本發明涉及半導體光電材料
技術領域：
，尤其涉及一種化學氣相沉膜裝置。
背景技術：
：由于半導體工藝的發展，制備高質量的半導體薄膜工藝變得越來越重要，因此，化學氣相沉膜裝置在沉積半導體薄膜材料中得到了廣泛的應用。其中，化學氣相沉膜裝置在進行t/c(transferchamber，傳遞腔體)保養維修后，需要對傳遞腔體進行氦氣測漏檢測，來確認是否可以進入復機程序。在氦氣測漏檢測的過程中，先將傳遞腔體抽到真空，再連接氦氣測漏儀，從傳遞腔體外部使用氦氣進行檢測。另外，還可以使用設備工作站內的功能進行保壓測漏ror(riseofrate)，即，將傳遞腔體抽到真空后，關閉閥門，進行十分鐘保壓，若檢測到傳遞腔體內部的壓強小于1mtorr(毫托)，則表示傳遞腔體無漏氣，可以復機。因為傳遞腔體本身的容積較大，當需要進行測漏檢測時，對傳遞腔體(t/c)進行抽真空需要耗時大約五十分鐘，這將影響保養維修后復機的工作時間。因此，需要提供一種能夠快速復機的化學氣相沉膜裝置。技術實現要素：本發明的主要目的是提供一種化學氣相沉膜裝置，旨在解決對承載腔體進行抽真空耗時較長而影響復機時間的問題。為實現上述目的，本發明提出的化學氣相沉膜裝置包括：制程腔體，所述制程腔體用于對基板進行化學氣相沉膜；傳遞腔體，所述傳遞腔體用于將所述基板傳入所述制程腔體內；承載腔體，所述承載腔體用于將所述基板傳入所述傳遞腔體內；第一真空泵，所述第一真空泵用于對所述傳遞腔體進行抽真空；第二真空泵，所述第二真空泵用于對所述承載腔體進行抽真空；以及，連通管路，所述傳遞腔體與所述第二真空泵還通過所述連通管路連接。可選地，所述傳遞腔體與所述第一真空泵通過第一排氣管路連接，且所述承載腔體與所述第二真空泵通過第二排氣管路連接。可選地，所述第一排氣管路的兩端分別設置有第一伸縮管路，所述第二排氣管路的兩端分別設置有第二伸縮管路，所述傳遞腔體與所述第一真空泵分別通過所述第一伸縮管路與所述第一排氣管路連接，所述承載腔體與所述第二真空泵分別通過所述第二伸縮管路與所述第二排氣管路連接。可選地，所述第一排氣管路的外徑為12cm～18cm，所述第二排氣管路的外徑為8cm～12cm。可選地，所述連通管路的一端與所述第一排氣管路連通且所述連通管路的另一端與所述第二排氣管路連通。可選地，所述連通管路的外徑為3cm～7cm。可選地，所述連通管路上設置有連通閥門。可選地，所述連通閥門為球閥、蝶閥或者閘閥。可選地，所述連通閥門為手動截止閥、電動截止閥或者液控截止閥。可選地，所述第二真空泵的數量為多個。本發明技術方案中，充分利用對承載腔體進行抽真空的第二真空泵，通過在傳遞腔體與第二真空泵之間增設連通管路進行連接，以使得第一真空泵與第二真空泵能夠同時對傳遞腔體進行抽真空，可以加快對傳遞腔體進行抽真空的速度，因而，縮短了保養后進行抽真空的時間，以提早實現復機。并且，同時采用第一真空泵與第二真空泵對傳遞腔體進行抽真空，可以減少抽真空時間。附圖說明為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖示出的結構獲得其他的附圖。圖1為本發明實施例的化學氣相沉膜裝置的結構模塊圖；圖2本發明實施例的化學氣相沉膜裝置的部分結構的示意圖。附圖標號說明：標號名稱標號名稱101傳遞腔體102第一真空泵103承載腔體104第二真空泵105第一伸縮管路106第二伸縮管路107第一排氣管路108第二排氣管路109連通管路110連通閥門111第一閥門112第二閥門本發明目的的實現、功能特點及優點將結合實施例，參照附圖做進一步說明。具體實施例下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明的一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有作出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。需要說明，本發明實施例中所有方向性指示(諸如上、下、左、右、前、后……)僅用于解釋在某一特定姿態(如附圖所示)下各部件之間的相對位置關系、運動情況等，如果該特定姿態發生改變時，則該方向性指示也相應地隨之改變。另外，在本發明中如涉及“第一”、“第二”等的描述僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示其相對重要性或者隱含指明所指示的技術特征的數量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隱含地包括至少一個該特征。在本發明的描述中，“多個”的含義是至少兩個，例如兩個，三個等，除非另有明確具體的限定。在本發明中，除非另有明確的規定和限定，術語“連接”、“固定”等應做廣義理解，例如，“固定”可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或成一體；可以是機械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內部的連通或兩個元件的相互作用關系，除非另有明確的限定。對于本領域的普通技術人員而言，可以根據具體情況理解上述術語在本發明中的具體含義。另外，本發明各個實施例之間的技術方案可以相互結合，但是必須是以本領域普通技術人員能夠實現為基礎，當技術方案的結合出現相互矛盾或無法實現時應當認為這種技術方案的結合不存在，也不在本發明要求的保護范圍之內。本發明提出一種化學氣相沉膜裝置，旨在解決對承載腔體進行抽真空耗時較長而影響復機時間的問題。請參照圖1和圖2，在本發明一種實施例中，化學氣相沉膜裝置包括用于對基板進行化學氣相沉膜的制程腔體、用于將基板傳入制程腔體內的傳遞腔體101、用于將物料傳入傳遞腔體101內的承載腔體103、用于對傳遞腔體101進行抽真空的第一真空泵102以及用于對承載腔體103進行抽真空的第二真空泵104，傳遞腔體101與第二真空泵104還通過連通管路109連接。其中，承載腔體103是唯一需要進行大氣與真空切換的腔體，在生產過程中承載腔體103位于傳遞腔體101的上游，是基板由大氣進入到真空的傳遞腔體101內的暫放區間。并且，傳遞腔體101內設置有真空機械手臂(未圖示)，其用于將基板傳送到制程腔體內。制程腔體是化學氣相沉膜的執行機構，傳送到制程腔體內的基板能夠在制程腔體內進行化學氣相沉膜而完成顯示面板的絕緣層、半導體層以及保護層等的制程。其中，制程腔體設置有用于向制程腔體內供氣的進氣管和在沉膜工藝完成后將制程腔體內的氣體排出的排氣管，以使得化學氣相沉膜所需要的氣體能夠供應到制程腔體內，從而使化學氣相沉膜得以進行。此外，制程腔體上還設置有壓力計和加熱器等輔助元件，壓力計能夠對制程腔體內的壓力進行監控，加熱器能夠使制程腔體內部快速達到反應溫度，以保證化學氣相沉膜的順利進行。在該實施例中，充分利用對承載腔體103進行抽真空的第二真空泵104，通過在傳遞腔體101與第二真空泵104之間增設連通管路109進行連接，以使得第一真空泵102與第二真空泵104能夠同時對傳遞腔體101進行抽真空，可以加快對傳遞腔體101進行抽真空的速度，因而，縮短了保養后進行抽真空的時間，以提早實現復機。在某些實施方式中，同時采用第一真空泵102與第二真空泵104對傳遞腔體101進行抽真空，可以減少大概十五分鐘的抽真空時間。其中，在上述實施例中，傳遞腔體101與第一真空泵102可通過第一排氣管路107連接，且承載腔體103與第二真空泵104可通過第二排氣管路108連接，各個部件通過相應的管路進行穩定連接，以保證傳遞腔體101和承載腔體103的真空度，使得化學氣相沉膜工藝能夠順利進行。然而，考慮各個部件在組裝時會受到空間的限制，在可選的實施例中，使排氣管路上設置有伸縮管路，從而能夠根據待安裝部件的位置調整伸縮管路的長度，克服空間限制的問題來完成組裝。具體地，第一排氣管路107的兩端分別設置有第一伸縮管路105，第二排氣管路108的兩端分別設置有第二伸縮管路106，傳遞腔體101與第一真空泵102分別通過第一伸縮管路105與第一排氣管路107連接，承載腔體103與第二真空泵104分別通過第二伸縮管路106與第二排氣管路108連接。其中，第一伸縮管路105與第二伸縮管路106均可伸縮和彎曲，從而擴大傳遞腔體101與第一真空泵102之間連接以及承載腔體103與第二真空泵104之間連接的適應范圍，以降低各部件組裝時對空間的要求。其中，上述實施例中的第一伸縮管路105與第二伸縮管路106均可以為伸縮節，具體可為波紋伸縮節、套筒伸縮節或者方形自然補償伸縮節等。此外，為了進一步提升對傳遞腔體101進行抽真空的速度，第二真空泵104的數量可以設置為多個，從而有多個第二真空泵104跟第一真空泵102一起工作，完成對傳遞腔體101的抽真空。具體的安裝方式為，第二排氣管路108的一端分支出多個分支管路，各個分支管路上均設置伸縮管路，以使得各個分支管路均能夠通過伸縮管路與多個第二真空泵104一一對應地連接。在化學氣相沉膜裝置正常工作時，多個第二真空泵104相互配合，從而共同維持承載腔體103的真空狀態，提升化學氣相沉膜裝置的可靠性，即使其中部分第二真空泵104因故障不能工作，也不會影響化學氣相沉膜裝置的工作進程。而在進行檢修時，多個第二真空泵104又能夠起到大幅度縮短傳遞腔體101的抽真空時間的作用，因而可以充分利用第二真空泵104的性能。作為一種可選實施例，第一排氣管路107的外徑可為12cm～18cm，第二排氣管路108的外徑可為8cm～12cm。在某些實施例中，第一排氣管路107的外徑可為6寸，即，15cm左右，第二排氣管路108的外徑可為4寸，即，10cm左右。與此同時，連通管路109的外徑可以為3cm～7cm，并可選為2寸，即，5cm左右。如圖1所示，連通管路109的一端與第一排氣管路107連通且連通管路109的另一端與第二排氣管路108連通，從而使得第一真空泵102與第二真空泵104能夠同時對傳遞腔體101進行抽真空，可以加快對傳遞腔體101進行抽真空的速度。而為了適應化學氣相沉膜裝置的各個工藝過程，連通管路109上設置有連通閥門110。在需要第一真空泵102與第二真空泵104同時對傳遞腔體101進行抽真空時，打開連通閥門110，使第二真空泵104與傳遞腔體101之間形成連通的抽真空路徑，幫助傳遞腔體101快速完成抽真空，從而使化學氣相沉膜裝置能夠盡快復機并開始進行化學氣相沉膜。當化學氣相沉膜裝置進行正常工作時，關閉連通閥門110，使得傳遞腔體101與承載腔體103分別執行各自的功能，而不會相互影響。其中，連通閥門110的形式可以有多種，只要能夠使連通管路109實現連通與斷開的功能即可。例如，根據結構來分，連通閥門110可以為球閥、蝶閥或者閘閥等，或者，根據控制方式來分，連通閥門110可以為手動截止閥、電動截止閥或者液控截止閥等，這些不同結構或者不同控制方式的連通閥門110均可以適應于本發明的技術方案，用戶可以根據自己的實際情況選擇合適的連通閥門110。此外，為了便于對第一排氣管路107和第二排氣管路108進行控制，第一排氣管路107上設置有第一閥門111，而第二排氣管路108上設置有第二閥門112，而第一閥門111和第二閥門112的結構或者控制方式可以與連通閥門110的結構或者控制方式相同或者不同。以上所述僅為本發明的可選實施例，并非因此限制本發明的專利范圍，凡是在本發明的發明構思下，利用本發明說明書及附圖內容所作的等效結構變換，或直接/間接運用在其他相關的
技術領域：
均包括在本發明的專利保護范圍內。當前第1頁12