本實用新型涉及液晶產品制作技術領域，尤其涉及一種蒸鍍系統。

背景技術：

市場廣泛使用的屏幕是LCD(Liquid Crystal Display,液晶顯示器)和OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)，而OLED主要應用于小尺寸面板。OLED與LCD相比，其顯示具有輕薄，低功耗，高對比度，高色域，可以實現柔性顯示等優點，是下一代顯示器的發展趨勢。OLED顯示包括PMOLED和AMOLED顯示，其中AMOLED顯示的實現方式有LTPS背板+精細金屬掩膜(FMM Mask)方式，和Oxide背板+WOLED+彩膜的方式。前者主要應用于小尺寸面板，對應手機和移動應用；后者主要應用于大尺寸面板，對應Monitor和電視等應用。現在LTPS背板+Mask的方式已經初步成熟，實現了量產。OLED顯示技術和產業的國家和地區主要集中在亞洲，OLED市場前景廣闊。

OLED蒸鍍是將蒸鍍材料通過Open/FMM Mask蒸鍍到Glass(玻璃基板)上的一種方法，由于在蒸鍍時，基板蒸鍍面朝下，基板下方是掩模板，用于運輸基板的機器人手臂抓取在Glass的邊緣位置，由于基板的自身的重力導致基板中間有下垂的現象，目前掩模板與基板之間的連接是通過磁力吸附掩模板的方式，這樣導致掩模板與基板出現弧形狀態，易出現掩模板與基板局部貼合不緊密以及局部對位超出預設要求形成混色的不良現象。

技術實現要素：

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種蒸鍍系統，減少基板的下垂量，并且防止基板的破損。

為了達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種蒸鍍系統，包括：

承載臺，具有一用于承載基板的承載面；

固定結構，設置于所述承載臺上，用于將基板固定于所述承載面上；

取放結構，設置于所述承載臺上與所述承載面相對的第一連接面上，能夠與機器人手臂配合以實現所述承載臺的翻轉或運輸。

進一步的，基板與所述承載臺連接的第二連接面上設有金屬層，所述承載臺內設中空腔體，所述固定結構包括：

磁力吸附部，設于所述中空腔體內；

移動控制部，用于控制所述磁力吸附部在第一狀態和第二狀態間轉換；

其中，所述第一狀態為，所述磁力吸附部在所述移動控制部的控制下向靠近基板的方向移動至預設位置以將基板吸附于所述承載面上；

所述第二狀態為，所述磁力吸附部在所述移動控制部的控制下向遠離所述承載面的方向移動以使得基板脫離所述磁力吸附部的磁力吸附。

進一步的，所述磁力吸附部為可移動的設置于所述中空腔體內的磁力吸附板。

進一步的，所述移動控制部包括：

驅動單元，包括一驅動電機；

傳動單元，一端與所述磁力吸附部連接，另一端穿過所述第一連接面與所述驅動單元傳動連接。

進一步的，所述承載面上設有多個與所述中空腔體連通的通孔，所述承載臺上與所述承載面相鄰或相對的面上設有與所述中空腔體連通的通孔。

進一步的，所述承載面為與基板的形狀相同的平面結構，在承載基板時，所述承載面的中心與基板的中心重合。

進一步的，所述取放結構包括：

兩個插接部，相對于所述第一連接面的中心對稱設置于所述第一連接面上。

進一步的，所述承載臺包括與所述承載面相鄰的側面，基板上至少相對的兩個側邊的邊緣設有卡接孔，所述固定結構包括：

至少兩個卡接部，對稱設置于所述側面上，能夠卡接于所述卡接孔以將基板固定于所述承載面上。

進一步的，所述卡接部包括設置于所述承載臺上對應的側面的卡子，所述卡子的一端樞接于所述承載臺上對應的側面，所述卡子的另一端為自由端。

進一步的，所述卡接部還包括緩沖部，在所述卡子與所述卡接孔配合將基板固定于所述承載面上時，所述緩沖部設置于所述卡子與基板之間。

本實用新型的有益效果是：承載臺的設置使得基板保持平整，取放結構的設置避免基板與機器人手臂直接接觸，從而避免基板的破損。

附圖說明

圖1表示本實用新型實施例一實施方式中蒸鍍系統結構示意圖；

圖2表示本實用新型實施例一實施方式中蒸鍍系統翻轉后的結構示意圖；

圖3表示本實用新型實施例另一實施方式中蒸鍍系統結構示意圖；

圖4表示本實用新型實施例另一實施方式中蒸鍍系統翻轉后的結構示意圖；

圖5表示本實用新型實施例中未進入蒸鍍腔室時機器人手臂與取放結構相連接的狀態示意圖；

圖6表示本實用新型實施例中蒸鍍腔室內抓取結構與取放結構相連接的狀態示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的特征和原理進行詳細說明，所舉實施例僅用于解釋本發明，并非以此限定本發明的保護范圍。

如圖1-4所示，本實施例提供，一種蒸鍍系統，包括：

承載臺2，具有一用于承載基板1的承載面21；

固定結構，設置于所述承載臺2上，用于將基板1固定于所述承載面21上；

取放結構，設置于所述承載臺2上與所述承載面21相對的第一連接面22上，能夠與機器人手臂配合以實現所述承載臺2的翻轉或運輸。

將基板1固定于所述承載臺2的所述承載面21上，由于基板1完全貼在平整的承載面21上，實現當基板1蒸鍍面朝下時，基板1是平整狀態，與傳統工藝相比，可以有效的減小基板1的下垂量，進而能夠保證掩模板在蒸鍍時更加平坦，可以有效的減小陰影，以及因陰影引起的不良，從而提高器件的良率，陰影減小能夠設計更高PPI的器件。

所述承載臺2的第一連接面22上設置所述取放結構實現基板1的傳輸與承載，能夠避免運輸過程中機器人手臂直接接觸玻璃，避免發生碎片事故，有效提高產能。

所述固定結構的設置可以有多種，只要實現將基板1固定于所述承載面21上即可，以下介紹本實施例中兩種實施方式中的固定結構的具體結構形式，如圖1和圖2所示，一實施方式中，基板1與所述承載臺2連接的第二連接面上設有金屬層，所述承載臺2內設中空腔體，所述固定結構包括：

磁力吸附部3，設于所述中空腔體內；

移動控制部，用于控制所述磁力吸附部3在第一狀態和第二狀態間轉換；

其中，所述第一狀態為，所述磁力吸附部3在所述移動控制部的控制下向靠近基板1的方向移動至預設位置以將基板1吸附于所述承載面21上；

所述第二狀態為，所述磁力吸附部3在所述移動控制部的控制下向遠離所述承載面21的方向移動以使得基板1脫離所述磁力吸附部3的磁力吸附。

采用磁力吸附的方式將基板1固定于所述承載面21上，需要固定基板1時，所述磁力吸附部3在所述移動控制部的控制下向靠近基板1的方向移動至預設位置以將基板1吸附于所述承載面21上，需要取下基板1時，所述磁力吸附部3在所述移動控制部的控制下向遠離所述承載面21的方向移動以使得基板1脫離所述磁力吸附部3的磁力吸附，簡單高效。

所述預設位置可以為所述中空腔體內部靠近所述承載面21的內表面，即，所述第一狀態為，所述磁力吸附部3在所述移動控制部的控制下位于所述中空腔體內部靠近所述承載面21的內表面以將基板1吸附于所述承載面21上，此時磁力吸附部3與基板1之間的距離最短，對基板1的吸附力最大，所述預設位置也可以為與所述中空腔體內部靠近所述承載面21的內表面具有一定距離的第一位置，該第一位置的設置根據待固定基板1所需的吸附力設定。

需要說明的是，金屬層的厚度與基板1的重量和磁力吸附部3的吸附能力相匹配，確保通過磁力吸附部3能夠將基板1吸附于所述承載面21上，當基板1的蒸鍍面朝下時(基板1包括相對設置的蒸鍍面和所述第二連接面)，基板1不掉落即可，金屬層的形成可以是直接在所述第二連接面上直接貼覆一金屬片，或者采用蒸鍍的方式在所述第二連接面上蒸鍍一層金屬而形成所述金屬層，金屬層去除方式可以直接撕掉或封裝后用刻蝕液洗掉。

進一步的，所述磁力吸附部3為可移動的設置于所述中空腔體內的磁力吸附板。

所述移動控制部的具體結構可以有多種，只要實現所述磁力吸附部3的移動即可，本實施例中，所述移動控制部包括：

驅動單元5，包括一驅動電機；

傳動單元4，一端與所述磁力吸附部3連接，另一端穿過所述第一連接面22與所述驅動單元5傳動連接。

所述傳動單元4包括一傳動桿，該傳動桿一端與所述磁力吸附部3連接、另一端穿過所述第一連接面22通過一傳動軸與所述驅動電機連接。

所述傳動桿可以選擇金屬材料，保證對基板1的磁性吸附力。

所述移動控制部也可以包括升降氣缸，與升降氣缸連接的傳動桿，傳動桿的另一端穿過所述第一連接面22與所述磁力吸附部3連接。

所述移動控制部還可以采用其他結構形式，只要實現磁力吸附部3的移動控制即可，在此不再一一列舉。

為了保證所述承載臺與基板之間氣流暢通，所述承載臺的所述承載面21上設置有通孔，所述承載臺上與所述承載面21相鄰或相對的一面上設置有通孔，在大氣環境下把基板快速放到所述承載臺上時，所述承載臺與所述基板之間的空氣可以迅速通過通孔排走，基板和所述承載臺能夠更迅速更緊密的貼合，同時，也不會因有氣體頂著發生漂移，有利于更準確的放置基板到預設位置。優選的，所述承載臺2的承載面21與所述第一連接面上均設置通孔，使得基板放置于所述承載臺上時，基板與所述承載面21之間的氣體可以快速的被排出。

蒸鍍系統的蒸鍍流程可以如下：蒸鍍前，機器人手臂將基板的蒸鍍面朝上放到所述承載臺2的所述承載面21上(承載臺2放置在蒸鍍腔室第一側用于載放承載臺2的載放裝置)，承載臺2內部的磁力吸附板在移動控制部作用下上升至能夠吸附固定基板的位置(磁力吸附板也可以直接上升至承載臺2中空腔體內部頂端)，另一機器人手臂(可接觸取放結構的機器人手臂，此處也可不更換機器人手臂)將載有基板的承載臺2抬起、翻轉使基板的蒸鍍面朝下，開始進行傳送。在傳送過程中，機器人手臂100與基板上方的取放結構相配合(機器人手臂100的手指101與取放結構相應的位置接觸)如圖5所示，機器人手臂可以固定到一載臺上，載臺可以在一機械導軌上移動，實現基板在距離較遠的相鄰腔室間傳輸(蒸鍍系統可以包括運送承載臺2的傳輸設備，傳輸設備包括與取放結構配合抓取承載臺2的機器人手臂、固定機器人手臂的載臺、以及一機械導軌，該載臺可移動的設置于機械導軌上)。

在蒸鍍腔室中，可以設有能夠與取放結構配合以抓取承載臺2的抓取結構200(該抓取結構200可以是機器人手臂)，抓取結構通過連接件固定于蒸鍍腔室的頂部，當機器人手臂載基板進入蒸鍍腔室后，將載有基板的承載臺2放到抓取結構200上固定如圖6所示，然后與掩模板進行對位(對位過程一般是掩模板移動，基板是固定不動的)，對位結束后即可進行蒸鍍。

因為承載臺2內的磁力吸附板靠近基板，當掩模板上升接近基板后，掩模板會受到一定磁力吸附，這樣本來平整的掩模板可以實現和不具有下垂量的基板平整貼合，就不存在掩模板和基板局部貼合不緊密以及局部對位超出預設范圍、而形成混色的不良現象。當蒸鍍完成，載有基板的承載臺2被送到一個可進行真空-大氣(N2環境)轉換的工序，在大氣環境下，具有真空吸附功能、可與傳送中承載臺2上的取放結構相配合的機器人手臂將載有基板的承載臺2抬起、翻轉使基板的蒸鍍面朝上，放置在蒸鍍腔室第二側用于載放承載臺2的載放裝置上，磁力吸附板下降，減小對基板的吸附力到基板能夠輕松被機器人手臂抬起并傳送到封裝工序，承載臺2循環利用，可通過傳輸設備傳送回蒸鍍腔室第一側的載放裝置上。

在本實施例的另一實施方式中，如圖3和圖4所示，所述承載臺2包括與所述承載面21相鄰的兩個側面，基板1上至少相對的兩個側邊的邊緣設有卡接孔，所述固定結構包括：

至少兩個卡接部，對稱設置于所述兩個側面上，能夠卡接于所述卡接孔以將基板1固定于所述承載面21上。

進一步的，所述卡接部包括設置于所述承載臺2上對應的側面的卡子7，所述卡子7的一端樞接于所述承載臺2上對應的側面，所述卡子7的另一端為自由端。

優選的，本實施方式中，基板1的四周均勻的設置有所述卡接孔，相應的所述承載臺2的每個側面設有與所述卡接孔位置、數量相對應的卡子7，在基板1放置于所述承載面21上后，翻轉所述卡子7將卡子7的自由端卡接于所述卡接孔內以固定基板1，雖然卡接孔位于基板1的邊緣，但是通孔卡子7的固定，在基板1翻轉后，減少了基板1由于重量的原因而與所述承載面21之間產生的相對移動的量，即減少了基板1的下垂量。

進一步的，所述卡接部還包括緩沖部，在所述卡子7與所述卡接孔配合將基板1固定于所述承載面21上時，所述緩沖部設置于所述卡子7與基板1之間。

緩沖部的設置避免了基板1與卡子7之間的直接接觸，避免了基板1的破損。且為了進一步的避免基板1的破損，卡子7在卡緊基板后，卡子7與基板之間具有縫隙，該縫隙很小不會影響卡子7對基板的固定。

卡子7的卡緊與松開可以手動實現或自動實現，蒸鍍系統包括蒸鍍腔室以及位于蒸鍍腔室第一側和第二側的用于載放承載臺的載放裝置，自動實現卡子7的卡緊與松開的方式中可以由所述載放裝置來實現。

在該實施方式中，由于所述固定結構、所述取放結構均設置于所述承載臺的外部，所以所述承載臺的厚度可以根據實際需要設定，所述承載臺也可以設定為實心結構，只要在所述承載面上設置通孔，并在所述承載臺上與所述承載面相鄰或相對的第一面(所述第一面可以與所述第一連接面22為同一面，也可以為不同的面)上設置通孔，并在所述承載臺內部設置通道以使得所述承載面上的通孔與所述第一面上相應的通孔連通、以保持基板與所述承載面之間的氣流暢通即可。

本實施例中，所述承載面21為與基板1的形狀相同的平面結構，在承載基板1時，所述承載面21的中心與基板1的中心重合，便于在蒸鍍工藝中基板1與掩模板的對位。

本實施例中，基板1的面積不大于所述承載面21的面積，使得基板1完全落于所述承載面21的內部，避免基板1在運輸過程中由于碰撞而產生破損。

所述取放結構的具體結構形式也可以有多種，只要實現與機器人手臂配合以實現基板1的運輸即可，本實施例中，所述取放結構包括：

兩個插接部6，相對于所述第一連接面22的中心對稱設置于所述第一連接面22上。

優選的，所述插接部包括固定于所述第一連接面22的中空矩形結構，中空矩形結構的兩側對稱設置有凸起，在所述承載臺的所述承載面21向上(參考圖示方向)時，中空矩形結構內部靠近所述第一連接面22的內表面為與機器人手臂配合插接的插接面61、凸起遠離所述第一連接面22的一面為與機器人手臂相配合插接的插接面61，如圖1和圖3所示。機器人手臂將所述承載臺運輸至蒸鍍腔室對基板進行蒸鍍時，基板的蒸鍍面需要向下設置，此時需要將所述承載臺進行翻轉，然后由另一機器人手臂承載所述承載臺進入蒸鍍腔室對基板進行蒸鍍，在所述承載臺翻轉使得基板的蒸鍍面朝下時、即所述承載面21向下時，中空矩形結構內部遠離所述第一連接面22的內表面為與機器人手臂配合插接的插接面61、凸起靠近所述第一連接面22的一面為與機器人手臂相配合插接的插接面61，如圖2和圖4所示。

取放結構的設置避免了機器人手臂與基板1的直接接觸，避免了基板1的破損。

本實施例中，蒸鍍系統可以包括蒸鍍腔室以及位于蒸鍍腔室第一側和第二側的載放裝置，所述載放裝置用于承載所述承載臺2，將基板1通過固定結構固定于蒸鍍腔室第一側的承載臺2的承載面上，然后通過取放結構與機器人手臂配合以將承載臺2翻轉并運輸至蒸鍍腔室內，蒸鍍腔室內的抓取結構固定承載臺2后對基板1進行蒸鍍，蒸鍍完成后，機器人手臂通過承載臺2上的取放結構，將承載臺2運輸至蒸鍍腔室第二側的載放裝置上并翻轉，取下基板1，然后將基板1運送至封裝工序中進行封裝。

以上為本實用新型較佳實施例，需要說明的是，對于本領域普通技術人員來說，在不脫離本實用新型所述原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型保護范圍。