本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工設(shè)備領(lǐng)域，進(jìn)一步地涉及一種基板保持裝置及基板卡盤。

背景技術(shù)：

1、在集成電路制造過程中，基板的濕法工藝是影響產(chǎn)品良率的重要工藝過程。其中，單片式濕法工藝由于其所具有的良好均勻性、可重復(fù)性及穩(wěn)定性，得到了越來越廣泛的應(yīng)用。目前的單片式濕法工藝，一般將進(jìn)行濕法刻蝕或清洗的基板通過基板保持裝置固定在卡盤上，并使得基板在卡盤的帶動(dòng)下旋轉(zhuǎn)，通過噴射藥液對基板表面進(jìn)行工藝處理。

2、但在上述工藝處理期間，存在飛濺現(xiàn)象，即殘留在基板保持裝置表面的化學(xué)藥液，會(huì)在卡盤旋轉(zhuǎn)時(shí)從基板保持裝置上甩離，飛濺到基板背面，容易對基板背面的結(jié)構(gòu)造成腐蝕和污染，從而影響基板刻蝕或清洗的成品率。

3、綜上所述，本申請旨在提供一種基板保持裝置，用于防止基板背面的污染風(fēng)險(xiǎn)，提高基板刻蝕或清洗的成品率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對上述技術(shù)問題，本發(fā)明的目的在于提供一種基板保持裝置，以減小基板保持裝置的藥液殘留，從而防止基板背面的污染風(fēng)險(xiǎn)，提高基板刻蝕或清洗的成品率。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種基板保持裝置及基板卡盤。

3、在一些實(shí)施方式中，該基板保持裝置，安裝于基板卡盤，包括：基座，裝配于所述基板卡盤的邊緣；支撐部，固定于所述基座，用于通過設(shè)置在其頂部的球面點(diǎn)接觸并支撐基板；導(dǎo)向柱，固定于所述基座，用于將所述基板引導(dǎo)并限位于預(yù)設(shè)位置；夾持件，其活動(dòng)連接于所述基座，用于在所述基板被引導(dǎo)并限位于預(yù)設(shè)位置后，從所述基板的側(cè)面夾持并固定所述基板。

4、在一些實(shí)施方式中，該基板保持裝置，安裝于基板卡盤，包括：基座主體，可旋轉(zhuǎn)裝配于所述基板卡盤的邊緣；支撐部，構(gòu)造于所述基座主體的頂部，用于通過設(shè)置在其頂部的球面點(diǎn)接觸并支撐基板；夾持部，構(gòu)造于所述支撐部的頂部，所述夾持部與所述基座主體偏心設(shè)置，用于在所述基板被支撐于所述球面后，所述基座主體帶動(dòng)所述夾持部沿預(yù)設(shè)方向旋轉(zhuǎn)，以從所述基板的側(cè)面夾持并固定所述基板。

5、在一些實(shí)施方式中，該基板保持裝置，安裝于基板卡盤，包括：支撐部，裝配于所述基板卡盤邊緣，用于通過設(shè)置在其頂部的球面點(diǎn)接觸并支撐基板。

6、在一些實(shí)施方式中，該基板卡盤，包括：卡盤主體，所述卡盤主體邊緣裝配有若干上述基板保持裝置；驅(qū)動(dòng)齒輪，位于所述卡盤主體內(nèi)部，用于驅(qū)動(dòng)各所述基板保持裝置。

7、本發(fā)明通過提供一種基板保持裝置及基板卡盤，該基板保持裝置用于支撐基板的支撐面為球面，且與基板底面點(diǎn)接觸，以減小基板保持裝置的藥液殘留，從而防止基板背面的污染風(fēng)險(xiǎn)，提高基板刻蝕或清洗的成品率。

技術(shù)特征：

1.一種基板保持裝置，安裝于基板卡盤，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持裝置，其特征在于，

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基板保持裝置，其特征在于，

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基板保持裝置，其特征在于，

5.一種基板保持裝置，安裝于基板卡盤，其特征在于，包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板保持裝置，其特征在于，

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板保持裝置，其特征在于，

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板保持裝置，其特征在于，

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的基板保持裝置，其特征在于，

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板保持裝置，其特征在于，

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的基板保持裝置，其特征在于，

12.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板保持裝置，其特征在于，

13.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板保持裝置，其特征在于，還包括：

14.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基板保持裝置，其特征在于，所述基座主體內(nèi)部具有沿其旋轉(zhuǎn)軸線方向?qū)ǖ陌惭b孔，所述基板保持裝置還包括：

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板保持裝置，其特征在于，還包括：

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的基板保持裝置，其特征在于，

17.一種基板保持裝置，安裝于基板卡盤，其特征在于，包括：

18.一種基板卡盤，其特征在于，包括：

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的基板卡盤，其特征在于，

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的基板卡盤，其特征在于，

21.根據(jù)權(quán)利要求20所述的基板卡盤，其特征在于，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種基板保持裝置及基板卡盤。該基板保持裝置包括：基座，裝配于基板卡盤的邊緣；支撐部，固定于基座，用于通過設(shè)置在其頂部的球面點(diǎn)接觸并支撐基板；導(dǎo)向柱，固定于基座，用于將基板引導(dǎo)并限位于預(yù)設(shè)位置；夾持件，其活動(dòng)連接于基座，用于在基板被引導(dǎo)并限位于預(yù)設(shè)位置后，從基板的側(cè)面夾持并固定基板。本發(fā)明通過提供一種基板保持裝置及基板卡盤，該基板保持裝置用于支撐基板的支撐面為球面，且與基板底面點(diǎn)接觸，以減小基板保持裝置的藥液殘留，從而防止基板背面的污染風(fēng)險(xiǎn)，提高基板刻蝕或清洗的成品率。

技術(shù)研發(fā)人員：王暉,黨琪,仲召明,陸圣平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/4/28