本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種可拆卸晶圓直線滑軌。

背景技術(shù)：

晶圓作為制造半導(dǎo)體芯片的基本材料，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中；其中晶圓直線滑軌的作用尤為突出，但現(xiàn)有的滑軌均為一體的，滑塊軸承在滑軌上滑動(dòng)時(shí)，滑塊軸承內(nèi)部滾珠會(huì)摩擦滑軌，使滑軌與滑塊軸承連接處磨損，從而影響使用的技術(shù)效果，更換滑軌與滑塊軸承連接部位的同時(shí)需要更換整個(gè)滑軌，這樣浪費(fèi)材料、增加了制作成本并影響直線滑軌使用的技術(shù)效果；現(xiàn)有的直線滑軌均會(huì)額外安置限位塊，浪費(fèi)材料的同時(shí)增加了制造的成本；并且現(xiàn)有的滑塊和滑軌之間用滾動(dòng)軸承相連，滾動(dòng)軸承的造價(jià)高，制造工藝和結(jié)構(gòu)復(fù)雜。該類設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜、成本高、不適合中低端半導(dǎo)體設(shè)備。故如何在更換時(shí)降低晶圓直線滑軌的制作成本，避免材料的浪費(fèi)是目前亟需解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、制造成本低、易于操作的可拆卸晶圓直線滑軌。為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是：

一種可拆卸晶圓直線滑軌，包括滑塊和滑軌，所述滑塊呈長方體形，滑塊下部的兩側(cè)分別開設(shè)有半圓弧形通孔，滑塊通過半圓弧形通孔與滑軌連接，所述滑軌包括牙型凸塊和滑軌底座，所述牙型凸塊上部呈半圓弧形、下部呈矩形，牙型凸塊的下部開設(shè)有第一圓形通孔，牙型凸塊的底部開設(shè)有倒“V”字形的凹槽，所述第一圓形通孔位于倒“V”字形的凹槽的上部，所述滑軌底座呈“凹”字形，滑軌底座上部的兩端分別開設(shè)有矩形凹槽，所述矩形凹槽的底部設(shè)有與倒“V”字形的凹槽相對(duì)應(yīng)的“V”字形凸塊，牙型凸塊位于矩形凹槽內(nèi)，滑軌底座的兩側(cè)端面分別開設(shè)有兩個(gè)圓形螺孔，所述圓形螺孔位于矩形凹槽的下部；滑塊和滑軌的一側(cè)面固定連接有上蓋，滑塊和滑軌的另一側(cè)面固定連接有固定板，所述上蓋的兩側(cè)分別開設(shè)有盲孔和第一螺紋孔，所述固定板的下部兩側(cè)分別開設(shè)有第二螺紋孔。

進(jìn)一步地，所述半圓弧形通孔與牙型凸塊之間進(jìn)行滑動(dòng)連接，半圓弧形通孔與牙型凸塊之間為過渡配合。

進(jìn)一步地，所述固定板的上部兩側(cè)分別布設(shè)有圓柱管形的導(dǎo)管，所述導(dǎo)管穿過第一圓形通孔連接至盲孔內(nèi)。

進(jìn)一步地，所述第一螺紋孔和第二螺紋孔分別對(duì)應(yīng)滑軌底座兩側(cè)端面上的圓形螺孔，第一螺紋孔和滑軌底座一側(cè)端面上的圓形螺孔之間，第二螺紋孔和滑軌底座另一側(cè)端面上的圓形螺孔之間分別通過螺釘連接。

本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型通過滑軌底座和牙型凸塊的連接實(shí)現(xiàn)了一種可拆卸式的滑軌，當(dāng)牙型凸塊上部與滑塊滑動(dòng)連接時(shí)造成的磨損或損壞可直接更換牙型凸塊，無需更換整個(gè)滑軌，從而節(jié)省了材料并減少了工作成本；且滑軌底座與牙型凸塊連接處分別設(shè)有“V”字形的凸塊和倒“V”字形的凹槽，將牙型凸塊放置到滑軌底座時(shí)可避免左右的晃動(dòng)，減輕兩者之間的磨損；滑塊下部的半圓弧形通孔直接接觸牙型凸塊，無需套合軸承，滑軌底座、牙型凸塊與滑塊用固定板和上蓋進(jìn)行固定，拆卸方便，提高了使用性能，簡化了晶圓直線滑軌的結(jié)構(gòu)，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的剖切的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的滑軌底座的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的牙型凸塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的滑塊的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的上蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖7是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的固定板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖8是本實(shí)用新型一種可拆卸晶圓直線滑軌的上蓋和固定板對(duì)接的結(jié)構(gòu)示意圖。

附圖中標(biāo)號(hào)為：1為滑塊，2為牙型凸塊，3為第一圓形通孔，4為滑軌底座，5為矩形凹槽，6為圓形螺孔，7為螺釘，9為盲孔，10為上蓋，11為固定板,12為導(dǎo)管,13為第一螺紋孔，14為半圓弧形通孔，15為第二螺紋孔。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明：

如圖1～圖8所示，一種可拆卸晶圓直線滑軌，包括滑塊1和滑軌，所述滑塊1呈長方體形，滑塊1下部的兩側(cè)分別開設(shè)有半圓弧形通孔14，滑塊通過半圓弧形通孔14與滑軌連接，所述滑軌包括牙型凸塊2和滑軌底座4，所述牙型凸塊2上部呈半圓弧形、下部呈矩形，牙型凸塊2的下部開設(shè)有第一圓形通孔3，牙型凸塊2的底部開設(shè)有倒“V”字形的凹槽，所述第一圓形通孔3位于倒“V”字形的凹槽的上部，牙型凸塊2與滑塊1滑動(dòng)連接，牙型凸塊2與滑塊1過渡配合，所述滑軌底座4呈“凹”字形，滑軌底座4上部的兩端分別開設(shè)有矩形凹槽5，所述矩形凹槽5的底部設(shè)有與倒“V”字形的凹槽相對(duì)應(yīng)的“V”字形凸塊，牙型凸塊2位于矩形凹槽5內(nèi)，滑軌底座4的兩側(cè)端面分別開設(shè)有兩個(gè)圓形螺孔6，所述圓形螺孔6位于矩形凹槽5的下部；滑塊1和滑軌的一側(cè)面固定連接有上蓋10，滑塊1和滑軌的另一側(cè)面固定連接有固定板11，所述上蓋10的兩側(cè)分別開設(shè)有盲孔9和第一螺紋孔13，所述固定板11的上部兩側(cè)分別布設(shè)有圓柱管形的導(dǎo)管12，所述導(dǎo)管12穿過第一圓形通孔3連接至盲孔9，固定板11的下部兩側(cè)分別開設(shè)有第二螺紋孔15，所述第一螺紋孔13和第二螺紋孔15分別對(duì)應(yīng)滑軌底座4兩側(cè)端面上的圓形螺孔6，第一螺紋孔13和滑軌底座4一側(cè)端面上的圓形螺孔6之間，第二螺紋孔15和滑軌底座4另一側(cè)端面上的圓形螺孔6之間分別通過螺釘7連接。

使用時(shí)，將兩個(gè)牙型凸塊2分別安裝至滑軌底座4兩端上部的矩形凹槽5內(nèi)，手動(dòng)將滑塊1滑入到牙型凸塊2上部，螺釘7穿過第一螺紋孔13至滑軌底座4上的圓形螺孔6內(nèi)，將上蓋10固定在滑塊1和滑軌的一側(cè)面上；將固定板11上的導(dǎo)管12穿過第一圓形通孔3連接至上蓋10的盲孔9內(nèi)，再將螺釘7穿過第二螺紋孔15至滑軌底座4上的圓形螺孔6內(nèi)，使固定板11固定在滑塊1和滑軌的另一側(cè)面上，從而將牙型凸塊2和滑軌底座4夾緊固定，滑塊1可在牙型凸塊2上自由滑動(dòng)。

以上所述之實(shí)施例，只是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非限制本實(shí)用新型的實(shí)施范圍，故凡依本實(shí)用新型專利范圍所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或修飾，均應(yīng)包括于本實(shí)用新型申請(qǐng)專利范圍內(nèi)。