本公開一般涉及傳感器以及調節(tune)或校準一個或多個傳感器的自動化方法的領域。本公開具體涉及調節殘余氣體分析儀的一個或多個傳感器的自動化方法。

背景技術：

1、高效制造是包括資源的高效利用的許多變量的結果。制造中使用的資源包括物質資源以及人力資源。在許多制造過程中，尤其是科學設備的制造，人力資源可能是最稀缺的資源。因此，許多制造商試圖通過使用自動化來找到用于最大化其人力資源的使用的方式。

2、在質譜或殘余氣體分析儀的情況下，制造過程的一部分包括(一個或多個)傳感器的校準，并且更具體地說是傳感器的質量過濾器部分的校準。這可以包括用一個或多個已知樣品運行質譜儀，以測量存在的離子的質荷比。然后調整(一個或多個)傳感器，使得產生的譜峰對應于已知樣品的預期質荷比。這樣的校準是由技術人員手動執行的，并且可能是耗時且單調的。由于手動校準要求技術人員通過逐步過程，人為錯誤可導致一個或多個校準步驟被遺漏或被不正確地執行。由于要求技術人員來執行手動校準，因此更少的技術人員然后可用于排除要求更深入的分析和專業知識來解決的其他問題。由于對于手動校準(一個或多個)傳感器所要求的時間以及不能以及時的方式解決的繼續存留(linger)制造問題，這可以產生制造延遲。此外，這些繼續存留制造問題可能導致浪費的材料和總體增加的成本。

3、這些只是與制造過程并且更具體地說與制造質譜儀的過程相關聯的問題中的一些問題。

技術實現思路

1、一種用于自動校準用于殘余氣體分析儀的傳感器的方法的實施例包括：(a)通過傳感器來測量標準樣品；(b)從傳感器獲得與在第一質量單元處的測量標準有關的數據測量；(c)將峰模型函數擬合到測量數據；(d)經由峰模型函數確定數據測量中峰的存在；(e)使用動態時間扭曲將峰模型函數與數據對準；(f)經由動態時間扭曲確定數據測量內的一個或多個峰特征；(g)確定峰中心的位置和峰寬是否在預定峰容差和峰寬容差范圍內；(h)如果用于第一質量單元的峰中心的位置和峰寬在預定容差范圍內，則對下一個質量單元重復步驟(b)-(g)；(i)當峰中心的位置或峰寬在預定容差之外時，調整至少一個傳感器參數；(j)重復步驟(b)-(i)，直到滿足預定容差或者執行了最大次數的迭代；以及(k)在已經執行最大次數的迭代并且用于第一質量單元的峰中心的位置和峰寬不在預定容差范圍內之后，發出信號。信號指示要求技術人員干預。

2、在該方法的實施例中，在發出信號后停止校準方法。在實施例中，該方法還包括校準第一質量單元和來自預定的質量單元計劃(slate)的每個下一個質量單元，其中預定的質量單元計劃的校準導致用于整個質譜的校準。在實施例中，最大次數的迭代在三(3)次迭代和六(6)次迭代之間。在實施例中，至少一個傳感器是質量過濾器傳感器。在實施例中，預定峰容差是實際值的0.05amu。在另外的實施例中，調整至少一個傳感器參數還包括調整dc和rf電壓設置中的至少一個。在另一實施例中，峰模型是高斯的。

3、用于自動校準用于殘余氣體分析儀的傳感器的方法的另一實施例包括配置一個或多個數據存儲裝置以存儲多個計算機可讀指令，所述多個計算機可讀指令被配置成被執行以：(a)從預定義的質量單元計劃中選擇質量單元；(b)使用來自一個或多個先前調節的歷史參數數據來確定質量單元的基礎調節；(c)執行峰寬調節的迭代，直到峰寬在預定容差內，其中分配峰寬調節的最大迭代次數；(d)執行質量精度調節的迭代，直到質量精度在預定容差內，其中分配質量精度調節的最大迭代次數；(e)移動到來自預定義的質量單元計劃的下一個質量單元，并且重復(b)-(d)；(f)發出警告信號。當出現以下中的至少一種時，使用警告信號：(i)在峰寬被調節在預定容差內之前，達到峰寬調節的最大迭代次數，或者(ii)在峰寬被調節在預定容差內之前，達到質量精度調節的最大迭代次數。警告信號導致傳感器校準的停止。

4、在實施例中，在第一質量單元和來自預定質量單元表的每個下一個質量單元處的校準導致對整個質譜的校準。在實施例中，峰寬調節的最大次數的迭代在三(3)次迭代和六(6)次迭代之間。在實施例中，峰精度調節的最大次數的迭代在三(3)次迭代和六(6)次迭代之間。在實施例中，至少一個傳感器是質量過濾器傳感器。在另一個實施例中，質量精度的預定容差是實際值的0.05amu。

技術特征：

1.一種用于自動校準用于殘余氣體分析儀的傳感器的方法，所述方法包括：

2.根據權利要求1所述的方法，還包括在發出所述信號后停止所述校準過程。

3.根據權利要求1所述的方法，還包括校準所述第一質量單元和來自預定的質量單元計劃的每個下一個質量單元，其中在所述預定的質量單元計劃處的校準導致整個質譜的校準。

4.根據權利要求1所述的方法，其中，所述最大次數的迭代在三(3)次迭代和六(6)次迭代之間。

5.根據權利要求1所述的方法，其中，所述至少一個傳感器是質量過濾器傳感器。

6.根據權利要求1所述的方法，其中，所述預定峰容差是實際值的0.05amu。

7.根據權利要求5所述的方法，其中，調整所述至少一個傳感器參數還包括調整dc和rf電壓設置中的至少一個。

8.根據權利要求1所述的方法，其中，所述峰模型是高斯的。

9.一種用于自動校準用于殘余氣體分析儀的傳感器的方法，包括：

10.根據權利要求9所述的方法，其中，在所述第一質量單元和來自預定的質量單元計劃的每個下一個質量單元處的校準導致對整個質譜的校準。

11.根據權利要求9所述的方法，其中，峰寬調節的所述最大次數的迭代在三(3)次迭代和六(6)次迭代之間。

12.根據權利要求9所述的方法，其中，峰精度調節的所述最大次數的迭代在三(3)次迭代和六(6)次迭代之間。

13.根據權利要求9所述的方法，其中，所述至少一個傳感器是質量過濾器傳感器。

14.根據權利要求1所述的方法，其中，所述質量精度的所述預定容差是實際值的0.05amu。

技術總結
一種用于自動校準用于殘余氣體分析儀的傳感器的方法包括通過傳感器測量已知樣品，并獲得第一質量單元處的數據測量。將峰模型函數擬合到數據以確定峰的存在。使用動態時間扭曲將峰模型函數與數據對準，以確定峰特征。確定峰中心的位置和峰寬是否在預定容差內，并且如果是的話，則對下一個質量單元執行先前步驟。如果第一質量單元處的位置峰中心或峰寬在預定容差之外，則調整傳感器參數并執行校準的另一次迭代。在已經執行最大次數的迭代并且峰中心和寬度在預定容差之外之后，發出信號。

技術研發人員：E·薩哈茲
受保護的技術使用者：英福康公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28