本技術(shù)涉及加工工裝，尤其涉及一種流量傳感器加工用定位工裝。

背景技術(shù)：

1、傳感器是將感知或測量到的物理量轉(zhuǎn)化為可供數(shù)字電路或模擬電路處理的電信號的一種設備，傳感器的生產(chǎn)工藝主要包括傳感器芯片制造、封裝和組裝測試；傳感器芯片通常由半導體材料制成，其制造過程包括晶圓制造、微影工藝、擴散、離子注入、沉積薄膜、蝕刻、刻蝕、刻蝕等工藝步驟；封裝是傳感器生產(chǎn)工藝中的另一個重要環(huán)節(jié)，傳感器芯片通常需要通過封裝來保護其內(nèi)部結(jié)構(gòu)，確保其穩(wěn)定性和可靠性封裝的主要目的是將傳感器芯片與引線相連，并用外殼保護芯片；

2、現(xiàn)有技術(shù)中參照公開號為cn220533983u的一種傳感器定位加工工裝，能夠?qū)崿F(xiàn)對不同形狀的傳感器完成定位，但對于同一生產(chǎn)線來說，尤其重要的還包括如何確保晶圓片于相鄰工序之間轉(zhuǎn)移時的穩(wěn)定性及轉(zhuǎn)移后的準確放置，如減薄生產(chǎn)中清洗后的晶圓片向減薄臺上移動后，無法確保晶圓片與減薄臺同心設置，進而無法確定各個晶圓片與砂輪磨盤之間的接觸面統(tǒng)一，最終不能形成平坦度統(tǒng)一的晶圓成品，影響加工質(zhì)量；

3、針對上述的技術(shù)缺陷，現(xiàn)提出一種解決方案。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種流量傳感器加工用定位工裝，去解決晶圓片加工過程的轉(zhuǎn)移不穩(wěn)定及轉(zhuǎn)移后無法確保晶圓片與減薄臺同心設置，進而無法確定各個晶圓片與砂輪磨盤之間的接觸面統(tǒng)一，最終不能形成平坦度統(tǒng)一的晶圓成品的問題。

2、本實用新型的目的可以通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)：一種流量傳感器加工用定位工裝，包括對稱設置于托盤兩側(cè)的對中機構(gòu)，所述托盤上方設置有與機械臂相連的翻轉(zhuǎn)架，所述對中機構(gòu)包括依次設置的對中座一和對中座二，所述對中座一和對中座二的內(nèi)凹側(cè)開設有弧臺，所述對中座一和對中座二靠近弧臺的內(nèi)環(huán)邊側(cè)開設有斜邊，所述對中座一和對中座二對應斜邊嵌設有向弧臺表面延伸的彈性撐環(huán)；所述對中座一和對中座二的外側(cè)安裝有弧軌，所述弧軌上安裝有用于對中座一和對中座二偏轉(zhuǎn)位移的驅(qū)動組件。

3、優(yōu)選的，所述驅(qū)動組件包括滑動設置于弧軌內(nèi)的導向塊，所述導向塊外安裝有電動推桿，所述電動推桿輸出端安裝有分別與對中座一和對中座二外側(cè)固定連接的連接架。

4、優(yōu)選的，所述對中座一和對中座二的底部中間位置分別安裝有轉(zhuǎn)向座一和轉(zhuǎn)向座二，所述對中座一的下方設置有與轉(zhuǎn)向座一相匹配的導軌一，所述對中座二的下方設置有與轉(zhuǎn)向座二相匹配的導軌二。

5、優(yōu)選的，所述弧軌的上下兩端分別開設有與導向塊相對應的槽孔一和槽孔二，所述轉(zhuǎn)向座一和轉(zhuǎn)向座二的內(nèi)部設置有與導軌一、導軌二相摩擦滾動連接的自驅(qū)動輪。

6、優(yōu)選的，所述翻轉(zhuǎn)架呈“u”形狀且兩端分別設置有用于吸附晶圓片的吸盤，所述托盤下底中部安裝有與電機輸出端相連的轉(zhuǎn)桿。

7、優(yōu)選的，所述彈性撐環(huán)為不閉合的腰形結(jié)構(gòu)彈片，所述彈性撐環(huán)延伸至弧臺上方的端部開設有導向邊，所述導向邊與斜邊的傾角相同。

8、本實用新型的有益效果：

9、（1）本實用新型通過確定加工晶圓片的尺寸后選擇對中座一或?qū)χ凶M行對中，對中步序為：啟動電動推桿，兩個電動推桿通過連接架帶動對中座一或?qū)χ凶嘞蛞苿?，直至彈性撐環(huán)的底邊側(cè)與晶圓片形成接觸，未居中的晶圓片受到不斷糾正的偏轉(zhuǎn)作用，雙側(cè)的彈性撐環(huán)則對處于托盤上的未居中的晶圓片完成糾正對中；通過雙側(cè)設置的對中座一或?qū)χ凶?，使得晶圓片在轉(zhuǎn)移后立即完成預先對中，再輔以對中座一或?qū)χ凶蜃孕D(zhuǎn)的方式，實現(xiàn)待減薄生產(chǎn)的晶圓片完全對中，整個定位對中過程連續(xù)且適配多種規(guī)格晶圓片使用完成整個減薄生產(chǎn)加工，得到平坦度統(tǒng)一的晶圓成品；

10、（2）通過兩組彈性撐環(huán)的同向旋轉(zhuǎn)完成對中，對中過程中，以導軌一或?qū)к壎瓿苫⌒螌?，并以導軌一或?qū)к壎膱A心為豎線軸向旋轉(zhuǎn)擺動，此時電動推桿和連接架均在導向塊的帶動下于弧軌中移動，確保對中操作的穩(wěn)定進行，實現(xiàn)彈性撐環(huán)的同向旋轉(zhuǎn)完成定位、對中，對上述的定位、對中具有維穩(wěn)作用。

技術(shù)特征：

1.一種流量傳感器加工用定位工裝，包括對稱設置于托盤（1）兩側(cè)的對中機構(gòu)，所述托盤（1）上方設置有與機械臂相連的翻轉(zhuǎn)架（7），其特征在于，所述對中機構(gòu)包括依次設置的對中座一（2）和對中座二（3），所述對中座一（2）和對中座二（3）的內(nèi)凹側(cè)開設有弧臺（18），所述對中座一（2）和對中座二（3）靠近弧臺（18）的內(nèi)環(huán)邊側(cè)開設有斜邊（15），所述對中座一（2）和對中座二（3）對應斜邊（15）嵌設有向弧臺（18）表面延伸的彈性撐環(huán)（16）；所述對中座一（2）和對中座二（3）的外側(cè)安裝有弧軌（4），所述弧軌（4）上安裝有用于對中座一（2）和對中座二（3）偏轉(zhuǎn)位移的驅(qū)動組件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種流量傳感器加工用定位工裝，其特征在于，所述驅(qū)動組件包括滑動設置于弧軌（4）內(nèi)的導向塊（19），所述導向塊（19）外安裝有電動推桿（14），所述電動推桿（14）輸出端安裝有分別與對中座一（2）和對中座二（3）外側(cè)固定連接的連接架（13）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種流量傳感器加工用定位工裝，其特征在于，所述對中座一（2）和對中座二（3）的底部中間位置分別安裝有轉(zhuǎn)向座一（11）和轉(zhuǎn)向座二（12），所述對中座一（2）的下方設置有與轉(zhuǎn)向座一（11）相匹配的導軌一（9），所述對中座二（3）的下方設置有與轉(zhuǎn)向座二（12）相匹配的導軌二（10）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種流量傳感器加工用定位工裝，其特征在于，所述弧軌（4）的上下兩端分別開設有與導向塊（19）相對應的槽孔一（5）和槽孔二（6），所述轉(zhuǎn)向座一（11）和轉(zhuǎn)向座二（12）的內(nèi)部設置有與導軌一（9）、導軌二（10）相摩擦滾動連接的自驅(qū)動輪。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種流量傳感器加工用定位工裝，其特征在于，所述翻轉(zhuǎn)架（7）呈“u”形狀且兩端分別設置有用于吸附晶圓片的吸盤，所述托盤（1）下底中部安裝有與電機輸出端相連的轉(zhuǎn)桿（8）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種流量傳感器加工用定位工裝，其特征在于，所述彈性撐環(huán)（16）為不閉合的腰形結(jié)構(gòu)彈片，所述彈性撐環(huán)（16）延伸至弧臺（18）上方的端部開設有導向邊（17），所述導向邊（17）與斜邊（15）的傾角相同。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于加工工裝技術(shù)領域，具體公開了一種流量傳感器加工用定位工裝，用于解決晶圓片加工過程的轉(zhuǎn)移不穩(wěn)定及轉(zhuǎn)移后無法確保晶圓片與減薄臺同心設置，進而無法確定各個晶圓片與砂輪磨盤之間的接觸面統(tǒng)一，最終不能形成平坦度統(tǒng)一的晶圓成品的技術(shù)問題；包括對稱設置于托盤兩側(cè)的對中機構(gòu)；既能利用雙側(cè)對稱設置的對中機構(gòu)對晶圓片完成預對中和二次對中操作，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓片在減薄生產(chǎn)中完成穩(wěn)定的定位夾持后還能夠確保得到對中，從而使各個晶圓片與砂輪磨盤之間的接觸面統(tǒng)一，最終形成平坦度統(tǒng)一的晶圓成品；又能利用驅(qū)動組件移動過程中的自定位結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)彈性撐環(huán)的同向旋轉(zhuǎn)完成定位、對中，對上述的定位、對中具有維穩(wěn)作用。

技術(shù)研發(fā)人員：余方文,吳錦峰
受保護的技術(shù)使用者：無錫芯靈微電子有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240703
技術(shù)公布日：2025/4/28