本發明涉及半導體測試領域，尤其涉及一種大批量igbt測試裝置。

背景技術：

1、igbt驅動功率很小，開關速度快，但導通壓降大，載流密度小，是工業領域常用的器件，使用量很大，為保證其品質在生產igbt時必須對igbt進行測試。

2、由于測試igbt時一般需要大電流進行老化測試，而導致發熱量大，為了減少散熱，一般一次性對少量igbt進行測試。

3、也有少數測試裝置可以一次性大批量的測試igbt，但都需大量的散熱器件和大電流輸入線路，一般的大電流線路都由很厚的絕緣皮和銅鐵絲組成，價格不菲，成本較高。

技術實現思路

1、為了克服現有技術的不足，本發明的目的在于提供一種大批量igbt測試裝置，其散熱能力好，成本低，能實現一次性大批量測試igbt。

2、本發明的目的采用以下技術方案實現：

3、一種大批量igbt測試裝置，包括柜體和設置在所述柜體內的測控組件和多個控水箱，所述測控組件包括基板、多個水冷器、多個用于傳輸電流的金屬條和多個用于安裝待測igbt的第一安裝器，所述水冷器固定在所述基板上，所述水冷器包括水冷座，所述水冷座上設置有水槽，所述水槽與所述控水箱連通，所述第一安裝器包括多個第一安裝板、第一散熱塊和用于與待測igbt電性連接的第一信號針，多個第一安裝板均固定在所述水冷座上，所述第一散熱塊的上端與所述第一安裝板固定連接，所述第一散熱塊的下端延伸至所述水槽內，所述第一信號針設置在所述第一安裝板的四周，多個第一安裝器通過所述金屬條串聯在一起。

4、優選的，所述第一安裝器還包括接線柱和用于對待測igbt進行限位的限位柱，所述接線柱和所述限位柱均設置在所述第一安裝板的四周，所述第一安裝器通過所述接線柱與所述金屬條電性連接，所述第一信號針穿過所述限位柱。

5、優選的，所述金屬條上設置有多個轉接孔，所述金屬條通過所述轉接孔與所述接線柱電性連接，多個金屬條通過所述接線柱串聯在一起。

6、優選的，所述測控組件還包括多個第二安裝器，所述第二安裝器包括第二安裝板、第二散熱塊和用于與待測igbt電性連接的接線端，所述第二安裝板固定在所述水冷座上，所述第二散熱塊的上端與所述第二安裝板固定連接，所述第二散熱塊的下端延伸至所述水槽內，所述接線端設置在所述第二安裝板的四周，多個第二安裝器的接線端通過所述金屬條串聯。

7、優選的，所述第二安裝器還包括封板和設置在所述封板上的第二信號針，所述第二安裝板通過所述封板固定在所述水冷座上，所述封板上設置有穿孔，所述第二散熱塊的下端穿過所述穿孔延伸至所述水槽內。

8、優選的，所述測控組件還包括第三安裝器，所述第三安裝器包括第三安裝板、第三散熱塊和用于與待測igbt電性連接的接線塊，所述第三安裝板固定在所述水冷座上，所述第三散熱塊的上端與所述第三安裝板固定連接，所述第三散熱塊的下端延伸至所述水槽內，所述接線塊設置在所述第三安裝板的四周，多個第三安裝器的接線塊通過所述金屬條串聯。

9、優選的，所述控水箱包括箱體、進水口、出水口、多個水管、流量計和設置在所述箱體內的分水器，所述流量計與所述分水器連通，所述進水口和所述出水口均與所述分水器連通，所述出水口通過所述水管與所述水槽連通，多個箱體通過所述水管串聯或并聯連通。

10、優選的，所述水冷座還包括墊高板、兩個進出口和定位柱，所述墊高板設置在所述水槽內，所述水冷座通過所述定位柱與所述基板固定連接，兩個進出口分別與所述水槽的兩端連通，所述進出口通過所述水管與所述出水口或另一個水槽連通。

11、優選的，所述柜體包括控制器、上柜和固定在所述上柜下端的下柜，所述測控組件和所述控制器均設置在所述上柜內，所述控水箱設置在所述下柜內，所述控制器與所述第一信號針信號連接。

12、優選的，所述第一信號針為探針，所述第一散熱塊為多個散熱片，所述金屬條為銅條。

13、相比現有技術，本發明的有益效果在于：

14、本申請公開的大批量igbt測試裝置公開了控水箱、水冷器、多個第一安裝板、第一散熱塊和多個用于傳輸電流的金屬條，每個第一安裝板的下端均設置有水冷器，能大批量測試igbt且散熱效果好。另外，多個第一安裝器通過所述金屬條串聯在一起，可以使每個第一安裝器得到相同的大電流，不需要設置多余的大電流線路，且所述金屬條也能散熱，減少了一些散熱器件，而節省了成本和提高了散熱效果。

技術特征：

1.一種大批量igbt測試裝置，包括柜體和設置在所述柜體內的測控組件和多個控水箱，其特征在于：所述測控組件包括基板、多個水冷器、多個用于傳輸電流的金屬條和多個用于安裝待測igbt的第一安裝器，所述水冷器固定在所述基板上，所述水冷器包括水冷座，所述水冷座上設置有水槽，所述水槽與所述控水箱連通，所述第一安裝器包括多個第一安裝板、第一散熱塊和用于與待測igbt電性連接的第一信號針，多個第一安裝板均固定在所述水冷座上，所述第一散熱塊的上端與所述第一安裝板固定連接，所述第一散熱塊的下端延伸至所述水槽內，所述第一信號針設置在所述第一安裝板的四周，多個第一安裝器通過所述金屬條串聯在一起。

2.根據權利要求1所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述第一安裝器還包括接線柱和用于對待測igbt進行限位的限位柱，所述接線柱和所述限位柱均設置在所述第一安裝板的四周，所述第一安裝器通過所述接線柱與所述金屬條電性連接，所述第一信號針穿過所述限位柱。

3.根據權利要求2所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述金屬條上設置有多個轉接孔，所述金屬條通過所述轉接孔與所述接線柱電性連接，多個金屬條通過所述接線柱串聯在一起。

4.根據權利要求1所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述測控組件還包括多個第二安裝器，所述第二安裝器包括第二安裝板、第二散熱塊和用于與待測igbt電性連接的接線端，所述第二安裝板固定在所述水冷座上，所述第二散熱塊的上端與所述第二安裝板固定連接，所述第二散熱塊的下端延伸至所述水槽內，所述接線端設置在所述第二安裝板的四周，多個第二安裝器的接線端通過所述金屬條串聯。

5.根據權利要求4所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述第二安裝器還包括封板和設置在所述封板上的第二信號針，所述第二安裝板通過所述封板固定在所述水冷座上，所述封板上設置有穿孔，所述第二散熱塊的下端穿過所述穿孔延伸至所述水槽內。

6.根據權利要求1所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述測控組件還包括第三安裝器，所述第三安裝器包括第三安裝板、第三散熱塊和用于與待測igbt電性連接的接線塊，所述第三安裝板固定在所述水冷座上，所述第三散熱塊的上端與所述第三安裝板固定連接，所述第三散熱塊的下端延伸至所述水槽內，所述接線塊設置在所述第三安裝板的四周，多個第三安裝器的接線塊通過所述金屬條串聯。

7.根據權利要求1所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述控水箱包括箱體、進水口、出水口、多個水管、流量計和設置在所述箱體內的分水器，所述流量計與所述分水器連通，所述進水口和所述出水口均與所述分水器連通，所述出水口通過所述水管與所述水槽連通，多個箱體通過所述水管串聯或并聯連通。

8.根據權利要求7所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述水冷座還包括墊高板、兩個進出口和定位柱，所述墊高板設置在所述水槽內，所述水冷座通過所述定位柱與所述基板固定連接，兩個進出口分別與所述水槽的兩端連通，所述進出口通過所述水管與所述出水口或另一個水槽連通。

9.根據權利要求1所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述柜體包括控制器、上柜和固定在所述上柜下端的下柜，所述測控組件和所述控制器均設置在所述上柜內，所述控水箱設置在所述下柜內，所述控制器與所述第一信號針信號連接。

10.根據權利要求1所述的大批量igbt測試裝置，其特征在于：所述第一信號針為探針，所述第一散熱塊為多個散熱片，所述金屬條為銅條。

技術總結
本發明公開了一種大批量IGBT測試裝置，包括柜體和設置在所述柜體內的測控組件和多個控水箱，測控組件包括基板、多個水冷器、多個用于傳輸電流的金屬條和多個用于安裝待測IGBT的第一安裝器，水冷器固定在所述基板上，水冷器包括水冷座，水冷座上設置有水槽，水槽與控水箱連通，第一安裝器包括多個第一安裝板、第一散熱塊和用于與待測IGBT電性連接的第一信號針，多個第一安裝板均固定在所述水冷座上，第一散熱塊的上端與第一安裝板固定連接，第一散熱塊的下端延伸至所述水槽內，第一信號針設置在第一安裝板的四周，多個第一安裝器通過金屬條串聯在一起。其散熱能力好，成本低，能實現一次性大批量測試IGBT。

技術研發人員：趙寶忠,曹佶,林向前
受保護的技術使用者：浙江杭可儀器有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/24