本實用新型涉及硅材料加工設備技術領域，尤其涉及一種超純超細金屬硅粉的生產裝置。

背景技術：

超純超細硅粉是最重要的半導體材料，廣泛應用于計算機、微波通信、光纖通訊、太陽能發電等方面。科學家把現時代稱為硅時代，金屬硅具有優良的物理化學及半導體性質，因此在半導體器件中很快得到應用，并得到飛速發展。傳統制備超純超細硅粉在生產過程中易產生雜質，不利于大規模工業生產，經常存在細而不純、純而不細的難題，也有的工藝過于復雜、生產費用高。目前，我國超純超細金屬硅粉的來源很大程度上依賴進口，改進自主超純超細硅粉生產裝置顯得尤為重要。

現有技術中的超純超細金屬硅粉的生產裝置一般包括空氣壓縮機、冷凍干燥機、油水過濾器、粉碎室和分級室，該空氣壓縮機、冷凍干燥機、油水過濾器、粉碎室和分級室依次連接，采用上述結構的超純超細金屬硅粉的生產裝置結構復雜，成本較高，難于大范圍推廣應用。

技術實現要素：

鑒于上述現有技術的不足之處，本實用新型的目的在于提供一種超純超細金屬硅粉的生產裝置，旨在解決現有技術結構復雜，成本較高，難于大范圍推廣應用的問題。

為了達到上述目的，本實用新型采取了以下技術方案：

一種超純超細金屬硅粉的生產裝置，包括依次連接的空氣壓縮機、冷凍干燥機、油水過濾器、粉碎室和引風機，所述引風機和粉碎室之間設置有除塵收集室，所述除塵收集室下端設置有分類收集系統，所述分類收集系統與所述粉碎室連接。

進一步地，所述除塵收集室包括電機、固定盤、轉盤、收集盒和回收盒，所述電機的輸出端與所述轉盤同軸連接，所述固定盤設置于所述電機的輸出軸與所述轉盤之間且與所述除塵收集室的側壁固定，所述固定盤上設置有大目數篩孔區和小目數篩孔區，所述大目數篩孔區下連接有收集盒，所述小目數篩孔區下連接有回收盒，所述回收盒與所述粉碎室連接。

進一步地，所述回收盒與所述粉碎室之間通過管道連接。

進一步地，所述粉碎室和除塵收集室的內側壁上均設置有聚氨酯保護層。

進一步地，所述小目數篩孔區的篩孔孔徑大于等于1000目的顆粒的粒徑。

進一步地，所述粉碎室為行星式球磨機。

有益效果：本實用新型提供的超純超細金屬硅粉的生產裝置，將現有技術的分級室和回收室合二為一了，在分級室內既可以分級，又可以回收，結構簡單，成本較低，縮短工藝流程。

附圖說明

圖1為本實用新型具體實施例的加濕風扇的結構示意圖。

圖中所示：1、空氣壓縮機；2、冷凍干燥機；3、油水過濾器；4、粉碎室；5、引風機；6、除塵收集室；7、分類收集系統；8、管道，9、聚氨酯保護層。

具體實施方式

本實用新型提供一種超純超細金屬硅粉的生產裝置。為使本實用新型的目的、技術方案及效果更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實施例對本實用新型進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅用以解釋本實用新型，并不用于限定本實用新型。

如圖1示，本實用新型的實施例的一種超純超細金屬硅粉的生產裝置，包括依次連接的空氣壓縮機1、冷凍干燥機2、油水過濾器3、粉碎室4和引風機5，其特征在于，所述引風機5和粉碎室4之間設置有除塵收集室6，所述除塵收集室6下端設置有分類收集系統7，所述分類收集系統7與所述粉碎室4連接。

所述除塵收集室6包括電機、固定盤、轉盤、收集盒和回收盒，所述電機的輸出端與所述轉盤同軸連接，所述固定盤設置于所述電機的輸出軸與所述轉盤之間且與所述除塵收集室6的側壁固定，所述固定盤上設置有大目數篩孔區和小目數篩孔區，所述大目數篩孔區下連接有收集盒，所述小目數篩孔區下連接有回收盒，所述回收盒與所述粉碎室4連接。

所述回收盒與所述粉碎室4之間通過管道8連接。

所述粉碎室4和除塵收集室6的內側壁上均設置有聚氨酯保護層9。

所述小目數篩孔區的篩孔孔徑大于等于1000目的顆粒的粒徑。

所述粉碎室4為行星式球磨機。

本實用新型的工作原理為：

(1)原料輸送

將純度99.995％左右，細度200目左右的原材料倒入原料容器里，將吸料管道8放置在容器適當位置并固定。

(2)物料粉碎

干凈新鮮空氣經空氣壓縮機1壓縮，形成0.6-1.2MPa的高壓氣體，高壓氣體經不銹鋼管道8進入儲氣罐進行油水分離，然后進入過濾器進行精密過濾，形成較純凈的高壓氣體，接著進入露點溫度-40℃的冷凍干燥機2進行冷凍干燥，再進入過濾器進行高精密過濾，最終形成低溫高純高壓氣體，低溫高純高壓氣體進入氣流粉碎機粉碎室4，經噴嘴噴射形成1-3倍超高速氣流，帶動經氣流粉碎機加料倉負壓吸進的物料高速運動，將物料進行粉碎。

(3)物料分級

粉碎后的顆粒隨上升氣流到達除塵收集室6，進而到下面的分類收集系統7里，粒度大于1000目的顆粒轉入回收盒再到粉碎室4再次粉碎，粒度小于1000目的顆粒進入收集盒歸集裝袋包裝，形成不同規格的產品，最終產品純度為99.998％，產品粒度為2000-12500目，成品率99％以上。

尾氣經布袋過濾器過濾，干凈尾氣經引風機5排出。原料進量根據產品要求每小時5KG-50KG，出量與進量保持平衡。

本實用新型改進了加料方式及管道8材質，在除塵收集室6和粉碎室4內側壁上設置聚氨酯保護層9；改進減少了成品收集環節。避免了粉碎后成品率低，效果差的難題，氣流粉碎機加料裝置、噴嘴、分級輪等與原料直接接觸的部位用聚氨酯輔以特種材料所制耐磨復合新材料制成，管壁內部襯以聚氨酯，有效防止了粉碎過程產生的二次污染，產品收集減少了步驟，采用全自動真空包裝，成品率高，產品粒度細，分布均勻，形貌規則。

可以理解的是，對本領域普通技術人員來說，可以根據本實用新型的技術方案及本實用新型構思加以等同替換或改變，而所有這些改變或替換都應屬于本實用新型所附的權利要求的保護范圍。