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單晶硅平收尾方法及制備方法與流程

文檔序號:11147584閱讀:來源:國知局
技術總結
本發明涉及單晶硅平收尾方法及制備方法,平收尾方法包括:關閉自動溫度控制系統,停止坩堝上升;手動升溫10~20℃,晶體提拉速度降低至0.1~0.4mm/min,保持晶體繼續生長20~30min,晶體與固液界面接觸的一端由凹面生長為平面;關閉晶體提拉速度的自動控制系統,手動降低提拉速度至小于0.1mm/min,保持晶體繼續生長20~30min,晶體與固液界面接觸的一端由平面生長為凸面;將坩堝一次性下降20~50mm,使晶體脫離坩堝內熔硅液面,降低晶體轉速和坩堝轉速;晶體降溫,繼續提拉晶體獲得產品。本發明可減少熔硅的耗用量,縮短單晶硅的制備周期,提高單晶硅合格品的長度和重量以及成品的合格率。

技術研發人員:劉聰賢;劉輝;王彥玉;朱眉清
受保護的技術使用者:卡姆丹克太陽能(江蘇)有限公司
文檔號碼:201611197875
技術研發日:2016.12.22
技術公布日:2017.05.10

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