本技術涉及真空泵的，尤其涉及一種具有本公開內容的特征的模塊化地構造的膜片式真空泵。

背景技術：

1、由標準din?28400部分2已知擺動容積式真空泵。在此涉及真空泵，其中，泵室周期性地與入口分開并且在改變泵室容積的情況下通過來回運動的壁將氣體輸送到出口。膜片式真空泵是這樣的真空泵的實施方式。

2、由現有技術de?102006021535?b3和cn?218207018?u已知膜片式真空泵。在該泵類型中，泵單元的泵室通過振動的元件、例如膜片周期性地縮小并且增大。在泵室增大時，有待輸送的介質、氣體或者蒸汽通過泵單元處的至少一個入口吸取到泵室中。在泵室縮小時，介質在泵室中被壓縮并且通過泵單元處的至少一個出口來排出。

3、膜片式真空泵具有一個或多個泵級。多級的膜片式真空泵具有多個泵單元，并且第一泵級的至少一個泵室以其出口與第二泵級的至少一個泵室的入口連接。利用多級的膜片式真空泵的泵級的這種布置方式得到更低的末端壓力。隨著每個泵級的泵室的數量增多，吸取能力得以提高。

4、由us2004197201?a1或者wo?2009068180?a1已知具有多個泵室的多級的膜片式真空泵。

5、多級的膜片式真空泵復雜地構造并且其泵單元通過居中的曲柄傳動機構驅動。泵單元與曲柄傳動機構對置地布置并且必要時沿著該曲柄傳動機構布置。

技術實現思路

1、從開頭所提及的現有技術出發，本實用新型的目的在于，說明一種在結構方面得到改善的多級的膜片式真空泵。同樣應該通過所述結構實現在制造方面更為成本低廉的膜片式真空泵。

2、該目的通過開頭所提及的類型的具有本公開內容的特征的膜片式真空泵來實現。優選的設計方案和改進方案是本公開內容的主題。

3、按照本實用新型，膜片式真空泵設有：電驅動裝置；曲柄傳動機構；泵體；具有布置在泵體處的至少一個泵單元的泵布置結構；以及入口和至少一個出口。驅動裝置具有馬達，該馬達與曲柄傳動機構限定了縱向軸線。馬達沿著縱向軸線布置在泵體處。每個泵單元具有泵室、流體入口處的閥和流體出口處的另外的閥以及分別引導到泵室的、與流體入口連接的吸取管路以及與流體出口連接的壓力管路。在每個泵室處布置有膜片，該膜片以由曲柄傳動機構驅動的方式使得泵室交替地增大并且縮小，其中，入口與至少一個泵室通過其吸取管路連接，并且出口與至少一個泵室通過其壓力管路連接。泵布置結構布置在垂直于驅動裝置的縱向軸線的布置平面處，并且泵布置結構的兩個泵單元在布置平面中圍繞驅動裝置的縱向軸線均勻地分布地布置，其中，其曲柄傳動機構分別具有帶有支承平面的下方的軸承，并且其中，支承平面沿著縱向軸線對置地布置并且相對于泵布置結構的布置平面以相同的支承間距進行布置。泵布置結構于是能夠具有泵單元，這些泵單元是相同的。膜片式真空泵的模塊化的結構于是利用相同的部件能夠實現的是，由此能夠更為成本低廉地制造并且裝配該膜片式真空泵。

4、根據優選的實施方案，膜片式真空泵的泵體具有多個泵布置結構，其各具有另外的布置平面并且各具有兩個另外的泵單元，其沿著縱向軸線錯開并且圍繞縱向軸線分別以由360°和布置平面的數量構成的商值為幅度進行扭轉。

5、當第一和第二或者說另外的布置平面的泵布置結構沿著縱向軸線彼此鄰近地布置時，實現膜片式真空泵的特別緊湊的結構。

6、根據膜片式真空泵的另外的優選的實施方案，泵體具有馬達支承凸緣以及沿著縱向軸線錯開并且對置的殼體支承凸緣。馬達支承凸緣和殼體支承凸緣分別承載球軸承，所述球軸承支承曲柄傳動機構。優選馬達緊固在馬達支承凸緣處。

7、特別優選地，曲柄傳動機構的轉動支承結構具有布置在殼體支承凸緣的球軸承和泵單元的支承平面的與之鄰近的軸承之間的、并且作用到曲柄傳動機構上的彈性的彈簧元件。該彈簧元件將支承平面的軸承在曲柄傳動機構上沿縱向軸線的方向無間隙地對著馬達支承凸緣的球軸承擠壓并且能夠實現膜片式真空泵的安靜的運行。

8、根據膜片式真空泵的優選的實施方案，至少兩個泵單元的吸取管路以形成第一泵級的方式與入口連接并且其壓力管路與至少一個另外的泵單元的流體入口以形成第二泵級的方式連接。

9、本實用新型的也能夠獨立地實現的優選的方面涉及一種膜片式真空泵，該膜片式真空泵將分別具有至少兩個泵單元的第二泵布置結構布置在第二泵布置結構的垂直于電驅動裝置的縱向軸線的平面中。替代地，膜片式真空泵具有在垂直于電驅動裝置的縱向軸線的平面中的帶有至少四個泵單元的第一或者第二泵布置結構，這些泵單元優選圍繞縱向軸線星形地布置。另外的替代的膜片式真空泵具有多個泵布置結構，其具有多個圍繞電驅動裝置的縱向軸線均勻地分布地布置的泵單元。按照本實用新型的膜片式真空泵的這些替代的實施方案同樣具有緊湊的結構。

10、本實用新型的也能夠獨立地實現的另外的方面涉及一種膜片式真空泵，該膜片式真空泵將多件式的殼體緊固在泵體處。在特別的設計方案中，殼體在上方并且在側方跨越泵單元。泵體和驅動裝置于是被保護以免觸碰操作者。殼體的用于放置泵的下側在泵體的區域中仍然是敞開的并且對于操作者而言易夠到。

11、有利地，殼體具有側覆蓋部、入口覆蓋部和風扇覆蓋部，并且于是形成緊湊的、能容易裝配且拆卸的泵。優選側覆蓋部是多件式的，并且由關于縱向軸線在左側的側覆蓋部和在右側的側覆蓋部構成。

12、以特別的方式，膜片式真空泵能夠通過布置側覆蓋部來冷卻，因為該側覆蓋部與泵體和/或泵殼體成間距地以形成間隙的方式進行布置。空氣流于是能夠以在側覆蓋部下方引導的方式有效地冷卻泵體。特別地在運行膜片式真空泵之后，通過在泵體的區域中的下側處沒有被跨越的、敞開的側覆蓋部能夠實現所述冷卻，其中，空氣通過入口覆蓋部和風扇覆蓋部逸出。

13、按照一種有利的設計方案，在膜片式真空泵的側覆蓋部處布置有用于放置膜片式真空泵的多個支腳。利用該設計方案能夠容易實現的是，取下入口覆蓋部或者風扇覆蓋部以用于裝配、清潔、保養或者維修。

14、本實用新型的也能夠獨立地實現的另外的方面涉及一種膜片式真空泵，該膜片式真空泵具有帶有多個泵單元的第一泵級以及帶有至少一個泵單元的第二泵級。在第一泵級的壓力管路與出口之間布置有溢流閥，該溢流閥在壓力管路中的壓力大于出口處的壓力時被打開，并且在壓力管路中的壓力小于出口處的壓力時被關閉。在具有溢流閥的多級的膜片式真空泵中，泵出過程更為快速。

15、由接下來的說明書結合附圖以及其說明來得到按照本實用新型的膜片式真空泵的另外的優選的設計方案。

技術特征：

1.膜片式真空泵(1)，其包括：

2.根據權利要求1所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，所述泵體(11)具有多個泵布置結構(21、21′、21″、21″′)，其中，每個泵布置結構(21、21′、21″、21″′)具有另外的布置平面(28、28′、28″、28″′)和兩個另外的泵單元(23)，這些另外的泵單元沿著所述縱向軸線(l)錯開并且圍繞縱向軸線(l)分別以由360°和布置平面(28)的數量構成的商值為幅度扭轉。

3.根據權利要求2所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，所述布置平面和所述另外的布置平面(28、28′、28″、28″′)的泵布置結構(21、21′、21″、21″′)沿著所述縱向軸線(l)彼此鄰近地布置。

4.根據權利要求1或2所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，所述泵體(11)具有馬達支承凸緣(15)和沿著所述縱向軸線(l)錯開的并且對置的殼體支承凸緣(16)，其中，在所述馬達支承凸緣(15)和所述殼體支承凸緣(16)處，球軸承(24)分別支承所述曲柄傳動機構(22)，其中，馬達被緊固在馬達支承凸緣(15)處。

5.根據權利要求4所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，在所述殼體支承凸緣(16)的球軸承(24)和泵單元(23)的支承平面(27)的與之鄰近的軸承之間布置有作用到所述曲柄傳動機構(22)上的彈性的彈簧元件(31)，所述彈簧元件將所述支承平面(27)的軸承在曲柄傳動機構(22)上沿所述縱向軸線(l)的方向對著所述馬達支承凸緣(15)的球軸承(24)無間隙地按壓。

6.根據權利要求1或2所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，至少兩個泵單元(23)的吸取管路(55)與所述入口(2)以形成第一泵級的方式連接，并且其壓力管路(57)與至少一個另外的泵單元(23)的流體入口(47)以形成第二泵級的方式連接。

7.膜片式真空泵(1)，其包括：

8.膜片式真空泵(1)，其包括：

9.根據權利要求8所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，所述殼體具有側覆蓋部、入口覆蓋部(7)和風扇覆蓋部(8)。

10.根據權利要求9所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，所述側覆蓋部與所述泵體(11)和/或泵殼體(13)成間距地、以形成間隙的方式布置。

11.根據權利要求9或10所述的膜片式真空泵(1)，其特征在于，在所述側覆蓋部處布置有多個支腳(9)，這些支腳用于放置所述膜片式真空泵(1)。

12.膜片式真空泵(1)，其包括：

技術總結
提出了一種模塊化地構造的膜片式真空泵。膜片式真空泵設有：電驅動裝置；曲柄傳動機構；泵體；具有布置在泵體處的至少一個泵單元的泵布置結構；以及入口和至少一個出口。驅動裝置具有馬達，該馬達與曲柄傳動機構限定了縱向軸線。馬達沿著縱向軸線布置在泵體處。每個泵單元具有泵室、流體入口處的閥和流體出口處的另外的閥以及分別引導到泵室的、與流體入口連接的吸取管路以及與流體出口連接的壓力管路。在每個泵室處布置有膜片，該膜片以由曲柄傳動機構驅動的方式使得泵室交替地增大并且縮小。所述入口與至少一個泵室通過其吸取管路連接，并且出口與至少一個泵室通過其壓力管路連接。

技術研發人員：G·呂斯特,J·迪爾舍爾
受保護的技術使用者：維科普蘭德有限兩合公司
技術研發日：20240409
技術公布日：2025/4/28