本申請涉及風管關斷裝置，尤其是一種氣動風閥及裝置。

背景技術：

1、在半導體行業中，lds（liquid?delivery?system）設備是半導體制造中用于精確輸送液態前驅體或化學品的核心系統。在lds設備的排風管上通常需要安裝一個風閥，以便在lds設備起火時，及時關閉排風管防止用于滅火的二氧化碳從排風管排出，從而能夠提高二氧化碳滅火效果，現有技術中在lds設備的排風管中通常采用曲柄搖塊機構，利用氣缸加一個連桿形式實現閥門開啟關閉，但是在開啟或關閉時氣缸與連桿共線，此時裝置傳動角為零，容易出現裝置卡死無法動作的情況，并且現有的風閥的閥板與殼體之間的密封性不好。

技術實現思路

1、本申請的目的在于克服現有技術中lds設備的排風管中的自動風閥結構復雜、成本高，以及容易卡死、密封性差的問題，提供一種氣動風閥及裝置。

2、第一方面，提供了一種氣動風閥，包括殼體，所述殼體呈兩端開口的中空筒狀結構；閥板，所述閥板可轉動的安裝于殼體內部，所述閥板外壁嵌設有可與殼體內壁貼合的柔性密封圈；密封組件，所述密封組件包括第一密封板和第二密封板，所述第一密封板固定于殼體的一側內壁，所述第二密封板固定于殼體的另一側內壁，其中，所述閥板位于第一密封板和第二密封板之間；驅動機構，所述驅動機構包括支架，所述支架的一面預留有導向槽且固定有安裝板，所述安裝板的一面設置有與所述導向槽相適配的導向部，所述導向槽內設有可沿導向槽自由滑動的滑桿，所述滑桿的一端通過第一連桿與閥板的第一旋轉軸固定連接，所述滑桿的另一端連接有第二連桿，所述第二連桿的一端與安裝板軸接，所述第二連桿的另一端軸接有第三連桿，所述第三連桿遠離第二連桿的一端與氣缸的活塞桿軸接，所述氣缸的缸體與安裝板固定連接，其中，所述第二連桿的第二旋轉軸與所述閥板的第一旋轉軸同軸，在閥板處于閉合或打開狀態時，第二連桿與第三連桿之間的夾角以及第三連桿與氣缸的活塞桿之間的夾角均大于零且不等于180°。

3、在一些可能的實現方式中，所述第一密封板和第二密封板均設置成圓弧形結構，通過圓弧形結構的設計，能夠使得第一密封板和第二密封板沿著殼體的內側壁方向形成2個半圓弧，在閥板閉合后，其中一個半圓弧位于閥板的一側上方，另一個半圓弧位于閥板另一側的下方，能夠從閥板的兩側實現對閥板的密封，且不會占用殼體內較大的空間，以保證風閥打開時的通風量。

4、在一些可能的實現方式中，在閥板處于關閉狀態時，第一密封板與所述閥板一側的上表面貼合，第二密封板與所述閥板另一側的下表面貼合，在閥板關閉后，通過第一密封板、第二密封板與閥板貼合來進一步提高閥板與第一密封板、第二密封板之間的密封性。

5、在一些可能的實現方式中，所述導向槽設置為四分之一圓弧狀，所述導向部包括四分之一圓弧部以及與四分之一圓弧部平滑銜接的直線部，其中，四分之一圓弧部能夠與導向槽重合共同起到對滑桿的限位和導向作用。

6、在一些可能的實現方式中，所述第三連桿設置成弧形結構，通過將第三連桿設置成弧形結構。

7、在一些可能的實現方式中，所述所述第三連桿通過連接件與氣缸的活塞桿軸接，其中，所述第三連接桿與連接件軸接，所述連接件與氣缸的活塞桿固定連接。

8、在一些可能的實現方式中，所述連接件一側固定有滑塊，所述滑塊與導向部的直線部滑動連接。

9、在一些可能的實現方式中，所述殼體側壁嵌設有第一偵測器氣管接頭和第二偵測器氣管接頭，其中，所述閥板閉合后位于第一偵測器氣管接頭和第二偵測器氣管接頭之間。

10、在一些可能的實現方式中，所述第一密封板靠近閥板的一面嵌設有可與閥板貼合的第一柔性密封條，所述第二密封板靠近閥板的一面嵌設有可與閥板貼合的第二柔性密封條。

11、在一些可能的實現方式中，所述第一密封板、第二密封板、柔性密封圈、第一柔性密封條和第二柔性密封條均由耐高溫材料制成。

12、本申請具有如下有益效果：本申請的氣動風閥基于曲柄滑塊機構，通過氣缸與連桿的簡單結構實現了對閥板開關的驅動，不僅結構簡單，生產成本低，而且本申請的氣動風閥處于閉合或打開狀態（這里的打開狀態指閥板完全打開）時，第二連桿與第三連桿之間的夾角以及第三連桿與氣缸的活塞桿之間的夾角不會出現0°或180°，從而不會出現卡死現象，能夠保證閥板的連續、順暢動作，并且閥板在閉合時能夠與兩側的第一密封板和第二密封板緊密貼合，從而保證了閥板閉合后的密封性，使得風閥閉合后lds設備中的氣體不會從風閥泄漏。

技術特征：

1.一種氣動風閥，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的氣動風閥，其特征在于，所述第一密封板和第二密封板均設置成圓弧形結構。

3.根據權利要求1或2所述的氣動風閥，其特征在于，在閥板處于關閉狀態時，第一密封板與所述閥板一側的上表面貼合，第二密封板與所述閥板另一側的下表面貼合。

4.根據權利要求1所述的氣動風閥，其特征在于，所述導向槽設置為四分之一圓弧狀，所述導向部包括四分之一圓弧部以及與四分之一圓弧部平滑銜接的直線部。

5.根據權利要求4所述的氣動風閥，其特征在于，所述第三連桿設置成弧形結構。

6.根據權利要求5所述的氣動風閥，其特征在于，所述所述第三連桿通過連接件與氣缸的活塞桿軸接，其中，所述第三連接桿與連接件軸接，所述連接件與氣缸的活塞桿固定連接。

7.根據權利要求6所述的氣動風閥，其特征在于，所述連接件一側固定有滑塊，所述滑塊與導向部的直線部滑動連接。

8.根據權利要求1所述的氣動風閥，其特征在于，所述殼體側壁嵌設有第一偵測器氣管接頭和第二偵測器氣管接頭，其中，所述閥板閉合后位于第一偵測器氣管接頭和第二偵測器氣管接頭之間。

9.根據權利要求1所述的氣動風閥，其特征在于，所述第一密封板靠近閥板的一面嵌設有可與閥板貼合的第一柔性密封條，所述第二密封板靠近閥板的一面嵌設有可與閥板貼合的第二柔性密封條。

10.根據權利要求9所述的氣動風閥，其特征在于，所述第一密封板、第二密封板、柔性密封圈、第一柔性密封條和第二柔性密封條均由耐高溫材料制成。

技術總結
本申請公開了一種氣動風閥及裝置，涉及風管關斷裝置技術領域，解決了現有技術中LDS設備的排風管中的自動風閥結構復雜、成本高，以及容易卡死、密封性差的問題，該方法包括殼體、可轉動的安裝于殼體內部的閥板、嵌設與閥板外壁的柔性密封圈、用于增加密封性的密封組件、以及用于驅動閥板平穩轉動的驅動機構，該氣動風閥基于曲柄滑塊機構，通過氣缸與連桿的簡單結構實現了對閥板開關的驅動，結構簡單，生產成本低，而且閥板處于閉合或打開狀態時，第二連桿與第三連桿之間的夾角以及第三連桿與氣缸的活塞桿之間的夾角不會出現0°或180°，從而不會出現卡死現象；閥板在閉合時能夠與兩側的第一密封板和第二密封板緊密貼合保證了閥板閉合后的密封性。

技術研發人員：劉航瑞
受保護的技術使用者：浙江東開半導體科技有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28