本發明涉及低溫泵系統。

背景技術：

1、超低溫冷卻在如半導體制造及測試領域等各種產業領域中被廣泛使用。此處，超低溫可以表示-200度以下的溫度，用于獲得超低溫的冷卻過程一般使用壓縮器、冷凝器、膨脹器以及蒸發器，制冷劑在蒸發器中蒸發而構建超低溫環境。

2、關于這種構建超低溫環境的技術，作為現有技術的韓國公開專利第2020-0079062號公開了超低溫制冷柜。

3、為了構建超低溫環境主要使用作為高真空低溫泵用制冷機的gm(gifford_mcmahon：吉福德-麥克馬洪)制冷機，這種低溫泵用制冷機的特征在于，低溫泵的溫度在初期從常溫降低至20k時，制冷機以最高rpm的電機轉速工作，在低溫泵的溫度達到20k之后，制冷機以約50～60rpm的電機轉速工作。

技術實現思路

1、技術問題

2、本發明提供如下的低溫泵系統：對低溫泵的一級臺部和二級臺部中的二級臺部的溫度進行測量，對二級臺部的溫度是否達到預設的二級基準溫度進行監視。

3、本發明提供在每次二級臺部的溫度達到預設的二級基準溫度時使壓縮機的運行頻率階段性地增加的低溫泵系統。

4、但是，本實施例想要解決的技術課題不限定于如上所述的技術課題，也可能存在其他的技術課題。

5、技術方案

6、作為用于解決上述技術課題的手段，本發明的一實施例能夠一種低溫泵系統，包括低溫泵以及向上述低溫泵供給高壓的氦制冷劑的壓縮機，其中，該低溫泵系統包括：溫度測量部，對低溫泵的一級臺部和二級臺部中的上述二級臺部的溫度進行測量；監視部，對上述二級臺部的溫度是否達到預設的二級基準溫度進行監視；以及控制部，在每次上述二級臺部的溫度達到上述預設的二級基準溫度時，使上述壓縮機的運行頻率階段性地增加。

7、根據一實施例，上述壓縮機的初始運行頻率可以為40hz至45hz，上述控制部能夠使上述壓縮機的運行頻率增加到50hz至60hz。

8、根據一實施例，在每次達到上述預設的二級基準溫度時，上述控制部能夠使上述壓縮機的運行頻率增加5hz至10hz。

9、根據一實施例，上述預設的二級基準溫度可以為17k以上且20k以下。

10、根據一實施例，在上述壓縮機以60hz的運行頻率工作的途中，超過上述預設的二級基準溫度之后，上述控制部能夠執行再生工序。

11、上述的解決課題的手段僅是例示的，不應解釋為意圖限定本發明。上述例示的實施例以外，也可以存在記載于附圖及發明的詳細說明的額外的實施例。

12、發明效果

13、根據上述的用于解決本發明的課題的手段中的任意一個，能夠提供如下的低溫泵系統：對低溫泵的一級臺部和二級臺部中的二級臺部的溫度進行測量，對二級臺部的溫度是否達到預設的二級基準溫度進行監視。

14、能夠提供如下的低溫泵系統：在每次二級臺部的溫度達到預設的二級基準溫度時，使壓縮機的運行頻率階段性地增加，從而能夠減少低溫泵的功率。

15、本發明能夠提供如下的低溫泵系統：不從冷卻工序初期開始使壓縮機的運行頻率成為最大運行頻率，根據隨著使用時間或者氣體冷凝量增加而增加的溫度，漸進地使壓縮機的運行頻率增加，從而能夠減少功率。

16、本發明能夠提供如下的低溫泵系統：將壓縮機的初始運行頻率設定得低來使壓縮機工作，從而能夠減少功率。

技術特征：

1.一種低溫泵系統，包括低溫泵以及向所述低溫泵供給高壓的氦制冷劑的壓縮機，其中，該低溫泵系統包括：

2.根據權利要求1所述的低溫泵系統，其中，

3.根據權利要求1所述的低溫泵系統，其中，

4.根據權利要求1所述的低溫泵系統，其中，

5.根據權利要求1所述的低溫泵系統，其中，

技術總結
本發明提供一種低溫泵系統，包括低溫泵以及向上述低溫泵供給高壓的氦制冷劑的壓縮機，其中，該低溫泵系統包括：溫度測量部，對低溫泵的一級臺部和二級臺部中的上述二級臺部的溫度進行測量；監視部，對上述二級臺部的溫度是否達到預設的二級基準溫度進行監視；以及控制部，在每次上述二級臺部的溫度達到上述預設的二級基準溫度時，使上述壓縮機的運行頻率階段性地增加。

技術研發人員：吳光鎮,楊元均,安敬準
受保護的技術使用者：科約H&I株式會社
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28