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一種氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法與流程

文檔序號:11100251閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種氮化鋁生坯的排膠方法,其特征在于,所述排膠方法包括以下步驟:

(1)將氮化鋁生坯在氮?dú)鈿夥罩猩郎刂?90~320℃,然后保溫1~2h;

(2)將所述步驟(1)所得的產(chǎn)品在氮?dú)鈿夥罩猩郎刂?30~550℃,然后保溫3~5h;

(3)將所述步驟(2)所得的產(chǎn)品在氮?dú)鈿夥罩薪禍刂?90~210℃,然后保溫1~2h;

(4)將所述步驟(3)所得的產(chǎn)品在空氣氣氛中升溫至480~500℃,然后保溫1~2h;

(5)自然冷卻。

2.如權(quán)利要求1所述氮化鋁生坯的排膠方法,其特征在于,所述步驟(1)中升溫的時間為4~6h。

3.如權(quán)利要求1所述氮化鋁生坯的排膠方法,其特征在于,所述步驟(2)中升溫的時間為3~5h。

4.如權(quán)利要求1所述氮化鋁生坯的排膠方法,其特征在于,所述步驟(3)中降溫的時間為4~6h。

5.如權(quán)利要求1所述氮化鋁生坯的排膠方法,其特征在于,所述步驟(4)中升溫的時間為8~10h。

6.一種氮化鋁陶瓷基板的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括以下步驟:

(a)提供氮化鋁生坯;

(b)在氮化鋁生坯表面敷隔粘粉;

(c)將敷好隔粘粉的氮化鋁生坯疊放在一起;

(d)在疊放好的氮化鋁生坯的最上層放置重物,并進(jìn)行熱處理;

(f)將熱處理后的氮化鋁生坯按如權(quán)利要求1~5中任一所述排膠方法進(jìn)行排膠;

(g)將排膠后所得產(chǎn)品進(jìn)行燒結(jié),燒結(jié)后得到所述氮化鋁陶瓷基板。

7.如權(quán)利要求6所述的氮化鋁陶瓷基板的制備方法,其特征在于,步驟(d)中,所述熱處理的溫度為100~120℃,所述熱處理的時間為2~3h。

8.如權(quán)利要求6所述的氮化鋁陶瓷基板的制備方法,其特征在于,步驟(g)中,所述燒結(jié)的條件為:在真空石墨爐中、氮?dú)鈿夥罩?、燒結(jié)溫度為1700~1900℃下保溫4~6h。

9.一種采用如權(quán)利要求6~8中任一所述方法制備的氮化鋁陶瓷基板。

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