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一種卡點位置可調的石墨舟的制作方法

文檔序號:11366485閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:它主要由絕緣棒和在水平方向上排列的數個單元舟片組成,所述單元舟片為豎向設置的片狀體,相鄰的單元舟片之間具有間隙,所述絕緣棒于各單元舟片的周緣貫穿而將全部的單元舟片連接固定在一起,位于兩外側的單元舟片的內外表面上設有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽,位于每個外側單元舟片內外表面上的凹槽相對應,在凹槽的槽底面上設有貫通該對應凹槽的用于抽真空的細孔,位于中間的單元舟片上設有若干與硅片形狀相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔,在所述凹槽和通孔的周邊區域中設有用于固定硅片的卡點和用于安裝卡點的卡孔,所述凹槽和通孔的口緣形狀為正方形四個邊角圓弧過渡的形狀,主要由頂邊、底邊和兩條側邊組成,所述卡點位于凹槽和通孔的周邊區域中并分別靠近底邊和側邊,所述卡孔靠近底邊和側邊的每一條邊側至少設置兩個,所述卡點可拆卸安裝不同的卡孔中以便調節卡點的位置。

2.根據權利要求1所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:所述單元舟片的數量為2~50,相鄰單元舟片之間的間距為5~50mm。

3.根據權利要求2所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:位于外側的單元舟片每一面上的凹槽的數量為2~20,位于每個中間的單元舟片上的通孔的數量為2~20,所述凹槽和通孔在單元舟片上呈陣列均勻分布,陣列形狀是正方形、長方形、圓形或六邊形。

4.根據權利要求3所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:所述卡孔在所述凹槽和通孔的周邊區域中均勻分布,所述卡孔為圓形孔,其直徑為2~10mm。

5.根據權利要求4所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:相鄰卡孔的間距為5~50mm。

6.根據權利要求5所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:位于每個凹槽和通孔周邊區域中的卡點的數量為3~10個。

7.根據權利要求6所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:所述卡點主要由用于安裝在單元舟片安裝孔中的圓柱形安裝部、一對卡塊和安裝軸組成,所述安裝軸連接安裝部和卡塊,在安裝部和卡塊之間形成用于卡合硅片的卡口,所述卡塊為中空的三角形塊狀體或中空的圓柱形塊狀體,所述安裝軸連接在卡塊的內頂面上,在所述安裝軸與卡塊的內壁之間設有連接桿,所述卡塊不遮擋硅片表面相對應的區域以便鍍膜均勻。

8.根據權利要求7所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:所述卡點的總厚度為2~6mm。

9.根據權利要求8所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:所述卡點橫截面的最大直徑為2~8mm。

10.根據權利要求9所述的卡點位置可調的石墨舟,其特征在于:所述絕緣棒采用陶瓷棒。

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