1.一種基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，所述空間耦合單元包括準直器，所述色散分光單元包括第一分束器和第二分束器；
3.根據權利要求2所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，編碼單元依次包括柱透鏡、虛擬成像相控陣、透鏡及閃耀光柵，第二束光進入擴束單元進而依次經過柱透鏡、虛擬成像相控陣、透鏡及閃耀光柵，形成二維空間編碼光場并形成反射信號；
4.根據權利要求2所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，還包括分光合束單元，分光合束單元包括第三分束器和合束器；
5.根據權利要求1所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，所述時間編程控制模塊包括數字鎖定控制器、光學時間鑒相器及雙光梳互掃控制器，所述數字鎖定控制器將時間編程光梳對的關鍵參數鎖定至共同的時間參考上，對時間編程光梳對的重復頻率和載波包絡偏移頻率進行測量進而進行鎖定；
6.根據權利要求1所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，還包括精密運動控制模塊及自動上下料模塊；
7.根據權利要求1所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，所述采集時域拍頻信號并提取射頻梳的光譜強度信息；通過取相位解包裹計算，得到相位信息，包括以下步驟：
8.根據權利要求1所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，所述接收待測晶圓表面的復原三維形貌信息并進行分析，提取缺陷相關特征，包括以下步驟：
9.根據權利要求1所述的基于雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測系統，其特征在于，所述對晶圓表面缺陷進行識別得到相應的缺陷種類，包括以下步驟：
10.一種基于權利要求1-9任意一項所述的系統實現的雙光梳時空編碼的圖案化晶圓缺陷檢測方法，包括以下步驟：