本發明涉及石英舟清洗，具體涉及一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備。

背景技術：

1、石英舟通常是在半導體、光伏等行業用于承載硅片等材料進行高溫處理(如擴散、退火等工藝)，硅片擴散工藝，是將硅片插在石英舟上，然后將石英舟連同硅片一起放入石英管，并一起放入高溫擴散爐中，之后在爐管的尾部通入一定量含有擴散源的氣體，在高溫條件下，通過擴散源氣體與硅片發生化學反應，完成擴散工藝，由于每次擴散工藝后，石英舟表面都會殘存一定量擴散后的微粒，而石英舟又直接與硅片接觸，因此，石英舟表面的清潔度直接影響到整個擴散工藝的質量；

2、現有的石英舟清洗工藝中，通常通過浸泡酸洗的方式進行傾斜且清洗完畢后的石英舟需要來回搬運再次進行處理，由于石英舟表面依然殘留酸液難以去除再經過搬運處理極易對石英舟造成碎裂損壞影響使用，所以我們提出了一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備。

技術實現思路

1、為解決上述技術問題，本發明提供一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備，包括：

2、環形電滑軌，所述環形電滑軌的外側設置有底柱；

3、電動滑軌，所述電動滑軌的一側設置有夾持裝置；

4、清洗裝置，該清洗裝置通過高壓噴洗的方式來對臥式石英舟進行清洗處理，防止石英舟表面依然殘留酸液難以去除再經過搬運處理極易對石英舟造成碎裂損壞影響使用；

5、所述環形電滑軌的外側與底柱的頂部固定連接，所述環形電滑軌的一側與電動滑軌的一側轉動連接，所述電動滑軌遠離環形電滑軌的一側與夾持裝置的一側滑動連接；

6、其中，所述清洗裝置包括：

7、矩形水箱，所述矩形水箱的兩側均設置有弧形水管；

8、弧形通水板，該弧形通水板設置為內部具有弧形空腔的弧形板體，所述弧形通水板的外側設置有高壓水泵；

9、所述弧形通水板的內側開設有弧面圓孔，通過開設孔徑較小的弧面圓孔來對臥式石英舟進行高壓沖洗，防止石英舟表面依然殘留酸液難以去除再經過搬運處理極易對石英舟造成碎裂損壞影響使用；

10、所述矩形水箱的一側與弧形水管的一端相連通，所述弧形水管遠離矩形水箱的一端與高壓水泵的進水口相連通，所述高壓水泵的出水口與弧形通水板的外側相連通；

11、所述弧形通水板的內壁固定連接有v型導流板，通過在弧形通水板內壁設置v型導流板來對高壓噴入的水流進行阻流便于水流通過弧面圓孔高壓噴出，防止高壓噴入弧形通水板的水流直接從一部分弧面圓孔中噴出難以均勻地從每個弧面圓孔噴出，所述弧形通水板的底部固定連接有弧形連桿，所述矩形水箱的內壁固定連接有方形過濾板，通過在矩形水箱內設置方形過濾板來對清洗后的水進行過濾，防止清洗過石英舟的水中含有雜物重新回收在矩形水箱內后難以被回收利用，所述矩形水箱的頂部固定連接有波形橡膠墊，通過在矩形水箱上設置彈性材質的波形橡膠墊來減緩臥式石英舟掉落時產生的硬性損壞，防止臥式石英舟清洗完畢向下掉落時與矩形水箱頂部的硬性尖端碰撞造成損壞難以使用；

12、所述弧形連桿遠離弧形通水板的一端與矩形水箱的一側固定連接，所述弧形連桿設置有多個，且多個所述弧形連桿分布在弧形通水板底部；

13、所述弧形水管設置有兩個，且兩個所述弧形水管分別分布在矩形水箱兩側。

14、進一步地，所述夾持裝置包括弧形夾板，所述弧形夾板的內側固定連接有空心氣墊，通過在弧形夾板內側設置彈性材質的空心氣墊來對臥式石英舟進行彈性適配式接觸，防止弧形夾板在直接與臥式石英舟硬性接觸式難以把控力度對其表面造成硬性磨損，所述空心氣墊的頂部和底部均開設有方形孔，所述方形孔的內壁固定連接有方形海綿板，方形海綿板被擠壓壓縮時內部吸收的水分會向外側溢出，防止方形海綿板長時間吸收過多水分后透水性較差導致空心氣墊內部的積水無法及時排出持續堆積，所述空心氣墊的內壁固定連接有弧形墊片，通過在空心氣墊內壁與通氣機構之間設置弧形墊片來隔絕空心氣墊與通氣機構的硬性接觸，防止空心氣墊受擠壓被壓縮發生變形時內壁的通氣機構對臥式石英舟造成壓痕，所述弧形墊片的外側固定連接有通氣機構，所述通氣機構的外表面套設并滑動連接有復位彈簧，失去擠壓力的復位彈簧通過伸展力推動弧形墊片使得空心氣墊膨脹復原，防止空心氣墊多次使用后受壓縮力影響較大難以通過彈性復原力復原至初始形狀，所述弧形夾板的一側與電動滑軌的一側滑動連接，所述弧形夾板設置有多個，且多個所述弧形夾板分布在電動滑軌一側，所述空心氣墊設置為內部具有弧形空腔的橡膠體，所述弧形墊片設置有多個，且多個所述弧形墊片分布在空心氣墊內壁，所述通氣機構遠離弧形墊片的一端貫穿空心氣墊并延伸至弧形夾板外側，所述復位彈簧遠離弧形墊片的一端與空心氣墊的內壁固定連接。

15、進一步地，所述通氣機構包括圓形穿管，所述圓形穿管的外表面開設有通氣圓孔，通過在圓形穿管外表面開設多個通氣圓孔便于空心氣墊內部氣體及時排出，防止空心氣墊受擠壓程度過大時內部氣體壓力過大難以及時排出發生爆氣損壞，所述圓形穿管的一端固定連接有濾塵圓板，通過在圓形穿管遠離空心氣墊的一側設置濾塵圓板來對進入圓形穿管的氣體進行過濾，防止外界的氣體被吸入圓形穿管內時夾雜灰塵逐漸蓄積在內影響后續通氣效果，所述濾塵圓板靠近圓形穿管的一側固定連接有內斜環板，通過在圓形穿管內壁設置內斜環板來將不慎進入圓形穿管內的水滴通過斜面導流出圓形穿管，防止圓形穿管內不慎流進穿過濾塵圓板的水滴持續堆積在圓形穿管內向空心氣墊內溢出，所述內斜環板遠離濾塵圓板的一側固定連接有弧形環板，通過在內斜環板遠離濾塵圓板的一側設置弧形環板來將內斜環板與圓形穿管的夾縫區域封堵，防止圓形穿管內持續堆積的水分蓄積在內斜環板與圓形穿管的夾縫處難以排出，所述圓形穿管遠離濾塵圓板的一端與弧形墊片的外側固定連接，所述圓形穿管靠近濾塵圓板的一端貫穿空心氣墊并延伸至弧形夾板外側，所述圓形穿管的外側與復位彈簧的內側滑動連接，所述弧形環板的外側與圓形穿管的內壁固定連接。

16、本發明具有的有益效果：

17、1.本發明通過開設孔徑較小的弧面圓孔來對臥式石英舟進行高壓沖洗，防止石英舟表面依然殘留酸液難以去除再經過搬運處理極易對石英舟造成碎裂損壞影響使用，通過在弧形夾板內側設置彈性材質的空心氣墊來對臥式石英舟進行彈性適配式接觸，防止弧形夾板在直接與臥式石英舟硬性接觸式難以把控力度對其表面造成硬性磨損，通過在圓形穿管外表面開設多個通氣圓孔便于空心氣墊內部氣體及時排出，防止空心氣墊受擠壓程度過大時內部氣體壓力過大難以及時排出發生爆氣損壞。

18、2.本發明通過設置清洗裝置，通過開設孔徑較小的弧面圓孔來對臥式石英舟進行高壓沖洗，防止石英舟表面依然殘留酸液難以去除再經過搬運處理極易對石英舟造成碎裂損壞影響使用，通過在弧形通水板內壁設置v型導流板來對高壓噴入的水流進行阻流便于水流通過弧面圓孔高壓噴出，防止高壓噴入弧形通水板的水流直接從一部分弧面圓孔中噴出難以均勻地從每個弧面圓孔噴出，通過在矩形水箱內設置方形過濾板來對清洗后的水進行過濾，防止清洗過石英舟的水中含有雜物重新回收在矩形水箱內后難以被回收利用，通過在矩形水箱上設置彈性材質的波形橡膠墊來減緩臥式石英舟掉落時產生的硬性損壞，防止臥式石英舟清洗完畢向下掉落時與矩形水箱頂部的硬性尖端碰撞造成損壞難以使用。

19、3.本發明通過設置夾持裝置，通過在弧形夾板內側設置彈性材質的空心氣墊來對臥式石英舟進行彈性適配式接觸，防止弧形夾板在直接與臥式石英舟硬性接觸式難以把控力度對其表面造成硬性磨損，通過在空心氣墊內壁與通氣機構之間設置弧形墊片來隔絕空心氣墊與通氣機構的硬性接觸，防止空心氣墊受擠壓被壓縮發生變形時內壁的通氣機構對臥式石英舟造成壓痕，方形海綿板被擠壓壓縮時內部吸收的水分會向外側溢出，防止方形海綿板長時間吸收過多水分后透水性較差導致空心氣墊內部的積水無法及時排出持續堆積，失去擠壓力的復位彈簧通過伸展力推動弧形墊片使得空心氣墊膨脹復原，防止空心氣墊多次使用后受壓縮力影響較大難以通過彈性復原力復原至初始形狀。

20、4.本發明通過設置通氣機構，通過在圓形穿管外表面開設多個通氣圓孔便于空心氣墊內部氣體及時排出，防止空心氣墊受擠壓程度過大時內部氣體壓力過大難以及時排出發生爆氣損壞，通過在圓形穿管遠離空心氣墊的一側設置濾塵圓板來對進入圓形穿管的氣體進行過濾，防止外界的氣體被吸入圓形穿管內時夾雜灰塵逐漸蓄積在內影響后續通氣效果，通過在圓形穿管內壁設置內斜環板來將不慎進入圓形穿管內的水滴通過斜面導流出圓形穿管，防止圓形穿管內不慎流進穿過濾塵圓板的水滴持續堆積在圓形穿管內向空心氣墊內溢出，通過在內斜環板遠離濾塵圓板的一側設置弧形環板來將內斜環板與圓形穿管的夾縫區域封堵，防止圓形穿管內持續堆積的水分蓄積在內斜環板與圓形穿管的夾縫處難以排出。