本發明涉及一種研磨液，具體涉及一種石油儀器用拋光專用研磨液。
背景技術：
隨著現有生活發展的精細化，拋光工藝應用廣泛，特別是在微電子領域，隨著大量裝置體積的日益輕薄，對其性能的要求反而越來越高，相應的對拋光工藝的要求也進一步提高。
研磨材料為拋光技術的必需品，為研磨液組合物的重要組分，對其性能要求也越來越嚴格，目前，普遍采用的研磨材料一般為氧化鋁、氧化鋯、金剛石、氧化硅、氧化鈰、氧化鈦、氮化硅等，但在實際應用中，現有粒子的粒徑小、表面活性大，粒子間相互作用力強，已分散好的納米粒子易發生團聚，影響研磨液組合物的性能；同時研磨粒子如納米金剛石、三氧化二鋁、氧化鋯、氮化硅等，硬度均較大，拋光過程中對表面的損傷較嚴重，不僅造成表面粗糙度較大，還易出現拋光劃痕、凹坑等表面缺陷；同時分散性、穩定性較好的氧化硅等材料的拋光速率又較低，不能滿足現有技術的要求。
技術實現要素：
本發明的目的在于針對現有技術的不足，現提供一種石油儀器用拋光專用研磨液。
為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案為：一種石油儀器用拋光專用研磨液，其創新點在于：由以下重量份的組分組成，氧化鋁35-45份、氧化硅15-25份、三聚氰胺10-15份、聚苯乙烯磺酸鈉5-10份、氧化鈰11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸鈉2-5份、氧化鋯1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亞砜環己烷4-8份、羥甲基纖維素3-6份、螯合劑2-8份。
進一步的，由以下重量份的組分組成，氧化鋁40份、氧化硅20份、三聚氰胺13份、聚苯乙烯磺酸鈉8份、氧化鈰13份、甲基丙烯酸6份、硅酸鈉3份、氧化鋯2份、乙酸乙脂6份、十八烷基三甲基溴化胺8份、聚氧乙烯醚4份、二甲亞砜環己烷6份、羥甲基纖維素4份、螯合劑5份。
本發明的有益效果如下：本發明的制備方法簡單，易實現，本發明制備的研磨液的研磨精度和研磨效率均得到提升。
具體實施方式
以下由特定的具體實施例說明本發明的實施方式，熟悉此技術的人士可由本說明書所揭露的內容輕易地了解本發明的其他優點及功效。
實施例1
一種石油儀器用拋光專用研磨液，由以下重量份的組分組成，氧化鋁35份、氧化硅15份、三聚氰胺10份、聚苯乙烯磺酸鈉5份、氧化鈰11份、甲基丙烯酸3份、硅酸鈉2份、氧化鋯1份、乙酸乙脂4份、十八烷基三甲基溴化胺4份、聚氧乙烯醚2份、二甲亞砜環己烷4份、羥甲基纖維素3份、螯合劑2份。
實施例2
一種石油儀器用拋光專用研磨液，由以下重量份的組分組成，氧化鋁45份、氧化硅25份、三聚氰胺15份、聚苯乙烯磺酸鈉10份、氧化鈰11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸鈉2-5份、氧化鋯1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亞砜環己烷4-8份、羥甲基纖維素3-6份、螯合劑2-8份。
實施例3
一種石油儀器用拋光專用研磨液，由以下重量份的組分組成，氧化鋁40份、氧化硅20份、三聚氰胺13份、聚苯乙烯磺酸鈉8份、氧化鈰13份、甲基丙烯酸6份、硅酸鈉3份、氧化鋯2份、乙酸乙脂6份、十八烷基三甲基溴化胺8份、聚氧乙烯醚4份、二甲亞砜環己烷6份、羥甲基纖維素4份、螯合劑5份。
本發明的制備方法簡單，易實現，本發明制備的研磨液的研磨精度和研磨效率均得到提升。
上述實施例只是本發明的較佳實施例，并不是對本發明技術方案的限制，只要是不經過創造性勞動即可在上述實施例的基礎上實現的技術方案，均應視為落入本發明專利的權利保護范圍內。