專利名稱：顯微鏡裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種顯微鏡裝置。
背景技術：
有一種顯微鏡裝置是測量顯微鏡裝置。測量顯微鏡裝置具有在光學顯微鏡觀察下進行微細加工物或電子部件等試樣的高度測量的功能。也有的測量顯微鏡裝置具有焦點自動檢測功能。圖12表示這樣的測量顯微鏡裝置的一例。
在圖12中，被檢體21被未圖示的照明系統(tǒng)照亮。被照亮的被檢體21通過物鏡11和成像透鏡12成像。通過目鏡13可目視觀察所成的像。
在物鏡11和成像透鏡12之間的光路上配置有半透鏡17，在通過半透鏡17反射的反射光路上配置有焦點檢測系統(tǒng)30’。在焦點檢測系統(tǒng)30’中，從LED光源(發(fā)光二極管光源)31發(fā)出的測量光通過分光鏡32和聚光透鏡33’，并被半透鏡17反射而轉到觀察光路上，然后通過物鏡11會聚在被檢體21的表面。經(jīng)被檢體21反射后的測量光被物鏡11捕捉，并被半透鏡17反射而返回焦點檢測系統(tǒng)30’，該測量光通過聚光透鏡33’聚光，并被分光鏡32反射，然后通過分光鏡34分成兩束光。分成的兩束光分別通過配置在與被檢體21共軛的P點前后的開口35a、35b，并由光檢測器36a、36b檢測光量。信號處理部41對來自光檢測器36a、36b的信號進行比較，并根據(jù)信號的大小關系來判斷聚焦狀態(tài)和焦點偏移的方向，然后控制Z載物臺15以不出現(xiàn)焦點偏移。由此來進行對焦。
在該測量顯微鏡裝置中，高度測量在照射于被檢體21的測量光的位置即觀察視野的中心進行。因此，在測量被檢體21的高度之前，一邊觀察觀察像一邊通過XY載物臺22使被檢體21移動，以進行使所希望的測量部位與測量光的照射位置一致的對準作業(yè)。在該位置進行對焦，并根據(jù)此時Z載物臺15的移動量獲得高度值。
在難以看到焦點檢測系統(tǒng)30’的測量光、或者焦點檢測系統(tǒng)30’的測量光由于是不可見光而看不到等難以判斷測量部位的狀況下，如日本專利公報特開2003-131116號所公開的那樣，為了容易目視判斷測量部位，還進行在測量光上重疊標識然后照向被檢體21的作業(yè)。
另外還進行這樣的作業(yè)利用CCD等攝像元件拾取圖像并將圖像顯示在監(jiān)視器畫面上，在監(jiān)視器畫面上指示測量部位，然后通過電動化的XY載物臺移動被檢體，使觀察視野中心與所指示的測量部位一致以便進行高度測量。
專利文獻1日本專利公報特開2003-131116號在現(xiàn)有的測量顯微鏡裝置中，在一邊觀察被檢體像一邊通過載物臺移動來對準測量部位的方法中，由于在調整時被檢體像移動，所以作業(yè)人員一邊注視運動的像一邊進行載物臺的位置的對準。因此，測量點的對準作業(yè)成為給作業(yè)人員強加了負擔的麻煩的作業(yè)。
電子部件和機械加工部件的結構的微細化在一個視野內(nèi)要求很多高度測量點。另外測量對象很多情況下具有類似的形狀。因此，在像伴隨載物臺的移動而移動時，也有時會丟失下一個測量對象的位置。這樣，結構的微細化使對準作業(yè)更加困難。
此外，結構的微細化使得需要高倍觀察下進行測量。被檢體的實際移動量隨之變得微小。因此，使被檢體移動的XY載物臺需要是能夠調節(jié)微小量的高精度載物臺。其結果為裝置變得昂貴。
另外，在監(jiān)視器畫面上指示測量部位的方法中，雖然減輕了作業(yè)人員的負擔，但是用于拾取圖像并進行指示的附加結構很大。另外需要使XY載物臺電動化。其結果為裝置變得非常昂貴。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這樣的狀況而完成的，其目的在于提供一種能夠容易地進行測量點的對準作業(yè)的便宜的顯微鏡裝置。
本發(fā)明的顯微鏡裝置包括觀察光學系統(tǒng)，其包括配置在被檢體附近的物鏡；移動單元，其使上述被檢體和上述物鏡沿著上述觀察光學系統(tǒng)的光軸相對移動；焦點檢測系統(tǒng)，其通過上述物鏡向被檢體照射測量光，并且根據(jù)經(jīng)上述被檢體反射后的測量光來檢測相對于上述被檢體的聚焦；和光偏轉單元，其使上述測量光對上述被檢體的照射位置移動。
根據(jù)本發(fā)明，提供了一種能夠容易地進行測量點的對準作業(yè)的便宜的顯微鏡裝置。


圖1表示本發(fā)明的第一實施方式的測量顯微鏡裝置。
圖2表示圖1中所示的各個楔形棱鏡賦予入射光線的偏角。
圖3表示圖1中所示的兩個楔形棱鏡賦予入射光線的偏角。
圖4表示沿光軸觀察到的來自楔形棱鏡的射出光的偏角矢量。
圖5表示本發(fā)明的第二實施方式的測量顯微鏡裝置。
圖6與圖4相同，表示來自楔形棱鏡的射出光的偏角矢量。
圖7表示圖5中所示的運算部進行的處理的流程圖。
圖8表示本發(fā)明的第三實施方式的操作機構。
圖9是在圖8的操作機構中表示另一配置角度的狀態(tài)的圖。
圖10是在圖8的操作機構中表示又一配置角度的狀態(tài)的圖。
圖11表示本發(fā)明的第三實施方式的操作機構的變形例。
圖12表示具有焦點自動檢測功能的測量顯微鏡裝置的現(xiàn)有例。
標號說明10觀察光學系統(tǒng)；11物鏡；12成像透鏡；13目鏡；15Z載物臺；17半透鏡；21被檢體；22XY載物臺；30焦點檢測系統(tǒng)；30’焦點檢測系統(tǒng)；31LED光源；32分光鏡；33聚光透鏡；33’聚光透鏡；34分光鏡；35a開口；35b開口；36a光檢測器；36b光檢測器；41信號處理部；42測量部；51楔形棱鏡；51a楔形棱鏡；51b楔形棱鏡；52a旋轉機構；52b旋轉機構；55中繼透鏡；61驅動器；62運算部；63輸入部；71a帶輪；71b帶輪；72a帶；72b帶；73a帶輪；73b帶輪；74a桿；74b桿；75a桿；75b桿；76旋鈕；76a凹部；77圓；81操作桿；82球狀部；83接頭；84下端部；85上端部。
具體實施例方式
以下參照附圖詳細說明本發(fā)明的實施方式。
<第一實施方式>
圖1表示本發(fā)明的第一實施方式的測量顯微鏡裝置。如圖1所示，本實施方式的測量顯微鏡裝置具有使被檢體21水平移動的XY載物臺22、和用于觀察被檢體21的觀察光學系統(tǒng)10。觀察光學系統(tǒng)10具有位于被檢體21附近的物鏡11；與物鏡11一起構成成像光學系統(tǒng)的成像透鏡12；和用于目視觀察通過物鏡11和成像透鏡12所成的像的目鏡13。
測量顯微鏡裝置還具有Z載物臺15，其使物鏡11沿著觀察光學系統(tǒng)10的光軸上下移動以進行對焦；焦點檢測系統(tǒng)30，其通過物鏡11把測量光照射到被檢體21上，并且根據(jù)經(jīng)被檢體21反射后的測量光來檢測相對于被檢體21的聚焦；半透鏡17，其使焦點檢測系統(tǒng)30和物鏡11光學地結合；信號處理部41，其根據(jù)焦點檢測系統(tǒng)30的檢測結果來控制Z載物臺15；和測量部42，其測量物鏡11通過Z載物臺15移動的移動量。
半透鏡17位于成像透鏡12和物鏡11之間，使從焦點檢測系統(tǒng)30入射的測量光的方向朝向物鏡11，并且使從物鏡11入射并經(jīng)被檢體21反射后的測量光的方向朝向焦點檢測系統(tǒng)30。
焦點檢測系統(tǒng)30具有發(fā)出測量光的LED光源31；聚光透鏡33，其將從LED光源31發(fā)出的測量光的發(fā)散光束改變?yōu)闀酃馐环止忡R32，其將從LED光源31發(fā)出的測量光和經(jīng)被檢體21反射后的測量光分離；分光鏡34，其使經(jīng)過了分光鏡32并經(jīng)被檢體21反射后的測量光分光；光檢測器36a、36b，它們分別配置在通過分光鏡34分光后的光路上；和開口35a、35b，它們分別配置在分光鏡34與光檢測器36a、36b之間的光路上。
分光鏡32位于LED光源31和聚光透鏡33之間的光路上，其使從LED光源31發(fā)出的測量光透過，另一方面反射經(jīng)被檢體21反射后的測量光。分光鏡34位于分光鏡32的反射光路上，其使經(jīng)被檢體21反射后的測量光的一部分透過、并使一部分反射。開口35a位于聚焦時與被檢體21面共軛的P點的前方，開口35b位于聚焦時與被檢體21面共軛的P點的后方。光檢測器36a檢測通過了開口35a的光，光檢測器36b檢測通過了開口35b的光。
測量顯微鏡裝置還具有兩個楔形棱鏡51a、51b，它們配置在聚光透鏡33與半透鏡17之間的光路上；旋轉機構52a、52b，它們將楔形棱鏡51a、51b分別保持為能夠旋轉；和中繼透鏡55，其配置在楔形棱鏡51a、51b與半透鏡17之間的光路上。
在圖1的測量顯微鏡裝置中，被檢體21被未圖示的照明系統(tǒng)照亮，并通過由物鏡11和成像透鏡12構成的成像光學系統(tǒng)成像。被檢體21所成的像可通過目鏡13目視觀察。
從LED光源31射出的測量光通過分光鏡32、聚光透鏡33、楔形棱鏡51a、51b和中繼透鏡55，然后被半透鏡17反射，然后通過物鏡11聚光并照射到被檢體21上。經(jīng)被檢體21反射后的光入射到物鏡11，然后被半透鏡17反射，并通過中繼透鏡55、楔形棱鏡51a、51b和聚光透鏡33，接著被分光鏡32反射，然后通過分光鏡34被分光。透過了分光鏡34的光到達開口35a，通過了開口35a的光入射到光檢測器36a。被分光鏡34反射后的光到達開口35b，通過了開口35b的光入射到光檢測器36b。
光檢測器36a、36b分別輸出反映了入射光的強度的信號。信號處理部41對光檢測器36a、36b的輸出信號進行比較，并根據(jù)信號的大小關系來判斷聚焦狀態(tài)，然后根據(jù)判斷結果驅動Z載物臺15。具體來講，在光檢測器36a的輸出信號小于光檢測器36b的輸出信號的情況下，信號處理部41以使物鏡11遠離被檢體21的方式驅動Z載物臺15，而相反地在光檢測器36a的輸出信號大于光檢測器36b的輸出信號的情況下，信號處理部41以使物鏡11接近被檢體21的方式驅動Z載物臺15，在光檢測器36a、36b的輸出信號不存在差的情況下，則不驅動Z載物臺15。
如圖2所示，各楔形棱鏡51a、51b都是具有微小的頂角φw的棱鏡，其對入射光線向厚度的最大增加方向賦予微小的偏角φ0。當該棱鏡繞光軸獨立旋轉時，射出光的軌跡是半頂角為φ0的圓錐形。如圖3所示，兩個楔形棱鏡51a、51b沿著光軸并列排列，當它們繞光軸獨立旋轉時，在φ0較小的情況下，射出光能夠向半頂角為2φ0的圓錐形內(nèi)的任意方向偏轉。
圖4用矢量表示沿光軸觀察到的來自楔形棱鏡51a、51b的射出光的偏角的情況。在圖4中，a、b分別表示楔形棱鏡51a、51b產(chǎn)生的偏角矢量，c表示兩個楔形棱鏡51a、51b產(chǎn)生的合成偏角矢量。可知楔形棱鏡51a、51b產(chǎn)生的偏角矢量a、b始終具有φ0的大小，作為偏角矢量a、b的和的合成偏角矢量c依賴于楔形棱鏡51a、51b的配置角度θa、θb，在最大為2φ0的范圍內(nèi)取任意值。
另外，楔形棱鏡51a、51b配置在與物鏡11的光瞳位置共軛的位置或該共軛位置附近。因此，射出光的偏角矢量c相當于在光瞳位置的光線角度即被檢體21上的平面位置。例如，在楔形棱鏡51a的配置角度θa和楔形棱鏡51b的配置角度θb錯開180度的情況下，射出光的偏角矢量c的大小是0，來自焦點檢測系統(tǒng)30的測量光照射到觀察視野的中心。因此，觀察視野的中心成為高度測量位置。通過改變楔形棱鏡51a、51b的配置角度θa、θb，以使偏角矢量c具有大小，由此，來自焦點檢測系統(tǒng)30的測量光在被檢體21上的照射位置變化，從而使得高度測量位置移動。
此外，在本實施方式中，將楔形棱鏡51a、51b的頂角φw設定成使2φ0成為觀察視野的最外位置。因此，通過獨立地改變楔形棱鏡51a、51b的配置角度θa、θb，能夠使來自焦點檢測系統(tǒng)30的測量光的照射位置在整個觀察視野范圍內(nèi)移動。
因此，一邊觀察被檢體21的像，一邊操作旋轉機構52a、52b以改變楔形棱鏡51a、51b的配置角度，由此能夠容易地使測量光的照射位置即高度測量位置在觀察視野內(nèi)移動。因此，能夠在觀察視野內(nèi)的所希望的部位進行被檢體21的高度測量。
在本實施方式的測量顯微鏡裝置中，在進行測量點的對準作業(yè)時，被檢體21的像不移動，對準作業(yè)通過由作業(yè)人員操作旋轉機構52a、52b以改變焦點檢測系統(tǒng)30的測量光在觀察視野內(nèi)的照射位置來進行。因此，作業(yè)人員能夠在較小的負擔下容易地進行對準作業(yè)。
根據(jù)本實施方式，可通過添加非常簡單的結構來獲得一種能夠容易地進行測量點的對準作業(yè)的測量顯微鏡裝置。另外，在高倍觀察時也無需進行移動操作，因此不需要高精度的載物臺。
<第二實施方式>
圖5表示本發(fā)明的第二實施方式的測量顯微鏡裝置。在圖5中，用與圖1中所示的部件相同的參考標號指示的部件表示相同的部件，并省略其詳細說明。
在本實施方式中，旋轉機構52a、52b能夠通過電動使楔形棱鏡51a、51b繞光軸旋轉。在初始位置楔形棱鏡51a、51b的配置角度一致。
從圖5中可知，本實施方式的測量顯微鏡裝置在第一實施方式的測量顯微鏡裝置的結構的基礎上，還包括驅動器61、運算部62和輸入部63。輸入部63是用于在觀察視野內(nèi)指示測量位置的指示單元，例如由跟蹤球、操縱桿、鼠標等構成。運算部62是根據(jù)輸入部63的輸出來計算出楔形棱鏡51a、51b各自的配置角度的單元，其計算出楔形棱鏡51a、51b的、使測量光對被檢體21的照射位置與由輸入部63指示的測量位置一致的配置角度。驅動器61按照由運算部62計算出的配置角度驅動旋轉機構52a、52b，使楔形棱鏡51a、51b與上述配置角度一致。
在本實施方式中，通過輸入部63將觀察視野內(nèi)的測量位置作為指示值(x，y)給出，該指示值被送至運算部62。運算部62計算出楔形棱鏡51a、51b的、使焦點檢測系統(tǒng)30的測量光的照射位置移動到所輸入的測量位置(x，y)的配置角度θa、θb。
參照圖6說明從指示值(x，y)向配置角度θa、θb的轉換方法。圖6與圖4相同，表示來自楔形棱鏡51a、51b的射出光的偏角矢量。a、b分別表示楔形棱鏡51a、51b產(chǎn)生的偏角矢量，c表示兩個楔形棱鏡51a、51b產(chǎn)生的合成偏角矢量。最外處由|a|+|b|標準化。
在本實施方式中，與第一實施方式相同，將楔形棱鏡51a、51b的楔角φw設定成使焦點檢測測量點到達由兩個楔形棱鏡51a、51b生成的最大偏角為2φ0的、觀察光學系統(tǒng)10的觀察視野的最外位置。
射出光的偏角矢量c的終點是指示值(x，y)，用極坐標表示如下。
L＝(x2+y2)1/2θ＝arctan(y/x)由于偏角矢量a、b的長度相等，所以射出光的旋轉角θ與配置角度θa、θb所成的角度Δθ相同。另外，Δθ從圖6中可通過幾何學求出，配置角度θa、θb表示如下。
Δθ＝arcos(L)...(1)θa＝θ-Δθθb＝θ+Δθ圖7表示運算部62進行的處理的流程圖。首先對來自輸入部63的指示值(x，y)進行取樣。將取樣得到的指示值(x，y)轉換為極坐標，并計算出距離原點的距離L。
在L≠0的情況下，按照式(1)計算出配置角度θa、θb。另外，在L＝0的情況下，配置角度θa和θb相差π的組合無限多而不能確定，所以θa設定為上次的值，θb設定為θa+π。由此由運算部62計算出滿足指示值(x，y)的配置角度θa和θb的組合。
計算出的配置角度θa、θb經(jīng)由驅動器61輸出到旋轉機構52a、52b。旋轉機構52a、52b使楔形棱鏡51a、51b的配置角度分別與配置角度θa、θb一致。
反復進行該流程。作業(yè)人員僅通過單純地在觀察視野內(nèi)觀察被檢體21的像并同時對輸入部63進行操作以使測量光移動到測量位置，就使測量光完全跟隨指示值(x，y)。
在本實施方式的測量顯微鏡裝置中，在進行測量點的對準作業(yè)時，被檢體21的像不移動，對準作業(yè)通過由作業(yè)人員操作輸入部63以在觀察視野內(nèi)指示焦點檢測系統(tǒng)30的測量光的照射位置來進行。因此，作業(yè)人員能夠在較小的負擔下非常容易地進行對準作業(yè)。
根據(jù)本實施方式，可通過添加小規(guī)模的結構，獲得能夠非常容易地進行測量點的對準作業(yè)的測量顯微鏡裝置。另外，與第一實施方式相同，在高倍觀察時也無需進行移動操作，因此不需要高精度的載物臺。
<第三實施方式>
本實施方式面向用于操作旋轉機構52a、52b的機械式操作機構。該操作機構機械地設定楔形棱鏡51a、51b的配置角度。通過楔形棱鏡51a、51b進行的測量光的照射位置的移動與第一實施方式相同。
圖8～圖10表示本發(fā)明的第三實施方式的操作機構。在圖8～圖10中，操作機構具有圓環(huán)形狀的帶輪71a、71b，它們固定于楔形棱鏡51a、51b；被可旋轉地支承的帶輪73a、73b；帶72a、72b，它們分別掛在帶輪71a、71b與帶輪73a、73b之間；桿74a、74b，它們分別固定在帶輪73a、73b上；和桿75a、75b，它們分別與桿74a、74b連接。
帶輪71a、71b以中心相同的方式配置，帶輪73a、73b也以中心相同的方式配置。帶輪73a、73b分別具有與帶輪71a、71b相同的直徑。因此，帶輪73a、73b的旋轉分別通過帶72a、72b在既不放大也不減小的保持原狀的情況下傳遞給帶輪71a、71b。
桿74a、74b的端部分別固定在帶輪73a、73b上，桿74a、74b能夠以帶輪73a、73b的旋轉中心為中心旋轉。即，桿74a、74b能夠繞同一中心旋轉。桿74a、74b的另一端部分別通過連桿可旋轉地連接于桿75a、75b的端部，桿75a、75b的另一端部通過連桿可旋轉地相互連接。位于四根桿74a、74b、75a、75b的兩端部的旋轉軸彼此之間的距離相等。在桿75a、75b彼此之間的連接部設有旋鈕76。
四根桿74a、74b、75a、75b構成組裝為井狀的連桿機構，由此，旋鈕76能夠在圖8～圖10所示的圓77的內(nèi)部的范圍內(nèi)自由移動。帶輪73a、73b對應于旋鈕76的移動而旋轉，帶輪73a、73b的旋轉分別通過帶72a、72b傳遞給帶輪71a、71b。即，帶輪73a、73b、帶72a、72b和帶輪71a、71b構成將桿74a、74b的角度分別傳遞給旋轉機構52a、52b的傳遞機構。
固定于帶輪71a、71b的楔形棱鏡51a、51b的楔方向(厚度的最大增加方向)設定為與桿74a、74b平行。并且，楔形棱鏡51a、51b的楔方向設定為分別與從桿74a、74b的基端(與帶輪73a、73b的固定端)朝向前端(與桿75a、75b的連接端)的方向相同。
在該操作機構中，帶輪73a、73b的旋轉中心為O點，桿74a和桿75a的連接點為A點，桿74b和桿75b的連接點為B點，桿75a和桿75b的連接點為C點，A點、B點和C點相對于O點的位置分別相當于圖4中的偏角矢量a、b、c。即，使旋鈕76移動相當于輸入合成的偏角矢量c，桿74b和桿75b的方向相當于分解后的偏角矢量a和b。由于桿74a、74b的方向分別設定為與楔形棱鏡51a、51b的楔方向相同，所以跟隨著旋鈕76的移動，楔形棱鏡51a、51b被分別設定為產(chǎn)生方向和大小與旋鈕76的位置對應的偏角的配置角度θa、θb。
即，在本實施方式的操作機構中，作為旋鈕76的可動范圍的圓77相當于觀察視野，旋鈕76在圓77的范圍內(nèi)的位置相當于焦點檢測系統(tǒng)30的測量光在觀察視野內(nèi)的照射位置。即，旋鈕76作為指示焦點檢測系統(tǒng)30的測量光在觀察視野內(nèi)的照射位置的指示部發(fā)揮作用。
因此，在應用了本實施方式的操作機構的測量顯微鏡裝置中，在進行測量點的對準作業(yè)時，被檢體21的像不移動，對準作業(yè)通過由作業(yè)人員操作旋鈕76以指示旋鈕76在圓77的范圍內(nèi)的位置來進行。因此，作業(yè)人員能夠在較小的負擔下非常容易地進行對準作業(yè)。
圖11表示本實施方式的操作機構的變形例。本實施例的操作機構在圖8～圖10所示的操作機構的基礎上具有杠桿部。杠桿部具有能夠向任意方向傾斜的操作桿81。操作桿81在中間部分具有球狀部82，球狀部82可自由旋轉地支承于接頭83。其結果為，操作桿81能夠向任意方向傾斜。另外操作桿81具有球狀的下端部84，該下端部84與形成于旋鈕76的球狀的凹部76a卡合。其結果為，對應于操作桿81的傾斜方向和傾斜角度，旋鈕76的位置被調整，從而對焦點檢測系統(tǒng)30的測量光在觀察視野內(nèi)的照射位置進行調整。
在該變形例中優(yōu)選的是，楔形棱鏡51a、51b的楔方向可以設定為分別與從桿74a、74b的基端(與帶輪73a、73b的固定端)朝向前端(與桿75a、75b的連接端)的方向相反。由此，從上方觀察，操作桿81的上端部85的位置和焦點檢測系統(tǒng)30的測量光在觀察視野內(nèi)的照射位置相同，從而提高了操作性。
對準作業(yè)中的作業(yè)人員的手的動作按杠桿比(以球狀部82的中心為基準，操作桿81的下側部分與上側部分的比)減小傳遞給旋鈕76。因此能夠高精度地進行對準作業(yè)。
例如在本第三實施方式和變形例中，帶輪73a、73b和帶輪71a、71b以相同的直徑構成，但是帶輪71a、71b也可以具有與帶輪73a、73b不同的直徑。在該情況下，可以對支承點76的可動范圍設置限制以使帶輪71a、71b的旋轉范圍為相當于視野的范圍。
另外，在第一實施方式至第三實施方式中，楔形棱鏡51a、51b的楔角φw設定成使焦點檢測測量點到達觀察視野的最外位置，但是不限于此，也能夠設定成使焦點檢測測量點在觀察視野的最外位置的內(nèi)側，用于在光學系統(tǒng)像差更少的范圍內(nèi)進行高精度測量。
以上參照

了本發(fā)明的實施方式，但是本發(fā)明不限于這些實施方式，可以在不脫離其主旨的范圍內(nèi)實施各種變形和變更。
權利要求
1.一種顯微鏡裝置，其包括觀察光學系統(tǒng)，其包括配置在被檢體附近的物鏡；移動單元，其使上述被檢體和上述物鏡沿著上述觀察光學系統(tǒng)的光軸相對移動；焦點檢測系統(tǒng)，其通過上述物鏡向被檢體照射測量光，并且根據(jù)經(jīng)上述被檢體反射后的測量光來檢測相對于上述被檢體的聚焦；和光偏轉單元，其使上述測量光對上述被檢體的照射位置移動。
2.根據(jù)權利要求1所述的顯微鏡裝置，其特征在于，上述顯微鏡裝置還包括控制單元，該控制單元根據(jù)上述焦點檢測系統(tǒng)的檢測結果來控制上述移動單元。
3.根據(jù)權利要求1所述的顯微鏡裝置，其特征在于，上述光偏轉單元包括至少兩個楔形棱鏡，它們配置在與上述物鏡的光瞳位置共軛的位置或該共軛位置附近；和至少兩個旋轉機構，它們使上述楔形棱鏡分別繞光軸旋轉。
4.根據(jù)權利要求3所述的顯微鏡裝置，其特征在于，上述光偏轉單元還包括指示單元，其用于指示觀察視野內(nèi)的測量位置；和運算單元，其根據(jù)指示單元的輸出來計算出各個楔形棱鏡的配置角度。
5.根據(jù)權利要求3所述的顯微鏡裝置，其特征在于，上述光偏轉單元還包括用于對上述旋轉機構進行操作的機械式操作機構，上述操作機構包括由兩根第一桿和兩根第二桿構成的連桿機構，上述第一桿可以繞同一中心旋轉，上述第一桿的另一端部分別可旋轉地與上述第二桿的一端部連接，上述第二桿的另一端部可旋轉地相互連接，上述操作機構還具有用于指示觀察視野內(nèi)的測量位置的指示部；和將上述第一桿的角度分別傳遞給旋轉機構的傳遞機構，上述指示部設置在第二桿之間的連接部上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種顯微鏡裝置，其能容易地進行測量點的對準作業(yè)且價格低廉。顯微鏡裝置具有XY載物臺(22)，其使被檢體水平移動；觀察光學系統(tǒng)(10)，其用于觀察被檢體；Z載物臺(15)，其使觀察光學系統(tǒng)的物鏡(11)上下移動；焦點檢測系統(tǒng)(30)，其通過物鏡向被檢體照射測量光并檢測聚焦；半透鏡(17)，其使焦點檢測系統(tǒng)和物鏡光學地結合；信號處理部(41)，其根據(jù)焦點檢測系統(tǒng)的檢測結果控制Z載物臺；和測量部(42)，其測量物鏡通過Z載物臺移動的移動量。顯微鏡裝置還具有配置在焦點檢測系統(tǒng)和半透鏡之間的光路上的兩個楔形棱鏡(51a、51b)；和將楔形棱鏡分別保持為能夠旋轉的旋轉機構(52a、52b)。
文檔編號G01B9/04GK101021408SQ200710004998
公開日2007年8月22日 申請日期2007年2月14日 優(yōu)先權日2006年2月15日
發(fā)明者山岸毅 申請人:奧林巴斯株式會社