技術總結
本發明提供了一種ELA后對多晶薄膜表面粗糙度進行改善的方法和裝置。本發明提供的方法包括經過一次ELA后，對多晶薄膜表面進行Ar離子植入。本發明提供的裝置包括電子束產生裝置和離子源，電子束產生裝置用于產生電子束，所述電子束用于轟擊離子源，以產生含有Ar離子的離子束。與傳統方法相比，通過本發明獲得的多晶薄膜粗糙度得到大幅度改善，且生產時間短，成本低，對多晶薄膜的電性沒有漂移影響，適用于LTPS、OLED、TFT、LCD以及AMOLED等生產。

技術研發人員：呂明仁
受保護的技術使用者：武漢華星光電技術有限公司
文檔號碼：201611191016
技術研發日：2016.12.21
技術公布日：2017.05.31