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一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置及方法與流程

文檔序號:11197356閱讀:來源:國知局

技術特征:

技術總結
一種檢測玻璃基板破損和裂紋的裝置,包括,光感應系統、玻璃基板加工單元以及控制所述光感應系統和玻璃基板加工單元的中央控制系統;其中,所述光感應系統設置在玻璃基板加工單元入口處,玻璃基板進入玻璃基板加工單元時接觸光感應系統,光感應系統將信號反饋至中央控制系統。通過檢測發射器發出的光是否能量變化來判斷玻璃基板被檢測區域是否有裂紋或破損,并停止玻璃基板加工單元運行,有效排除了裂紋破碎的玻璃基板,提高產品的制程良率。

技術研發人員:龔冰
受保護的技術使用者:武漢華星光電技術有限公司
技術研發日:2017.05.22
技術公布日:2017.09.29
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