本發明涉及真空鍍膜設備的檢測技術領域，尤其涉及一種真空鍍膜設備的檢測系統。

背景技術：

由于現代科技發展的要求，真空鍍膜技術得到了飛速的發展。薄膜技術可以改變工件表面性能，提高工件耐磨損、抗氧化和耐腐蝕等性能，從而延長工件的使用壽命。薄膜技術也可以實現光學、電學、半導體薄膜器件的制備，具有很高的經濟價值。

現有的真空鍍膜設備按照其生產特點可以分為兩大類，分別是流水線式真空鍍膜設備和單體式真空鍍膜設備。其中，流水線式設備因為其可以連續化生產，效率高，被廣泛的使用。在不斷地生產過程中，流水線式真空鍍膜設備不可避免的會出現很多問題，有些問題在設備內部，無法被觀測，通常需要將真空設備暴露在大氣環境中，逐點檢查，對于過大的設備，檢測消耗的時間會更長，而對于真空設備來說，應盡量避免其內部在大氣中所處的時間。

技術實現要素：

為了解決上述問題，本發明提出一種真空鍍膜設備的檢測系統，不需要將真空鍍膜設備暴露在大氣環境中，在真空環境中便可以對所述真空鍍膜設備進行檢測。

本發明提出的具體技術方案為：提供一種真空鍍膜設備的檢測系統，所述檢測系統包括控制裝置和檢測裝置，所述檢測裝置包括攝像頭和驅動結構，所述攝像頭與所述驅動結構連接，所述控制裝置包括控制單元，所述攝像頭用于對所述真空鍍膜設備的內部進行拍攝，所述控制單元用于控制所述驅動結構驅動所述攝像頭移動。

進一步地，所述檢測裝置還包括底座，所述驅動結構包括推進桿和推進電機，所述推進電機固定于所述底座上，所述推進桿一端與所述推進電機連接、一端與所述攝像頭連接。

進一步地，所述驅動結構還包括設置于所述底座內的第一齒輪、第二齒輪和旋轉電機，所述第一齒輪與所述推進電機連接，所述第二齒輪與所述旋轉電機連接，所述第一齒輪與所述第二齒輪相互齒合。

進一步地，所述檢測裝置還包括設置于所述底座內的電池和電路板，所述電池與所述電路板連接，所述電路板分別與所述攝像頭、所述推進電機、所述旋轉電機連接。

進一步地，所述檢測裝置還包括分別與所述攝像頭、所述驅動結構連接的第一收發器，所述檢測裝置通過所述第一收發器與所述控制裝置進行通信。

進一步地，所述檢測系統還包括設置于所述檢測裝置表面的保護膜，所述保護膜由絕熱材料制成。

進一步地，所述檢測裝置還包括溫度傳感器，所述溫度傳感器與所述驅動結構連接。

進一步地，所述檢測裝置還包括設置于所述攝像頭的鏡頭上的隔熱結構。

進一步地，所述控制裝置還包括顯示屏，所述顯示屏用于對所述攝像頭拍攝的圖像進行顯示。

進一步地，所述控制裝置還包括第二收發器，所述第二收發器分別與所述顯示屏、所述控制單元連接，所述控制裝置通過所述第二收發器與所述檢測裝置進行通信。

本發明提供的真空鍍膜設備的檢測系統，其包括控制裝置和檢測裝置，所述檢測裝置包括攝像頭和驅動結構，所述控制裝置包括控制單元，所述控制單元可以控制所述驅動結構驅動所述攝像頭移動，所述攝像頭移動可以對所述真空鍍膜設備的內部的各個細節進行拍攝，從而在真空環境中便可以實現對真空鍍膜設備的內部進行檢測，避免真空鍍膜設備的內部暴露在大氣環境中。

附圖說明

通過結合附圖進行的以下描述，本發明的實施例的上述和其它方面、特點和優點將變得更加清楚，附圖中：

圖1為真空鍍膜設備的檢測系統的檢測裝置的結構示意圖；

圖2為真空鍍膜設備的檢測系統的控制裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下，將參照附圖來詳細描述本發明的實施例。然而，可以以許多不同的形式來實施本發明，并且本發明不應該被解釋為局限于這里闡述的具體實施例。相反，提供這些實施例是為了解釋本發明的原理及其實際應用，從而使本領域的其他技術人員能夠理解本發明的各種實施例和適合于特定預期應用的各種修改。

參照圖1、圖2，本實施例提供的真空鍍膜設備的檢測系統包括檢測裝置1和控制裝置2。檢測裝置1包括攝像頭12和驅動結構13，攝像頭12與驅動結構13連接。控制裝置2包括控制單元21，攝像頭12用于對真空鍍膜設備的內部進行拍攝，控制單元21用于控制驅動結構13驅動攝像頭12移動。

檢測裝置1固定安裝在一基架(圖未標)上，在需要對真空鍍膜設備的內部進行檢測時，檢測裝置1隨基架一起進入真空鍍膜設備的內部，通過攝像頭12對真空鍍膜設備的內部進行拍攝，控制單元21用于控制驅動結構13驅動攝像頭12的移動，以使得攝像頭12能夠對真空鍍膜設備的內部的各個細節進行拍攝。

為了能夠調節攝像頭12的垂直高度，檢測裝置1還包括底座14，驅動結構13包括推進桿13a和推進電機13b。底座14固定于基架上，推進電機13b固定于底座14上，推進桿13a一端與推進電機13b連接、一端與攝像頭12連接。控制單元21可以控制推進電機13b的轉動方向，通過轉動方向的改變來調節攝像頭12的移動方向，例如，當推進電機13b順時針轉動時，推進桿13a帶動攝像頭12朝著遠離推進電機13b的方向移動，當推進電機13b逆時針轉動時，推進桿13a帶動攝像頭12朝著靠近推進電機13b的方向移動。通過推進電機13b便可以驅動攝像頭12在垂直方向上移動。

驅動結構13還包括設置于底座14內的第一齒輪13c、第二齒輪13d和旋轉電機13e。第一齒輪13c與推進電機13b連接，第二齒輪13d與旋轉電機13e連接，第一齒輪13c與第二齒輪13d相互齒合。旋轉電機13e帶動第二齒輪13d轉動，第二齒輪13d通過齒合的方式帶動第一齒輪13c轉動并帶動推進電機13b一起轉動，推進電機13b轉動的同時帶動推進桿13a和攝像頭12一起轉動，從而使得攝像頭12能夠在水平面內轉動，以從不同角度對真空鍍膜設備的內部的細節進行拍攝。優選的，第二齒輪13d的齒輪尺寸小于第一齒輪13c的齒輪尺寸，這樣可以更精確的控制攝像頭12的偏轉角度。

檢測裝置1還包括設置于底座14內的電池15和電路板16，電池15與電路板16連接，電路板16分別與攝像頭12、推進電機13b、旋轉電機13e連接，電池15用于給推進電機13b和旋轉電機13e供電。

檢測裝置1還包括分別與攝像頭12、驅動結構13連接的第一收發器17，第一收發器17通過電路板16與攝像頭12、驅動結構13連接。檢測裝置1通過第一收發器17與控制裝置2進行通信。具體的，第一收發器17用于將攝像頭12拍攝的圖像信息發送給控制裝置2，同時，第一收發器17用于接收控制單元21的控制信息并將控制信息發送給檢測裝置1，檢測裝置1再根據控制信息驅動推進電機13b和旋轉電機13e的運動。

為了能夠在高溫環境中對真空鍍膜設備進行檢測，本實施例中的檢測系統還包括設置于檢測裝置1表面的保護膜11，保護膜11是由絕熱材料制成，保護膜11覆蓋攝像頭12、推進桿13a、推進電機13b、第一收發器17及底座14的表面，通過保護膜11可以很好的對檢測裝置1進行保護。檢測裝置1還包括溫度傳感器18，溫度傳感器18與驅動結構13連接。具體的，溫度傳感器18固定在推進桿13a裝設有攝像頭12的一端。這樣，溫度傳感器18便可以和攝像頭12一起移動，便于對真空鍍膜設備內部的不同區域的溫度進行檢測，通過溫度傳感器18可以對真空鍍膜設備的內部的溫度進行監控，以防止溫度過高對檢測裝置1造成損壞，這里，保護膜11也覆蓋于溫度傳感器18的表面。本實施例中的保護膜11由多個分離的部分組成，多個分離的部分分別覆蓋于檢測裝置1的不同的元件的表面即多個分離的部分分別覆蓋于攝像頭12、推進桿13a、推進電機13b、第一收發器17、底座14及溫度傳感器18的表面。

檢測裝置1還包括設置于攝像頭12的鏡頭上的隔熱結構19。隔熱結構19包括多層間隔設置的石英片。通過隔熱結構19可以防止攝像頭12的鏡頭在高溫環境下受到損壞。

底座14上開設有用于給電池15充電的接口14a，底座14上還設置有用于遮擋接口14a的隔熱板14b，當需要充電時，打開隔熱板14b電源線從接口14a中穿過并可以對電池15充電，當不需要充電時，隔熱板14b遮擋接口14a，在檢測裝置1對真空鍍膜設備的內部進行檢測時，可以通過隔熱板14b對底座14內的元件進行保護，防止這些元件在高溫環境中受到損壞。

控制裝置2還包括顯示屏22，顯示屏22包括圖像顯示窗口22a和溫度顯示窗口22b，圖像顯示窗口22a用于對攝像頭12拍攝的圖像進行顯示，溫度顯示窗口22b用于對溫度傳感器18檢測到的溫度進行顯示。

控制裝置2還包括按鍵單元23，按鍵單元23位于顯示屏22上，其與控制單元21連接，其中，按鍵單元23包括上移按鈕23a、下移按鈕23b、順時針旋轉按鈕23c及逆時針旋轉按鈕23d。上移按鈕23a用于控制攝像頭12朝著遠離推進電機13b的方向運動，下移按鈕23b用于控制攝像頭12朝著靠近推進電機13b的方向運動，順時針旋轉按鈕23c和逆時針旋轉按鈕23d用于控制攝像頭12在水平面內順時針轉動或逆時針轉動。這里，按鍵單元23也可以是虛擬按鍵，例如，嵌入在顯示屏22中的觸控按鈕，通過觸摸按鍵單元23就可以控制攝像頭12的移動。

控制裝置2還包括第二收發器24，第二收發器24分別與顯示屏22、控制單元21連接，控制裝置2通過第二收發器24與檢測裝置1進行通信。具體的，第二收發器24用于接收第一收發器17的消息，包括攝像頭12拍攝的圖像信息及溫度傳感器18檢測到的溫度信息，同時，第二收發器24用于將控制單元21的控制信息發送給第一收發器17。本實施例中的第一收發器17和第二收發器24之間通過無線方式進行通信。

本實施例提供的檢測系統能夠在真空環境中對真空鍍膜設備的內部進行檢測，避免真空鍍膜設備的內部暴露在大氣環境中。此外，本實施例提供的檢測系統還能夠在高溫環境中對真空鍍膜設備的內部進行檢測。

以上所述僅是本申請的具體實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本申請原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本申請的保護范圍。