1.一種半導體裝置,包括:
2.根據權利要求1所述的半導體裝置,
3.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
4.根據權利要求3所述的半導體裝置,還包括:
5.根據權利要求3所述的半導體裝置,
6.根據權利要求2所述的半導體裝置,
7.根據權利要求2所述的半導體裝置,
8.根據權利要求7所述的半導體裝置,
9.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
10.根據權利要求9所述的半導體裝置,
11.根據權利要求9所述的半導體裝置,
12.根據權利要求9所述的半導體裝置,
13.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
14.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
15.根據權利要求2所述的半導體裝置,
16.根據權利要求15所述的半導體裝置,
17.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
18.根據權利要求17所述的半導體裝置,還包括:
19.根據權利要求18所述的半導體裝置,還包括:
20.根據權利要求18所述的半導體裝置,
21.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
22.根據權利要求2所述的半導體裝置,
23.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
24.根據權利要求23所述的半導體裝置,
25.根據權利要求23所述的半導體裝置,
26.根據權利要求23所述的半導體裝置,
27.根據權利要求23所述的半導體裝置,
28.根據權利要求23所述的半導體裝置,
29.根據權利要求23所述的半導體裝置,
30.根據權利要求23所述的半導體裝置,其中,從與所述后表面平行的方向觀察,所述半導體基板的基材在預定的深度位置具有臺階,
31.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
32.根據權利要求31所述的半導體裝置,
33.根據權利要求31所述的半導體裝置,
34.根據權利要求31所述的半導體裝置,
35.根據權利要求31所述的半導體裝置,
36.根據權利要求31所述的半導體裝置,還包括:
37.根據權利要求2所述的半導體裝置,還包括:
38.根據權利要求37所述的半導體裝置,
39.根據權利要求37所述的半導體裝置,
40.根據權利要求39所述的半導體裝置,
41.根據權利要求39所述的半導體裝置,
42.根據權利要求39所述的半導體裝置,
43.根據權利要求2所述的半導體裝置,
44.根據權利要求43所述的半導體裝置,
45.根據權利要求44所述的半導體裝置,
46.根據權利要求44所述的半導體裝置,
47.根據權利要求1所述的半導體裝置,還包括:導電金屬,嵌入在所述環狀溝槽中。
48.根據權利要求47所述的半導體裝置,
49.根據權利要求47所述的半導體裝置,還包括:第一絕緣膜,所述第一絕緣膜覆蓋所述環狀溝槽的側表面。
50.根據權利要求49所述的半導體裝置,還包括:第二絕緣膜,所述第二絕緣膜覆蓋所述通孔的側表面。
51.根據權利要求47所述的半導體裝置,
52.根據權利要求47所述的半導體裝置,
53.根據權利要求47所述的半導體裝置,
54.根據權利要求53所述的半導體裝置,
55.一種制造半導體裝置的方法,包括:
56.根據權利要求55所述的制造半導體裝置的方法,
57.根據權利要求56所述的制造半導體裝置的方法,
58.根據權利要求57所述的制造半導體裝置的方法,
59.根據權利要求58所述的制造半導體裝置的方法,其中,所述布線層包括預定數量的布線,并且