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一種泡生法藍寶石晶體生長爐支柱結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:12759173閱讀:716來源:國知局
一種泡生法藍寶石晶體生長爐支柱結(jié)構(gòu)的制作方法與工藝

本實用新型涉及熔體籽晶法單晶生長爐設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種泡生法藍寶石晶體生長爐支柱結(jié)構(gòu)。



背景技術(shù):

藍寶石晶體(俗稱剛玉),具有高熔點、高硬度、導熱性好、從真空、紫外、可見、從近紅外到中紅外均有較高的透光性等優(yōu)異性能,此外,藍寶石晶體具有高溫耐溶性,良好的化學穩(wěn)定性,是優(yōu)良的激光基質(zhì)材料,是各種光學元件、紅外軍事裝置和高強度激光的窗口材料,普遍應(yīng)用于藍光半導體二極管LED和二極管LD的襯底材料,幾乎遍及所有襯底領(lǐng)域。

目前藍寶石的生長方法主要有提拉法(CZ)、導模法(EFG)、泡生法(KY),熱交換法(HEM)等。其中泡生法擁有藍寶石生長的最佳溫度梯度,是世界上公認的最適合生長大尺寸藍寶石單晶的主流方法之一,熱場的穩(wěn)定性是制備高質(zhì)量藍寶石晶體的必要條件。整個晶體的生長在2000℃以上的高溫下進行,造成單晶爐內(nèi)熱場極其容易變形,特別是支柱,既受到高溫又受到來自坩堝的高壓,使得支柱容易變矮變胖以及不平整,不僅造成熱場不穩(wěn)定、不均勻,大大降低了晶體的成品率和取材率,嚴重時只能更換支柱,降低生產(chǎn)效率,且報廢率極高,而支柱的材質(zhì)一般為鎢或者鉬,價格昂貴,增加生產(chǎn)成本。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為克服上述問題,本實用新型提供一種泡生法藍寶石晶體生長爐支柱結(jié)構(gòu),解決現(xiàn)有結(jié)構(gòu)使用壽命短,維修成本高的問題,具有提高支柱及熱場穩(wěn)定性,易于維修,降低支柱報廢率,提高晶體成品率和取材率,提高生產(chǎn)效率,降低生產(chǎn)成本等優(yōu)點。

本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種泡生法藍寶石晶體生長爐支柱結(jié)構(gòu),包括固定在坩堝底部中心位置的第一支柱,以及裝設(shè)在第一支柱上方的第二支柱。其中,第一支柱的上方設(shè)有中心孔,第二支柱的下方設(shè)有與該中心孔相適配的環(huán)形端口。使用時,將第二支柱的環(huán)形端口以緊配合的方式嵌入第一支柱的中心孔內(nèi),在達到所需高度的同時可保證支柱整體的平穩(wěn)。

為防止第一支柱與第二支柱在高溫下相粘接,作為本實用新型的進一步改進,在第一支柱的上表面與第二支柱的接觸側(cè)開設(shè)有第一環(huán)形槽。

優(yōu)選的,上述第二支柱在第一支柱的上方設(shè)置有多個,相應(yīng)的,第二支柱上方還設(shè)有與環(huán)形端口相適配的沉孔。使用時,最下方一個第二支柱的環(huán)形端口嵌入第一支柱的中心孔內(nèi),其余的第二支柱通過環(huán)形端口依次嵌入緊鄰的下一個第二支柱的沉孔內(nèi)。通過增加第二支柱和更換變形的第二支柱從而保證整體支柱結(jié)構(gòu)高度的一致性以及平整性,達到修整的目的。

此外,為防止多個第二支柱之間在高溫下出現(xiàn)粘接,在第二支柱的上方面還開設(shè)有第二環(huán)形槽。

本實用新型的有益效果:本實用新型通過第一支柱與第二支柱相配合的方式,有效提高了支柱結(jié)構(gòu)及熱場的穩(wěn)定性,維修時只需對變形的第二支柱進行更換即可,降低了支柱的報廢率,提高晶體成品率和取材率,提高生產(chǎn)效率,降低了生產(chǎn)成本。

以下將結(jié)合附圖說明和實施例,對本實用新型進行較為詳細的說明。

附圖說明

圖1為第一支柱結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為第二支柱結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

實施例,

一種泡生法藍寶石晶體生長爐支柱結(jié)構(gòu),其包括固定在坩堝底部中心位置的第一支柱101,以及裝設(shè)在第一支柱上方的第二支柱102。

其中,第一支柱101的上方設(shè)有中心孔5,第二支柱102的下方設(shè)有與該中心孔5相適配的環(huán)形端口3。使用時,將第二支柱的環(huán)形端口以緊配合的方式嵌入第一支柱的中心孔內(nèi),在達到所需高度的同時可保證支柱整體的平穩(wěn)。

為防止第一支柱與第二支柱在高溫下相粘接,在第一支柱101的上表面與第二支柱102的接觸側(cè)開設(shè)有第一環(huán)形槽4。

優(yōu)選的,第二支柱102在第一支柱101的上方設(shè)置有多個,相應(yīng)的,第二支柱102上方還設(shè)有與環(huán)形端口3相適配的沉孔2。在第二支柱102的上方面還開設(shè)有第二環(huán)形槽1。

使用時,最下方一個第二支柱的環(huán)形端口嵌入第一支柱的中心孔內(nèi),其余的第二支柱通過環(huán)形端口依次嵌入緊鄰的下一個第二支柱的沉孔內(nèi)。通過增加第二支柱和更換變形的第二支柱從而保證整體支柱結(jié)構(gòu)高度的一致性以及平整性,達到修整的目的。

以上所述僅是對本實用新型的較佳實施例,并非對本實用新型的范圍進行限定,故在不脫離本實用新型設(shè)計精神的前提下,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員對本實用新型所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或裝飾,均應(yīng)落入本實用新型的保護范圍內(nèi)。

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