本發(fā)明涉及氧化鋁膜層的性能檢測，具體地，涉及一種氧化鋁膜層耐腐蝕性的識(shí)別方法。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的組件主要由鋁或鋁合金組成，其表面必須進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚?，氧化膜是普遍使用的工藝。氧化膜的關(guān)鍵特性是膜層的耐腐蝕性，耐腐蝕性越好，設(shè)備耐離子轟擊能力越強(qiáng)。通常評(píng)估膜層耐腐蝕性使用的方法是鹽酸氣泡法測試，用透明管密封待測樣品，將5?wt?%鹽酸倒入透明管中，觀察膜層表面出現(xiàn)連續(xù)氣泡的時(shí)間，以此判定膜層的耐腐蝕性。

2、在正常情況下，鹽酸氣泡法可以準(zhǔn)確反映膜層的耐腐蝕性，但測試證明，若氧化的溶液被金屬離子污染的情況下，膜層一定程度上受影響，而鹽酸氣泡法測試的結(jié)果并不能體現(xiàn)膜層的變化，說明該測試方法存在漏洞，可能導(dǎo)致膜層潛在的缺陷無法被識(shí)別。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)鹽酸氣泡法測試膜層耐腐蝕性無法全面識(shí)別更多潛在污染缺陷的問題，本發(fā)明提供了一種氧化鋁膜層耐腐蝕性的識(shí)別方法，該方法能夠準(zhǔn)確識(shí)別各種情況下氧化鋁膜層的耐腐蝕性。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種氧化鋁膜層耐腐蝕性的識(shí)別方法，其包括如下步驟：

3、s1、將樣品在nacl水溶液中進(jìn)行eis阻抗測試，得到樣品的奈奎斯特曲線；

4、s2、將樣品的奈奎斯特曲線與標(biāo)準(zhǔn)品的奈奎斯特曲線進(jìn)行對(duì)比，若樣品的奈奎斯特曲線斜率大于或等于標(biāo)準(zhǔn)品的奈奎斯特曲線斜率，則該樣品的耐腐蝕性合格，否則不合格。

5、具體地，步驟s1中，所述nacl水溶液的濃度為3.5wt％。

6、具體地，步驟s2中，所述標(biāo)準(zhǔn)品為tial工藝（ald原子層沉積設(shè)備）中所用導(dǎo)氣盤的氧化膜，在物理氣相沉積的工藝制程中，可以生產(chǎn)wafer?1200pcs（此數(shù)量為目前行業(yè)基本數(shù)量）。

7、通過上述技術(shù)方案，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了以下有益效果：

8、1、本發(fā)明的方法可以更全面的驗(yàn)證膜層的耐腐蝕性能。

9、2、使用eis阻抗測試法，溶液為氯化鈉溶液，相比鹽酸氣泡法更加環(huán)保安全。

10、3、相比鹽酸氣泡法，eis阻抗測試使用電阻抗發(fā)生器和軟件擬合得到性能曲線，測試所需的時(shí)間較短，大大提高了測試的效率。

技術(shù)特征：

1.一種氧化鋁膜層耐腐蝕性的識(shí)別方法，其特征在于，包括如下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識(shí)別方法，其特征在于，步驟s1中，所述nacl水溶液的濃度為3.5wt％。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的識(shí)別方法，其特征在于，步驟s2中，所述標(biāo)準(zhǔn)品為tial工藝中所用導(dǎo)氣盤的氧化膜。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種氧化鋁膜層耐腐蝕性的識(shí)別方法，其包括如下步驟：S1、將樣品在NaCl水溶液中進(jìn)行EIS阻抗測試，得到樣品的奈奎斯特曲線；S2、將樣品的奈奎斯特曲線與標(biāo)準(zhǔn)品的奈奎斯特曲線進(jìn)行對(duì)比，若樣品的奈奎斯特曲線斜率大于或等于標(biāo)準(zhǔn)品的奈奎斯特曲線斜率，則該樣品的耐腐蝕性合格，否則不合格。本發(fā)明的方法可以更全面的驗(yàn)證氧化鋁膜層的耐腐蝕性能，且更加環(huán)保安全。相比鹽酸氣泡法，EIS阻抗測試使用電阻抗發(fā)生器和軟件擬合得到性能曲線，測試所需的時(shí)間較短，大大提高了測試的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：劉文豐,潘義飛,韓曉興,羅素香
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海愛晶玖半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/28