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一種小功率連續放電制備多功能性納米防護涂層的方法與流程

文檔序號:11224495閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
一種小功率連續放電制備多功能性納米防護涂層的方法,屬于等離子體技術領域,該方法中,將反應腔室內的真空度抽到10~200毫托,并通入惰性氣體He或者Ar,開啟運動機構,使基材在反應腔室內產生運動,通入單體蒸汽到反應腔室內,等離子體放電,進行化學氣相沉積,沉積過程包括預處理階段和鍍膜階段,預處理階段等離子體放電方式為大功率連續放電,鍍膜階段等離子體放電方式為小功率連續放電。涂層制備過程中,基材的運動特性和等離子體放電能量組合聯動。制備過程中等離子體放電的同時,基材產生運動,提高了涂層沉積效率,并改善了涂層厚度的均勻性和致密性。所制備的涂層具有防水防潮,防霉菌,耐酸、堿性溶劑,耐酸、堿性鹽霧等特性。

技術研發人員:宗堅
受保護的技術使用者:無錫榮堅五金工具有限公司
技術研發日:2017.05.21
技術公布日:2017.09.08
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