本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及一種APF(Advanced patterning film)薄膜沉積設(shè)備以及APF薄膜沉積通氣方法。
背景技術(shù)：
APF(Advanced patterning film)由不定型的碳為硬掩模做一些復(fù)雜的圖形定義，一般由乙炔(C2H2)在高溫電漿下裂解而成，而為了安全考量國(guó)家規(guī)定乙炔鋼瓶一定要加入丙酮作為溶劑，丙酮本身不會(huì)參與反應(yīng)。
由于丙酮的存在，實(shí)際乙炔氣體在流出的時(shí)候，不可避免的也會(huì)有一些丙酮揮發(fā)出來(lái)，實(shí)際的反應(yīng)氣體是乙炔和丙酮蒸汽的混合；特別是隨著鋼瓶?jī)?nèi)氣壓的下降，丙酮實(shí)際的沸點(diǎn)持續(xù)下降，導(dǎo)致丙酮的揮發(fā)隨著鋼瓶的使用越來(lái)越多，相應(yīng)的乙炔的濃度也持續(xù)下降，反應(yīng)到最終的APF膜厚也呈趨勢(shì)下降。
因此，在APF薄膜沉積領(lǐng)域，希望提供一種能夠優(yōu)化APF成膜穩(wěn)定性的技術(shù)方案。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在上述缺陷，提供一種能夠優(yōu)化APF成膜穩(wěn)定性的APF薄膜沉積設(shè)備以及相應(yīng)的能夠優(yōu)化APF成膜穩(wěn)定性的APF薄膜沉積通氣方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，根據(jù)本發(fā)明，提供了一種APF薄膜沉積設(shè)備，包括：供氣鋼瓶、冷凝管以及氣體板；其中，供氣鋼瓶中包含乙炔和丙酮，而且供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板通入氣體。
優(yōu)選地，所述冷凝管是雙套管。
優(yōu)選地，雙套管的外管通冷凝劑。
優(yōu)選地，雙套管的內(nèi)管流通氣體。
優(yōu)選地，氣體板包括：用于通入乙炔氣體的依次連接的第一上游氣閥、第一質(zhì)量流量控制器和第一下游氣閥，用于通入第一惰性氣體的依次連接的第二上游氣閥、第二質(zhì)量流量控制器和第二下游氣閥，用于通入第二惰性氣體的依次連接的第三上游氣閥、第三質(zhì)量流量控制器和第三下游氣閥。
優(yōu)選地，第一惰性氣體是He氣。
優(yōu)選地，第二惰性氣體是Ar氣。
優(yōu)選地，氣體板還包括：與第一下游氣閥和第二下游氣閥連接的第一出口閥門(mén)、以及與第三下游氣閥連接的第二出口閥門(mén)，第一出口閥門(mén)和第二出口閥門(mén)經(jīng)由過(guò)濾器連接至腔室。
為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，根據(jù)本發(fā)明，還提供了一種APF薄膜沉積通氣方法，包括：利用包含乙炔和丙酮的供氣鋼瓶經(jīng)由冷凝管向氣體板供氣，其中冷凝管過(guò)濾掉被揮發(fā)出來(lái)丙酮蒸汽，使得經(jīng)由冷凝管進(jìn)入氣體板的氣體的乙炔純度相對(duì)于供氣鋼瓶更高。
本發(fā)明增加冷凝管設(shè)計(jì)，冷凝回流少量揮發(fā)出的丙酮(溶劑)的蒸汽，大大減少因鋼瓶壓力變化帶來(lái)的反應(yīng)氣體乙炔的濃度變化，從而使最終的膜厚更穩(wěn)定。由此，本發(fā)明解決了APF膜厚在一個(gè)乙炔鋼瓶周期內(nèi)膜厚持續(xù)下降的問(wèn)題，能夠優(yōu)化APF成膜穩(wěn)定性。
附圖說(shuō)明
結(jié)合附圖，并通過(guò)參考下面的詳細(xì)描述，將會(huì)更容易地對(duì)本發(fā)明有更完整的理解并且更容易地理解其伴隨的優(yōu)點(diǎn)和特征，其中：
圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的APF薄膜沉積設(shè)備的示意圖。
需要說(shuō)明的是，附圖用于說(shuō)明本發(fā)明，而非限制本發(fā)明。注意，表示結(jié)構(gòu)的附圖可能并非按比例繪制。并且，附圖中，相同或者類(lèi)似的元件標(biāo)有相同或者類(lèi)似的標(biāo)號(hào)。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚和易懂，下面結(jié)合具體實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容進(jìn)行詳細(xì)描述。
圖1示意性地示出了根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的APF薄膜沉積設(shè)備的示意圖。
如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的APF薄膜沉積設(shè)備包括：供氣鋼瓶100、冷凝管200以及氣體板300；其中，供氣鋼瓶100中包含乙炔和丙酮，而且供氣鋼瓶100經(jīng)由冷凝管200向氣體板300通入氣體。
優(yōu)選地，所述冷凝管是雙套管；雙套管的外管通冷凝劑，雙套管的內(nèi)管流通氣體。
如圖1所示，氣體板300包括：用于通入乙炔氣體的依次連接的第一上游氣閥11、第一質(zhì)量流量控制器10和第一下游氣閥12，用于通入第一惰性氣體的依次連接的第二上游氣閥21、第二質(zhì)量流量控制器20和第二下游氣閥22，用于通入第二惰性氣體的依次連接的第三上游氣閥31、第三質(zhì)量流量控制器30和第三下游氣閥32。
例如，第一惰性氣體是He氣。例如，第二惰性氣體是Ar氣。
如圖1所示，氣體板300還包括：與第一下游氣閥12和第二下游氣閥22連接的第一出口閥門(mén)41、以及與第三下游氣閥32連接的第二出口閥門(mén)42，第一出口閥門(mén)41和第二出口閥門(mén)42經(jīng)由過(guò)濾器600連接至腔室500。
由此，根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的APF薄膜沉積通氣方法可以包括：利用包含乙炔和丙酮的供氣鋼瓶100經(jīng)由冷凝管向氣體板300供氣，其中冷凝管過(guò)濾掉被揮發(fā)出來(lái)丙酮蒸汽，使得經(jīng)由冷凝管進(jìn)入氣體板300的氣體的乙炔純度相對(duì)于供氣鋼瓶100更高。
可以看出，本發(fā)明在乙炔的氣體管路中，增加一段冷凝管，過(guò)濾掉被揮發(fā)出來(lái)丙酮蒸汽；冷凝管讓沸點(diǎn)較高的丙酮蒸汽冷凝回流，使的乙炔通過(guò)質(zhì)量流量控制器的時(shí)候是100％的乙炔氣體，徹底消除了丙酮帶來(lái)的影響
本發(fā)明增加冷凝管設(shè)計(jì)，冷凝回流少量揮發(fā)出的丙酮(溶劑)的蒸汽，大大減少因鋼瓶壓力變化帶來(lái)的反應(yīng)氣體乙炔的濃度變化，從而使最終的膜厚更穩(wěn)定。由此，本發(fā)明解決了APF膜厚在一個(gè)乙炔鋼瓶周期內(nèi)膜厚持續(xù)下降的問(wèn)題，能夠優(yōu)化APF成膜穩(wěn)定性。
此外，需要說(shuō)明的是，除非特別說(shuō)明或者指出，否則說(shuō)明書(shū)中的術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等描述僅僅用于區(qū)分說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)組件、元素、步驟等，而不是用于表示各個(gè)組件、元素、步驟之間的邏輯關(guān)系或者順序關(guān)系等。
可以理解的是，雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例披露如上，然而上述實(shí)施例并非用以限定本發(fā)明。對(duì)于任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
而且還應(yīng)該理解的是，本發(fā)明并不限于此處描述的特定的方法、化合物、材料、制造技術(shù)、用法和應(yīng)用，它們可以變化。還應(yīng)該理解的是，此處描述的術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)描述特定實(shí)施例，而不是用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。必須注意的是，此處的以及所附權(quán)利要求中使用的單數(shù)形式“一個(gè)”、“一種”以及“該”包括復(fù)數(shù)基準(zhǔn)，除非上下文明確表示相反意思。因此，例如，對(duì)“一個(gè)元素”的引述意味著對(duì)一個(gè)或多個(gè)元素的引述，并且包括本領(lǐng)域技術(shù)人員已知的它的等價(jià)物。類(lèi)似地，作為另一示例，對(duì)“一個(gè)步驟”或“一個(gè)裝置”的引述意味著對(duì)一個(gè)或多個(gè)步驟或裝置的引述，并且可能包括次級(jí)步驟以及次級(jí)裝置。應(yīng)該以最廣義的含義來(lái)理解使用的所有連詞。因此，詞語(yǔ)“或”應(yīng)該被理解為具有邏輯“或”的定義，而不是邏輯“異或”的定義，除非上下文明確表示相反意思。此處描述的結(jié)構(gòu)將被理解為還引述該結(jié)構(gòu)的功能等效物?？杀唤忉尀榻频恼Z(yǔ)言應(yīng)該被那樣理解，除非上下文明確表示相反意思。
而且，本發(fā)明實(shí)施例的方法和/或系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)可包括手動(dòng)、自動(dòng)或組合地執(zhí)行所選任務(wù)。而且，根據(jù)本發(fā)明的方法和/或系統(tǒng)的實(shí)施例的實(shí)際器械和設(shè)備，可利用操作系統(tǒng)通過(guò)硬件、軟件或其組合實(shí)現(xiàn)幾個(gè)所選任務(wù)。