1.一種鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，包括：下傳輸系統(tǒng)，及依次連接的自動(dòng)化上料臺(tái)、抽真空腔體、工藝腔體、放氣腔體和自動(dòng)化下料臺(tái)；所述下傳輸系統(tǒng)分別與所述自動(dòng)化下料臺(tái)及自動(dòng)化上料臺(tái)連接，所述自動(dòng)化下料臺(tái)與所述放氣腔體之間設(shè)置有載板緩存冷卻臺(tái)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，所述載板緩存冷卻臺(tái)包括機(jī)架及設(shè)置于機(jī)架上的閉合腔室及緩存單元；所述閉合腔室內(nèi)設(shè)置有用于水平傳輸載板的傳輸單元，緩存單元對(duì)應(yīng)于所述傳輸單元的垂直方向設(shè)置于所述閉合腔室內(nèi)，且能夠帶著載板沿垂直方向移動(dòng)用于緩存所述載板。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，所述閉合腔室包括多個(gè)密封板，設(shè)置于所述閉合腔室兩端的所述密封板上設(shè)置有用于所述載板出入的開(kāi)口。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，還包括設(shè)置于所述閉合腔室上設(shè)置有通孔，用于抽氣排放。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，所述傳輸單元包括設(shè)置于所述機(jī)架上的傳輸滾輪，能夠?qū)⑺鲚d板從所述自動(dòng)化下料臺(tái)平移到所述緩存單元的托架上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，多個(gè)所述托架構(gòu)成多個(gè)工位，所述載板位于所述工位內(nèi)，所述托架通過(guò)氣缸帶動(dòng)沿垂直方向移動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，所述氣缸上設(shè)置有電磁控制閥，能夠控制所述托架帶動(dòng)所述載板上下移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，還包括對(duì)應(yīng)于所述緩存單元設(shè)置的傳感器，所述傳感器與中央控制器連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，還包括對(duì)應(yīng)于所述載板設(shè)置的風(fēng)扇。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的鏈?zhǔn)絺鬏斚到y(tǒng)，其特征在于，還包括對(duì)應(yīng)于所述風(fēng)扇設(shè)置的板式換熱器。