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高密度封裝用高熱膨脹系數陶瓷材料及其制備方法與流程

文檔序號:12775442閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.高密度封裝用高熱膨脹系數陶瓷材料,其特征在于,以質量百分比計,所述陶瓷材料的組分包括:SiO2:55~70wt%,BaO:20~30wt%,B2O3:5~10wt%,Al2O3:2~5wt%,Y2O3:0.1~1wt%,及CrO2與ZrO2混合物:1~3wt%。

2.按權利要求1所述高密度封裝用高熱膨脹系數陶瓷材料,其特征在于,所述CrO2與ZrO2混合物為兩者任意比例的混合物。

3.按權利要求1所述高密度封裝用高熱膨脹系數陶瓷材料的制備方法,包括以下步驟:

步驟1:以氫氧化鋇、硼酸、二氧化硅、氫氧化鋁、氫氧化鋯、氧化釔、氧化鉻為原料,按配方進行配料;

步驟2:將步驟1中各原料混合均勻,經球磨、烘干、過篩后得到干燥粉體;

步驟3:將步驟2所得干燥粉體置于650~750℃下預燒1~3小時得到預燒料;

步驟4:將步驟3所得預燒料進行造粒,干壓成型;

步驟5:將步驟4中干壓成型樣品經排膠處理后,于800~950℃下燒結1~3小時,自然冷卻后即得到高熱膨脹系數陶瓷材料。

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