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一種有機真空蒸發源的制作方法

文檔序號:11647644閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
本發明公開了一種有機真空蒸發源,包括:加熱系統、冷卻系統、測溫系統、控制系統和連接組件;加熱系統中電熱絲通電對金屬導熱體進行加熱,達到有機物蒸發溫度蒸發產生氣相分子,通過控制系統旋轉擋板的旋轉閉合實現對鍍膜過程的開始與結束,冷卻系統始終處于工作狀態,以免加熱溫度過高及實現金屬導熱體腔內坩堝的均勻受熱,測溫系統的電偶絲直接測量金屬導熱體溫度進而反饋有機物的加熱溫度,連接組件的合理連接保證整個設備正常工作。

技術研發人員:郭方準;李紅娟;臧侃;董華軍;張曉敏;鄭研
受保護的技術使用者:大連交通大學
技術研發日:2017.05.17
技術公布日:2017.07.28
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