本技術(shù)涉及多晶硅生產(chǎn)，特別是涉及一種硅料的清洗裝置。

背景技術(shù)：

1、多晶硅料是以硅為原料經(jīng)一系列物理化學(xué)反應(yīng)提純后達到一定純度的電子材料，是硅產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)鏈中一個極為重要的中間產(chǎn)品，是制造硅拋光片、太陽能電池及高純硅制品的主要原料，是半導(dǎo)體、電子信息業(yè)、太陽能光伏電池業(yè)最基礎(chǔ)的功能性材料。

2、多晶硅料的清洗工藝是在反應(yīng)釜中進行的。反應(yīng)釜是在密閉空間內(nèi)完成一系列物理化學(xué)反應(yīng)工藝過程的壓力容器。現(xiàn)有技術(shù)中，反應(yīng)釜中反應(yīng)板的密封與抱氣裝置存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、拆裝維護困難，制約抱氣效果等弊端。因此，存在待改進之處。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種硅料的清洗裝置，用于解決現(xiàn)有技術(shù)反應(yīng)釜中反應(yīng)板的密封與抱氣裝置存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、拆裝維護困難，制約抱氣效果的技術(shù)問題。

2、為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種硅料的清洗裝置，包括：

3、反應(yīng)釜體，設(shè)置有投料口、進液管以及進氣口，所述投料口的外沿設(shè)有釜體投料法蘭，所述進氣口的外沿設(shè)有釜體下法蘭；

4、投料蓋，連接于所述釜體投料法蘭處；

5、進氣蓋，連接于所述釜體下法蘭處，所述進氣蓋上設(shè)置有進氣管；以及

6、反應(yīng)板，位于所述進氣蓋和所述釜體下法蘭的連接處，以承載待清洗的多晶硅料；

7、其中，所述進液管位于所述反應(yīng)釜體的頂部，所述投料口位于所述反應(yīng)釜體的頂部側(cè)邊，所述進氣口位于所述反應(yīng)釜體的底部。

8、在本實用新型的一個實施例中，所述進氣蓋上開設(shè)有固定槽，所述固定槽沿所述進氣蓋與所述釜體下法蘭的接觸面的輪廓開設(shè)。

9、在本實用新型的一個實施例中，所述進氣蓋上開設(shè)有密封槽，所述密封槽沿所述進氣蓋與所述釜體下法蘭的接觸面的輪廓開設(shè)，所述密封槽位于所述固定槽的徑向外側(cè)。

10、在本實用新型的一個實施例中，所述硅料的清洗裝置還包括濾網(wǎng)，所述濾網(wǎng)連接于所述進氣蓋上，所述濾網(wǎng)附著于所述反應(yīng)板與所述多晶硅料接觸的一側(cè)。

11、在本實用新型的一個實施例中，所述濾網(wǎng)的周圈設(shè)置有濾網(wǎng)卡條，所述濾網(wǎng)卡條卡接于所述固定槽內(nèi)。

12、在本實用新型的一個實施例中，所述硅料的清洗裝置還包括密封件，所述密封件位于所述釜體下法蘭和所述進氣蓋的連接處，所述密封件沿所述釜體下法蘭的輪廓布設(shè)。

13、在本實用新型的一個實施例中，所述密封件包括密封頭部和密封尾部，所述密封頭部連接于所述密封尾部的一側(cè)，所述密封頭部卡接于所述密封槽內(nèi)。

14、在本實用新型的一個實施例中，所述反應(yīng)板上貫穿開設(shè)有多個通氣孔，多個所述通氣孔均勻分布于所述反應(yīng)板的表面。

15、在本實用新型的一個實施例中，所述反應(yīng)板上設(shè)置有多個凸起，所述凸起位于所述反應(yīng)板與所述多晶硅料接觸的一側(cè)，相鄰所述凸起之間的間距小于所述多晶硅料的幾何尺寸。

16、在本實用新型的一個實施例中，所述硅料的清洗裝置還包括多個連接件，多個所述連接件沿所述進氣蓋和所述釜體下法蘭的周向均勻設(shè)置。

17、如上所述，本實用新型的一種硅料的清洗裝置，具有以下有益效果：本實用新型具有結(jié)構(gòu)簡單、拆裝方便，清洗效果好等優(yōu)點，通過改變密封件結(jié)構(gòu)，將現(xiàn)有技術(shù)中的雙層密封改為單層密封，降低了結(jié)構(gòu)的復(fù)雜性，同時，本實用新型還在反應(yīng)板上設(shè)置了凸起，使氣流能從底部進入帶動硅料翻涌清洗，增強了抱氣效果，進而提升了清洗效果。

技術(shù)特征：

1.一種硅料的清洗裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅料的清洗裝置，其特征在于，所述進氣蓋上開設(shè)有固定槽，所述固定槽沿所述進氣蓋與所述釜體下法蘭的接觸面的輪廓開設(shè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅料的清洗裝置，其特征在于，所述進氣蓋上開設(shè)有密封槽，所述密封槽沿所述進氣蓋與所述釜體下法蘭的接觸面的輪廓開設(shè)，所述密封槽位于所述固定槽的徑向外側(cè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硅料的清洗裝置，其特征在于，所述濾網(wǎng)的周圈設(shè)置有濾網(wǎng)卡條，所述濾網(wǎng)卡條卡接于所述固定槽內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的硅料的清洗裝置，其特征在于，所述硅料的清洗裝置還包括密封件，所述密封件位于所述釜體下法蘭和所述進氣蓋的連接處，所述密封件沿所述釜體下法蘭的輪廓布設(shè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅料的清洗裝置，其特征在于，所述密封件包括密封頭部和密封尾部，所述密封頭部連接于所述密封尾部的一側(cè)，所述密封頭部卡接于所述密封槽內(nèi)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅料的清洗裝置，其特征在于，所述反應(yīng)板上貫穿開設(shè)有多個通氣孔，多個所述通氣孔均勻分布于所述反應(yīng)板的表面。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅料的清洗裝置，其特征在于，所述硅料的清洗裝置還包括多個連接件，多個所述連接件沿所述進氣蓋和所述釜體下法蘭的周向均勻設(shè)置。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及多晶硅生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種硅料的清洗裝置，包括：反應(yīng)釜體，設(shè)置有投料口、進液管以及進氣口，所述投料口的外沿設(shè)有釜體投料法蘭，所述進氣口的外沿設(shè)有釜體下法蘭；投料蓋，連接于所述釜體投料法蘭處；進氣蓋，連接于所述釜體下法蘭處，所述進氣蓋上設(shè)置有進氣管；以及反應(yīng)板，位于所述進氣蓋和所述釜體下法蘭的連接處，以承載待清洗的多晶硅料；其中，所述進液管位于所述反應(yīng)釜體的頂部，所述投料口位于所述反應(yīng)釜體的頂部側(cè)邊，所述進氣口位于所述反應(yīng)釜體的底部。本技術(shù)具有結(jié)構(gòu)簡單、拆裝方便，增強了裝置的抱氣效果，提升了多晶硅料的清洗效果。

技術(shù)研發(fā)人員：夏金星,何家壅,杜農(nóng)濤,張建功
受保護的技術(shù)使用者：吉利硅谷（谷城）科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240612
技術(shù)公布日：2025/4/28