本實用新型涉及藍寶石單晶生長爐,特別是一種單晶爐小蓋。
背景技術:
藍寶石是一種簡單配位型氧化物晶體。具有優異的光學性能、機械性能和化學穩定性,被廣泛的應用于民用航天、半導體襯底、紅外軍事裝置、衛星空間技術、高強度激光的窗口材料等,同時晶體生長設備-單晶生長爐也隨之得到了飛速的發展。
單晶爐小蓋是機器設備上密封聯接腔體與籽晶提升機構的部件。內部有循環冷卻水,距離溫場距離近,溫度高。根據晶體生長的工藝要求,及時觀察內部情況,這就需要單晶爐小蓋無論從材質及結構上都要有要求,防止高溫變形及穩定可靠性影響使用效果。
原單晶爐小蓋使用不夠方便,結構相對復雜,水冷效果差,不便于對爐內的情況進行觀察,成本也高。
技術實現要素:
本實用新型的目的在于提供一種單晶爐小蓋,加工制造容易、安裝方便。
為解決上述技術問題,本實用新型包括:小蓋、握柄、壓蓋、視窗玻璃和蓋板,其中:小蓋上設置安裝孔和兩個觀察孔,握柄設置于安裝孔內,蓋板設置于小蓋的背面握柄安裝處,視窗玻璃設置于觀察孔上,上面安裝壓蓋,小蓋的下部與大爐蓋的腔體口固定并由鎖緊螺母鎖緊,上部與籽晶提升機構聯接。
所述的兩個觀察孔呈90°設置。
本實用新型簡化設備結構,降低空間尺寸,加工制造容易、安裝方便、可靠性高的特點。同時,提高冷卻效果,便于觀察晶體生長情況,提高單晶爐的穩定性并可延長使用壽命。
附圖說明
圖1為本實用新型的正面結構圖;
圖2為本實用新型的背面結構圖;
圖3和圖4為本實用新型的連接示意圖。
具體實施方式
下面結合附圖對本實用新型作進一步詳細說明。
如圖1和圖2所示,本實施例包括:小蓋1、握柄2、壓蓋3、視窗玻璃4和蓋板5,其中:小蓋1上設置安裝孔和兩個觀察孔,握柄2設置于安裝孔內,蓋板5設置于小蓋1的背面握柄2安裝處,視窗玻璃4設置于觀察孔上,上面安裝壓蓋3,如圖3和圖4所示,小蓋1的下部與大爐蓋6的腔體口固定并由鎖緊螺母7鎖緊,上部與籽晶提升機構聯接。
所述的兩個觀察孔呈90°設置。
以上已對本實用新型創造的較佳實施例進行了具體說明,但本實用新型創造并不限于所述的實施例,熟悉本領域的技術人員在不違背本實用新型創造精神的前提下還可以作出種種的等同的變型或替換,這些等同變型或替換均包含在本申請權利要求所限定的范圍內。