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半導體裝置及制造半導體裝置的方法與流程

文檔序號:41764901發布日期:2025-04-29 18:34閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種半導體裝置,包括:

2.根據權利要求1所述的半導體裝置,

3.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

4.根據權利要求3所述的半導體裝置,還包括:

5.根據權利要求3所述的半導體裝置,

6.根據權利要求2所述的半導體裝置,

7.根據權利要求2所述的半導體裝置,

8.根據權利要求7所述的半導體裝置,

9.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

10.根據權利要求9所述的半導體裝置,

11.根據權利要求9所述的半導體裝置,

12.根據權利要求9所述的半導體裝置,

13.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

14.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

15.根據權利要求2所述的半導體裝置,

16.根據權利要求15所述的半導體裝置,

17.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

18.根據權利要求17所述的半導體裝置,還包括:

19.根據權利要求18所述的半導體裝置,還包括:

20.根據權利要求18所述的半導體裝置,

21.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

22.根據權利要求2所述的半導體裝置,

23.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

24.根據權利要求23所述的半導體裝置,

25.根據權利要求23所述的半導體裝置,

26.根據權利要求23所述的半導體裝置,

27.根據權利要求23所述的半導體裝置,

28.根據權利要求23所述的半導體裝置,

29.根據權利要求23所述的半導體裝置,

30.根據權利要求23所述的半導體裝置,其中,從與所述后表面平行的方向觀察,所述半導體基板的基材在預定的深度位置具有臺階,

31.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

32.根據權利要求31所述的半導體裝置,

33.根據權利要求31所述的半導體裝置,

34.根據權利要求31所述的半導體裝置,

35.根據權利要求31所述的半導體裝置,

36.根據權利要求31所述的半導體裝置,還包括:

37.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:

38.根據權利要求37所述的半導體裝置,

39.根據權利要求37所述的半導體裝置,

40.根據權利要求39所述的半導體裝置,

41.根據權利要求39所述的半導體裝置,

42.根據權利要求39所述的半導體裝置,

43.根據權利要求2所述的半導體裝置,

44.根據權利要求43所述的半導體裝置,

45.根據權利要求44所述的半導體裝置,

46.根據權利要求44所述的半導體裝置,

47.根據權利要求1所述的半導體裝置,還包括:導電金屬,嵌入在所述環狀溝槽中。

48.根據權利要求47所述的半導體裝置,

49.根據權利要求47所述的半導體裝置,還包括:第一絕緣膜,所述第一絕緣膜覆蓋所述環狀溝槽的側表面。

50.根據權利要求49所述的半導體裝置,還包括:第二絕緣膜,所述第二絕緣膜覆蓋所述通孔的側表面。

51.根據權利要求47所述的半導體裝置,

52.根據權利要求47所述的半導體裝置,

53.根據權利要求47所述的半導體裝置,

54.根據權利要求53所述的半導體裝置,

55.一種制造半導體裝置的方法,包括:

56.根據權利要求55所述的制造半導體裝置的方法,

57.根據權利要求56所述的制造半導體裝置的方法,

58.根據權利要求57所述的制造半導體裝置的方法,

59.根據權利要求58所述的制造半導體裝置的方法,其中,所述布線層包括預定數量的布線,并且


技術總結
提供一種具有圍繞通孔形成的環狀溝槽的半導體裝置,其中,提高了可靠性。在本發明中,半導體裝置包括半導體基板、貫通布線、背面絕緣膜和環狀溝槽。布線層形成在半導體基板的表面上。通孔貫穿半導體基板。貫通布線沿著通孔的側表面形成。背面絕緣膜覆蓋半導體基板的相對于表面的背面。環狀溝槽在從與背面垂直的方向觀察時包圍通孔,并且在從與背面平行的方向觀察時已在其內部形成由背面絕緣膜封堵的空洞部。

技術研發人員:重歲卓志,岡本正喜,平冢龍將,平野嵩明,釘宮克尚,松本舜,古橋隆壽
受保護的技術使用者:索尼半導體解決方案公司
技術研發日:
技術公布日:2025/4/28
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