃、相對濕度為20?30%的空氣，直至真空室內溫度降至室溫時，取出泵電機殼。采用本發明提供的方法，在泵電機殼表面沉積硅薄膜，可以有效的提升泵電機殼的耐腐蝕能力，起到了長久有效的保護泵電機的作用，延長了泵的使用壽命和擴大了泵的應用領域。

技術研發人員：鳳元軍
受保護的技術使用者：安徽綠環泵業有限公司
技術研發日：2017.05.17
技術公布日：2017.10.24