技術總結
本發明提供了一種光譜共焦檢測裝置，包括直線電機位移平臺，直線電機位移平臺的動子上設置有檢測平臺或光譜共焦位移傳感器，通過將直線電機位移平臺和光譜共焦位移傳感器相結合，可移動平臺相對于靜態檢測或者僅光譜共焦位移傳感器移動而言，極大地提高了檢測效率，適用于更復雜形狀的檢測，直線電機位移平臺移動控制精度高、結構簡單、運行穩定，提高了檢測精度。

技術研發人員：王俊民;廖福秀;賀佳貴;鄒志英
受保護的技術使用者：王俊民
文檔號碼：201710147397
技術研發日：2017.03.13
技術公布日：2017.05.24