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一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備的制作方法

文檔序號:41730482發布日期:2025-04-25 17:02閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于,包括:

2.根據權利要求1所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述弧形通水板(403)的內壁固定連接有v型導流板(406),所述弧形通水板(403)的底部固定連接有弧形連桿(407),所述矩形水箱(401)的內壁固定連接有方形過濾板(408),所述矩形水箱(401)的頂部固定連接有波形橡膠墊(409)。

3.根據權利要求2所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述弧形連桿(407)遠離弧形通水板(403)的一端與矩形水箱(401)的一側固定連接,所述弧形連桿(407)設置有多個,且多個所述弧形連桿(407)分布在弧形通水板(403)底部。

4.根據權利要求2所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述弧形水管(402)設置有兩個,且兩個所述弧形水管(402)分別分布在矩形水箱(401)兩側。

5.根據權利要求1所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述夾持裝置(5)包括弧形夾板(501),所述弧形夾板(501)的內側固定連接有空心氣墊(502),所述空心氣墊(502)的頂部和底部均開設有方形孔(503),所述方形孔(503)的內壁固定連接有方形海綿板(504),所述空心氣墊(502)的內壁固定連接有弧形墊片(505),所述弧形墊片(505)的外側固定連接有通氣機構(506),所述通氣機構(506)的外表面套設并滑動連接有復位彈簧(507)。

6.根據權利要求5所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述弧形夾板(501)的一側與電動滑軌(3)的一側滑動連接,所述弧形夾板(501)設置有多個,且多個所述弧形夾板(501)分布在電動滑軌(3)一側。

7.根據權利要求5所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述空心氣墊(502)設置為內部具有弧形空腔的橡膠體,所述弧形墊片(505)設置有多個,且多個所述弧形墊片(505)分布在空心氣墊(502)內壁。

8.根據權利要求5所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述通氣機構(506)遠離弧形墊片(505)的一端貫穿空心氣墊(502)并延伸至弧形夾板(501)外側,所述復位彈簧(507)遠離弧形墊片(505)的一端與空心氣墊(502)的內壁固定連接。

9.根據權利要求5所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述通氣機構(506)包括圓形穿管(5061),所述圓形穿管(5061)的外表面開設有通氣圓孔(5062),所述圓形穿管(5061)的一端固定連接有濾塵圓板(5063),所述濾塵圓板(5063)靠近圓形穿管(5061)的一側固定連接有內斜環板(5064),所述內斜環板(5064)遠離濾塵圓板(5063)的一側固定連接有弧形環板(5065)。

10.根據權利要求9所述的一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,其特征在于:所述圓形穿管(5061)遠離濾塵圓板(5063)的一端與弧形墊片(505)的外側固定連接,所述圓形穿管(5061)靠近濾塵圓板(5063)的一端貫穿空心氣墊(502)并延伸至弧形夾板(501)外側,所述圓形穿管(5061)的外側與復位彈簧(507)的內側滑動連接,所述弧形環板(5065)的外側與圓形穿管(5061)的內壁固定連接。


技術總結
本發明公開了一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,本發明涉及石英舟清洗技術領域,包括矩形水箱,矩形水箱的兩側均設置有弧形水管;弧形通水板,該弧形通水板設置為內部具有弧形空腔的弧形板體,弧形通水板的外側設置有高壓水泵,弧形通水板的內側開設有弧面圓孔,該一種防碎裂的臥式石英舟清洗設備,通過開設孔徑較小的弧面圓孔來對臥式石英舟進行高壓沖洗,防止石英舟表面依然殘留酸液難以去除再經過搬運處理極易對石英舟造成碎裂損壞影響使用,通過在弧形通水板內壁設置V型導流板來對高壓噴入的水流進行阻流便于水流通過弧面圓孔高壓噴出,防止高壓噴入弧形通水板的水流直接從一部分弧面圓孔中噴出難以均勻地從每個弧面圓孔噴出。

技術研發人員:王坤,鞏續娟
受保護的技術使用者:江蘇鴻舸半導體有限公司
技術研發日:
技術公布日:2025/4/24
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