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一種基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝的制作方法

文檔序號:12053615閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:所述的制備方法為,

(1)配制涂抹液

采用環己烷與丁醇組成混合溶劑,以鈦酸四正丁酯和正硅酸乙酯分別作為TiO2和SiO2的前驅體;

(2)濕氣流的形成

將氮氣流通入水中,促進水的揮發形成濕氣流,并讓濕氣流經過一水平安置的管道;

(3)溶液膜的形成

采用浸漬-提拉法,將步驟(1)得到的涂抹液在玻璃基底上形成液膜;

(4)將步驟(3)中得到的液膜置于空氣中預蒸發后,再轉移至步驟(2)中的有濕氣流流經的管道中并水平放置讓濕氣流水平方向流過液膜表面,在液膜表面形成水滴模板;

(5)將經過步驟(4)處理的液膜進行干燥和熱處理。

2.如權利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(1)中,首先將乙酰丙酮混合到鈦酸四正丁酯中,攪拌反應得到鈦酸四正丁酯絡合物;其次,將上述所得的鈦酸四正丁酯絡合物加入到環己烷與丁醇的混合溶劑中,然后加入蒸餾水并攪拌成均勻的溶液,將該溶液于室溫下靜置陳化后,加入正硅酸乙酯再攪拌得到涂抹液。

3.如權利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(2)中,管道中濕氣流的流速為4cm/s。

4.如權利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(3)中,所述玻璃基片在使用前先采用洗滌劑清洗并用自來水進行漂洗,然后用乙醇洗滌,最后用去離子水潤洗后于100℃下干燥;將經上述處理的玻璃基底浸入步驟(1)的涂抹溶液中靜置5min,然后以50cm/min的速度垂直向上提拉離開溶液即可在玻璃基底表面形成液膜。

5.如權利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(4)中,預蒸發時間從玻璃基底的低端離開涂抹溶液時開始計時。

6.如權利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(5)中,干燥為在100℃烘箱中干燥30min。

7.如權利要求1所述的基于水滴模板法制備TiO2/SiO2薄膜的工藝,其特征在于:步驟(5)中,熱處理為在空氣氛圍中500℃下熱處理30min。

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