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可提高碳化硅質量的艾奇遜爐的制作方法

文檔序號:12230141閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:包括爐體,所述爐體設有豎直的爐墻和位于爐墻下方的爐底墻,所述爐體內設有間隙為450mm的雙層爐芯板,所述雙層爐芯板圍設成石墨化區(qū)域,產(chǎn)品及電阻料位于所述石墨化區(qū)域內,所述雙層爐芯板的間隙內設有第一保溫料,所述爐墻和外層的爐芯板之間設有第二保溫料。

2.根據(jù)權利要求1所述的可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:所述爐體的頂部設有集氣罩。

3.根據(jù)權利要求2所述的可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:所述集氣罩的上方設有排氣管,所述排氣管下方設有與集氣罩內表面相連通的集氣管。

4.根據(jù)權利要求3所述的可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:所述排氣管為兩個,對稱設置在集氣罩中心線的兩側。

5.根據(jù)權利要求1所述的可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:所述爐墻包括板體,板體內部設置鋼筋結構。

6.根據(jù)權利要求5所述的可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:所述板體上開有通氣孔。

7.根據(jù)權利要求6所述的可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:所述通氣孔為45度向上的斜孔。

8.根據(jù)權利要求5所述的可提高碳化硅質量的艾奇遜爐,其特征在于:

所述鋼筋結構為雙網(wǎng)結構,雙網(wǎng)之間互相連接。

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