本發明涉及刻蝕，特別是涉及一種自動化進出料的氟刻蝕設備。

背景技術：

1、在光伏設備技術領域和半導體技術領域中，經常需要對硅襯底等基板進行精確尺寸的各種蝕刻，蝕刻劑的范圍從液體型蝕刻劑(如naoh、koh或tmah)到基于cl2、hbr、cf4、nf3或sf6等氣體的高能等離子體型蝕刻劑，這些蝕刻試劑可以在精確限定的微結構的制造中提供很大的靈活性和可控性。f2、xef2等氟化物是非等離子體型的硅蝕刻劑，可以在常壓下對硅材料達到幾μm/min的高蝕刻速率，對光刻膠、氧化硅、氮化硅等具有高選擇性。這種蝕刻方法能夠快速蝕刻大尺寸硅結構的表面，由于可在大氣壓下進行反應，不需要復雜的真空系統，具有潛在的應用前景。

2、但由于氟化物氣體存在一定的毒性和腐蝕性，在使用氟化物作為蝕刻劑時，需要采取一系列安全措施來確保操作人員和設備的安全。如在設備內部表面涂上能抵抗含氟化合物刻蝕的涂層，采用自動化上下料的刻蝕設備，減少操作人員接觸到氟化物氣體。目前以氟化合物作為刻蝕劑且能夠對基板進行大批量上下料的自動化刻蝕設備較少，如常規的高能等離子體型氟刻蝕設備，通常需要人工或者機器人將基板放入反應室或取出，效率低，不滿足光伏行業高產能的應用需求，因此需要開發一種氟刻蝕設備，能夠實現自動化進出料，以提高大批量基板進行氟刻蝕的生產效率。

技術實現思路

1、發明目的：本發明的目的是提供一種自動化進出料的氟刻蝕設備，能夠實現大批量基板自動化送入送出氟刻蝕主機臺，提高基板的刻蝕效率。

2、技術方案：為實現上述目的，本發明所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備包括氟刻蝕主機臺、位于氟刻蝕主機臺進料端或出料端的載板派發/回收倉，所述載板派發/回收倉內包括用于帶動載板盒升降的升降架、用于將載板盒上載板派發至氟刻蝕主機臺進料端或將氟刻蝕主機臺出料端的載板回收至載板盒中的載板派發回收平臺。

3、其中，所述載板盒為框架結構，載板盒內部豎向上均勻設置有多層用于放置載板的臺階。

4、其中，所述載板派發/回收倉包括多組豎向支撐桿、第三驅動裝置，所述升降架在第三驅動裝置作用下沿著支撐桿進行升降。

5、其中，所述載板派發回收平臺固定在載板派發/回收倉的內壁上，從而懸空架設升降架內部。

6、其中，所述載板派發回收平臺包括傳動機構、用于將傳動機構架設在載板盒內底部預留間隙中的轉角連接板、驅動傳動機構的第四驅動裝置。

7、其中，所述傳動機構包括輥輪桿或傳輸帶。

8、其中，在氟刻蝕主機臺進料端與載板派發/回收倉之間或氟刻蝕主機臺出料端與載板派發/回收倉之間設有載板緩存倉，所述載板緩存倉內包括用于帶動載板緩存架升降的升降架、用于將載板派發/回收倉派發的載板進行緩存或推送至氟刻蝕主機臺進料端，或將氟刻蝕主機臺出料端的載板進行緩存或推送至載板派發/回收倉中。

9、其中，所述載板派發/回收倉或載板緩存倉設有進行密封的倉門。

10、其中，所述載板派發/回收倉、載板緩存倉、氟刻蝕主機臺之間設有傳遞載板密閉通道。

11、其中，所述載板派發/回收倉設有用于引入氣體對倉內進行吹掃的吹掃機構。

12、有益效果：本發明具有如下優點：1、本發明所述設備能夠使載板有序地進入和離開氟刻蝕主機臺，優化了工作流程，提高了設備的整體運行效率，實現大批量基板的統一調度；2、通過密封的倉門和密閉通道，所述設備能夠提供一個安全的工作環境，防止氟刻蝕過程中產生的有害氣體泄漏；3、載板緩存倉的設計能夠暫存來不及派發或回收的載板，避免生產線的堵塞和中斷，確保生產過程的連續性和穩定性。

技術特征：

1.一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，包括氟刻蝕主機臺(1)、位于氟刻蝕主機臺(1)進料端或出料端的載板派發/回收倉(4)，所述載板派發/回收倉(4)內包括用于帶動載板盒(6)升降的升降架(4.1)、用于將載板盒(6)上載板派發至氟刻蝕主機臺(1)進料端或將氟刻蝕主機臺(1)出料端的載板回收至載板盒(6)中的載板派發回收平臺(4.5)。

2.根據權利要求1所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述載板盒(6)為框架結構，載板盒(6)內部豎向上均勻設置有多層用于放置載板的臺階。

3.根據權利要求1所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述載板派發/回收倉(4)包括多組豎向支撐桿、第三驅動裝置(4.3)，所述升降架(4.1)在第三驅動裝置(4.3)作用下沿著支撐桿進行升降。

4.根據權利要求1所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述載板派發回收平臺(4.5)固定在載板派發/回收倉(4)的內壁上，從而懸空架設升降架(4.1)內部。

5.根據權利要求4所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述載板派發回收平臺(4.5)包括傳動機構、用于將傳動機構架設在載板盒(6)內底部預留間隙(6.1)中的轉角連接板(4.52)、驅動傳動機構的第四驅動裝置(4.6)。

6.根據權利要求5所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述傳動機構包括輥輪桿或傳輸帶。

7.根據權利要求1所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，在氟刻蝕主機臺(1)進料端與載板派發/回收倉(4)之間或氟刻蝕主機臺(1)出料端與載板派發/回收倉(4)之間設有載板緩存倉(3)，所述載板緩存倉(3)內包括用于帶動載板緩存架升降的升降架、用于將載板派發/回收倉(4)派發的載板進行緩存或推送至氟刻蝕主機臺(1)進料端，或將氟刻蝕主機臺(1)出料端的載板進行緩存或推送至載板派發/回收倉(4)中。

8.根據權利要求1或7所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述載板派發/回收倉(4)或載板緩存倉(3)設有進行密封的倉門。

9.根據權利要求8所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述載板派發/回收倉(4)、載板緩存倉(3)、氟刻蝕主機臺(1)之間設有傳遞載板密閉通道。

10.根據權利要求1所述的一種自動化進出料的氟刻蝕設備，其特征在于，所述載板派發/回收倉(4)設有用于引入氣體對倉內進行吹掃的吹掃機構。

技術總結
本發明公開了一種自動化進出料的氟刻蝕設備，包括氟刻蝕主機臺、位于氟刻蝕主機臺進料端或出料端的載板派發/回收倉，所述載板派發/回收倉內包括升降架、載板派發回收平臺，升降架帶動載板盒在載板派發/回收倉升降，載板派發回收平臺在載板盒升降過程中，將載板盒上載板派發至氟刻蝕主機臺進料端，實現對載板的派發，或將氟刻蝕主機臺出料端的載板回收至空載的載板盒中，實現對載板的回收；所述載板派發/回收倉和氟刻蝕主機臺之間設有傳遞載板密閉通道，且載板派發/回收倉能引入氣體對倉內進行吹掃。本發明所述氟刻蝕設備自動化程度高，能夠實現大批量基板自動化送入送出氟刻蝕主機臺，提高了基板的傳輸刻蝕效率。

技術研發人員：倪志榮
受保護的技術使用者：新一新能源科技（衢州）有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28