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一種多晶硅鑄錠爐的制作方法

文檔序號:11040365閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種多晶硅鑄錠爐,所述鑄錠爐內(nèi)設(shè)置有坩堝、護板、蓋板、底板,坩堝放置在底板上,護板設(shè)置在坩堝外側(cè),蓋板設(shè)置在坩堝上方,其特征在于:所述護板四周設(shè)置有保溫材料,所述保溫材料設(shè)置在所述護板上方的位置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述的保溫材料為石墨碳?xì)帧?/p>

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述的石墨碳?xì)譃槭矚只蚴洑帧?/p>

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述的石墨硬氈或石墨軟氈通過石墨螺桿和螺帽固定在石墨護板上或通過石墨膠粘合在護板上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多晶硅鑄錠爐,其特征在于:所述保溫材料底端距護板底端的距離為5cm-20cm。

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