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一種氮化鋁原料的純化裝置的制作方法

文檔序號:12548511閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種氮化鋁原料的純化裝置,其特征在于,所述純化裝置包括保溫層、發熱筒、隔離坩堝和原料坩堝;其中,氮化鋁原料裝填到所述原料坩堝內并封裝;所述原料坩堝放置在所述隔離坩堝內;所述隔離坩堝放置在所述發熱筒內;所述保溫層包裹在所述發熱筒的外側。

2.根據權利要求1所述的氮化鋁原料的純化裝置,其特征在于,所述保溫層是由碳氈、石墨氈或碳纖維氈制成。

3.根據權利要求1所述的氮化鋁原料的純化裝置,其特征在于,所述發熱筒由石墨制成。

4.根據權利要求1所述的氮化鋁原料的純化裝置,其特征在于,所述隔離坩堝為碳化鉭坩堝或碳化鎢坩堝。

5.根據權利要求1所述的氮化鋁原料的純化裝置,其特征在于,所述隔離坩堝內側底部設置有若干個具有設定深度的坑槽,所述坑槽的固位件由鎢片或碳化鉭片制成;所述固位件套設在坩堝外側。

6.根據權利要求5所述的氮化鋁原料的純化裝置,其特征在于,所述坑槽的深度為0-20mm。

7.根據權利要求1所述的氮化鋁原料的純化裝置,其特征在于,所述原料坩堝由金屬鎢或金屬銥制成。

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