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一種氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法與流程

文檔序號:11100251閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氮化鋁生坯的排膠方法及氮化鋁陶瓷基板的制備方法,一種氮化鋁生坯的排膠方法,所述排膠方法包括以下步驟:(1)將氮化鋁生坯在氮氣氣氛中升溫至290~320℃,然后保溫1~2h;(2)將所述步驟(1)所得的產(chǎn)品在氮氣氣氛中升溫至530~550℃,然后保溫3~5h;(3)將所述步驟(2)所得的產(chǎn)品在氮氣氣氛中降溫至190~210℃,然后保溫1~2h;(4)將所述步驟(3)所得的產(chǎn)品在空氣氣氛中升溫至480~500℃,然后保溫1~2h;(5)自然冷卻。經(jīng)本發(fā)明排膠方法排膠后的產(chǎn)品內(nèi)部和外部殘?zhí)剂烤鶆颍N曲度≤0.02mm/25.4mm。在燒結(jié)后即可直接進入下一道工序,無需對翹曲度進行修正,節(jié)約產(chǎn)品制造成本。

技術(shù)研發(fā)人員:邱基華;童文欣
受保護的技術(shù)使用者:潮州三環(huán)(集團)股份有限公司
文檔號碼:201611153910
技術(shù)研發(fā)日:2016.12.14
技術(shù)公布日:2017.05.10

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