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單晶硅平收尾方法及制備方法與流程

文檔序號:11147584閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種單晶硅平收尾方法,其特征在于,該方法包括如下步驟:

步驟S01:關閉自動溫度控制系統(tǒng),將坩堝的運動上升速度降為零;

步驟S02:手動升溫10~20℃,晶體的提拉速度降低至0.1~0.4mm/min,保持晶體繼續(xù)生長20~30min,此時晶體與固液界面接觸的一端由凹面生長為平面;

步驟S03:關閉晶體提拉速度的自動控制系統(tǒng),手動調節(jié)晶體的提拉速度,使得晶體的提拉速度小于0.1mm/min,保持晶體繼續(xù)生長20~30min,此時晶體與固液界面接觸的一端由平面生長為凸面;

步驟S04:將坩堝一次性下降20~50mm,使得晶體脫離坩堝內熔硅液面,然后降低晶體轉速和坩堝轉速;

步驟S05:晶體降溫,繼續(xù)提拉晶體獲得產品。

2.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步驟S02中,一次性手動升溫15℃。

3.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步驟S02中,所述晶體的提拉速度降低至0.35mm/min。

4.根據(jù)權利要求3所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步驟S02中,所述晶體的生長時間為25min。

5.根據(jù)權利要求4所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步驟S03中,所述晶體的提拉速度降低至0.02mm/min或0.03mm/min。

6.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步驟S04中,所述晶體轉速和坩堝轉速降低至1~3轉/min。

7.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步驟S05中,通過手動調節(jié)加熱裝置的加熱功率使得晶體溫度降低,具體步驟如下:將所述加熱器的加熱功率設為50kW,保持10min;將所述加熱器的加熱功率設為30kW,保持10min;將所述加熱器的加熱功率設為0kW。

8.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述步驟S05中,所述晶體以6mm/min的速度上升20~50min。

9.根據(jù)權利要求1所述的單晶硅平收尾方法,其特征在于,所述收尾工序耗用時間為1~3小時。

10.一種單晶硅的制備方法,其特征在于,所述制備方法包括多晶硅的裝料和熔化、種晶、縮頸、放肩、等徑生長和收尾,所述收尾為權利要求1~9任意一項所述的單晶硅平收尾方法。

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