本發(fā)明涉及一種對(duì)襯底進(jìn)行處理的襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置。襯底例如可以列舉半導(dǎo)體襯底、fpd(flat?panel?display，平板顯示器)用襯底、光掩模用襯底、光盤(pán)用襯底、磁盤(pán)用襯底、陶瓷襯底及太陽(yáng)電池用襯底等。fpd例如可以列舉液晶顯示裝置、有機(jī)el(electroluminescence，電致發(fā)光)顯示裝置等。

背景技術(shù)：

1、以往的襯底處理裝置具備襯底處理裝置主體及載具緩沖裝置(存放裝置)(例如參照日本專(zhuān)利特開(kāi)2011-187796號(hào)公報(bào))。襯底處理裝置主體具備裝載塊及處理塊。處理塊在水平方向上與裝載塊連結(jié)。裝載塊內(nèi)置著襯底搬送機(jī)械手。在裝載塊的外壁設(shè)有載具載置臺(tái)。載具載置臺(tái)供載置能夠收納多個(gè)襯底的載具。載具載置臺(tái)隔著搬送機(jī)械手設(shè)于處理塊的相反側(cè)。

2、載具緩沖裝置具備保管載具的多個(gè)載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)。載具搬送機(jī)構(gòu)以在多個(gè)載具保管架與載具載置臺(tái)之間搬送載具的方式構(gòu)成。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、[發(fā)明要解決的問(wèn)題]

2、以往的載具緩沖裝置配置為隔著裝載塊處于處理塊的相反側(cè)，即在水平方向上從裝載塊延長(zhǎng)到載具載置臺(tái)側(cè)。這種以往的載具緩沖裝置有可能導(dǎo)致襯底處理裝置的設(shè)置面積即占據(jù)面積變大。

3、本發(fā)明是鑒于這種情況完成的，目的在于提供一種能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積的襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置。

4、[解決問(wèn)題的技術(shù)手段]

5、本發(fā)明為了達(dá)成這種目的，采用如下構(gòu)成。即，本發(fā)明的對(duì)襯底進(jìn)行處理的襯底處理裝置包含以下要素：第1裝載塊，設(shè)有用于載置能夠收納多個(gè)襯底的載具的至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)；第1處理塊，在水平方向上與所述第1裝載塊連結(jié)；多個(gè)載具保管架，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少一個(gè)之上，分別保管所述載具；及載具搬送機(jī)構(gòu)，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少一個(gè)之上，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與所述多個(gè)載具保管架之間搬送所述載具。

6、根據(jù)本發(fā)明的襯底處理裝置，載具搬送機(jī)構(gòu)在至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與多個(gè)載具保管架之間搬送載具。多個(gè)載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)分別搭載在第1裝載塊及第1處理塊中的至少任一個(gè)之上。因此，也可以不從裝載塊在水平方向上延長(zhǎng)地設(shè)置多個(gè)載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)，能夠削減在水平方向上延長(zhǎng)的設(shè)置面積。即，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

7、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述第1處理塊包含配置成1列的多個(gè)處理塊，所述第1裝載塊在水平方向上與所述多個(gè)處理塊中的一端的第1處理塊連結(jié)，所述多個(gè)載具保管架搭載在所述第1裝載塊及所述多個(gè)處理塊中的至少任一個(gè)之上，分別保管所述載具，所述載具搬送機(jī)構(gòu)搭載在所述第1裝載塊及所述多個(gè)處理塊中的至少任一個(gè)之上，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與所述多個(gè)載具保管架之間搬送所述載具。

8、由此，對(duì)于具備配置成1列的多個(gè)處理塊的襯底處理裝置，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

9、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選還具備第2裝載塊，該第2裝載塊在水平方向上與所述多個(gè)處理塊中的另一端的處理塊連結(jié)，且設(shè)有用于載置所述載具的至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)，所述多個(gè)載具保管架搭載在所述第1裝載塊、所述多個(gè)處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個(gè)之上，分別保管所述載具，所述載具搬送機(jī)構(gòu)搭載在所述第1裝載塊、所述多個(gè)處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個(gè)之上，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)、所述多個(gè)載具保管架及所述至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)之間搬送所述載具。

10、由此，對(duì)于在2個(gè)裝載塊之間配置著多個(gè)處理塊的襯底處理裝置，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

11、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選還具備第2裝載塊，該第2裝載塊配置在所述多個(gè)處理塊中的一端側(cè)的處理塊與另一端側(cè)的處理塊之間，且設(shè)有用于載置所述載具的至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)，所述多個(gè)載具保管架搭載在所述第1裝載塊、所述多個(gè)處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個(gè)之上，分別保管所述載具，所述載具搬送機(jī)構(gòu)搭載在所述第1裝載塊、所述多個(gè)處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個(gè)之上，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)、所述多個(gè)載具保管架及所述至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)之間搬送所述載具。

12、由此，對(duì)于在2個(gè)處理塊之間配置著第2裝載塊的襯底處理裝置，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

13、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選還具備第2載具搬送機(jī)構(gòu)，該第2載具搬送機(jī)構(gòu)隔著所述第2裝載塊搭載在所述載具搬送機(jī)構(gòu)即第1載具搬送機(jī)構(gòu)的相反側(cè)且所述另一端側(cè)的處理塊之上，搬送所述載具。由于利用2臺(tái)載具搬送機(jī)構(gòu)搬送載具，所以能夠提高載具搬送效率。因此，能夠提高襯底處理裝置的處理量。

14、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選還具備配置在所述第2裝載塊之上的中繼用載具載置臺(tái)，所述第1載具搬送機(jī)構(gòu)使用所述中繼用載具載置臺(tái)將所述載具搬送到所述第2載具搬送機(jī)構(gòu)，另外，所述第2載具搬送機(jī)構(gòu)使用所述中繼用載具載置臺(tái)將所述載具搬送到所述第1載具搬送機(jī)構(gòu)。能夠利用第2裝載塊之上的區(qū)域作為2個(gè)載具搬送機(jī)構(gòu)的中繼用載置臺(tái)。因此，能夠更順利地進(jìn)行載具的交付。

15、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述載具搬送機(jī)構(gòu)具備：固持部，固持所述載具；臂部，安裝著所述固持部；驅(qū)動(dòng)部，支撐所述臂部；及導(dǎo)軌，搭載在所述多個(gè)處理塊中的至少2個(gè)處理塊及所述第2裝載塊之上；所述驅(qū)動(dòng)部構(gòu)成為能夠使所述固持部及所述臂部沿著所述導(dǎo)軌移動(dòng)，所述導(dǎo)軌搭載在形成于所述第2裝載塊的槽部上。由于導(dǎo)軌搭載在形成于第2裝載塊的槽部上，所以能夠抑制載具搬送機(jī)構(gòu)的高度，并且能夠利用隔著第2裝載塊與載具搬送機(jī)構(gòu)為相反側(cè)的區(qū)域作為載具保管架。

16、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述載具搬送機(jī)構(gòu)具備：固持部，固持所述載具；臂部，安裝著所述固持部；驅(qū)動(dòng)部，支撐所述臂部；及導(dǎo)軌，搭載在所述多個(gè)處理塊中的至少2個(gè)處理塊之上；所述驅(qū)動(dòng)部構(gòu)成為能夠使所述固持部及所述臂部沿著所述導(dǎo)軌移動(dòng)。能夠擴(kuò)大載具搬送機(jī)構(gòu)的載具搬送范圍，并且能夠利用多個(gè)區(qū)域作為載具保管架。

17、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選還具備第2裝載塊，該第2裝載塊相對(duì)于所述第1處理塊連結(jié)在所述第1裝載塊的相反側(cè)，且設(shè)有用于載置所述載具的至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)，所述多個(gè)載具保管架搭載在所述第1裝載塊、所述第1處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個(gè)之上，分別保管所述載具，所述載具搬送機(jī)構(gòu)搭載在所述第1裝載塊、所述第1處理塊及所述第2裝載塊中的至少任一個(gè)之上，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)、所述多個(gè)載具保管架及所述至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)之間搬送所述載具。

18、由此，對(duì)于在2個(gè)裝載塊之間隔著單一的處理塊的襯底處理裝置，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

19、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)設(shè)于比所述第1處理塊的上表面高的位置。搭載在第1裝載塊及第1處理塊中的至少一個(gè)之上的載具搬送機(jī)構(gòu)容易搬送載置在第1載具載置臺(tái)上的載具。

20、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)設(shè)于所述第1處理塊的上方。能夠使第1載具載置臺(tái)朝向載具搬送機(jī)構(gòu)。由此，載具搬送機(jī)構(gòu)容易搬送載置在第1載具載置臺(tái)上的載具。另外，由于能夠抑制在俯視時(shí)第1載具載置臺(tái)從第1裝載塊伸出，所以能夠進(jìn)一步減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

21、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)以俯視時(shí)收納在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少一區(qū)域中的方式配置。相對(duì)來(lái)說(shuō)，能夠使第1載具載置臺(tái)朝向載具搬送機(jī)構(gòu)。由此，載具搬送機(jī)構(gòu)容易搬送載置在第1載具載置臺(tái)上的載具。

22、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)設(shè)于比所述第1處理塊的上表面高的位置。搭載在第1裝載塊及第1處理塊中的至少一個(gè)之上的載具搬送機(jī)構(gòu)容易搬送載置在第2載具載置臺(tái)上的載具。

23、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選所述第2裝載塊具備搬送襯底的襯底搬送機(jī)構(gòu)，所述至少1個(gè)第2載具載置臺(tái)為多個(gè)第2載具載置臺(tái)，所述多個(gè)第2載具載置臺(tái)在俯視時(shí)設(shè)于所述襯底搬送機(jī)構(gòu)的周?chē)?。能夠利?臺(tái)襯底搬送機(jī)構(gòu)將載具搬送到多個(gè)第2載具載置臺(tái)。

24、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選還具備升降機(jī)構(gòu)，該升降機(jī)構(gòu)設(shè)于所述第1裝載塊，在所述第1裝載塊的上表面?zhèn)扰c地面?zhèn)戎g使所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)升降。通過(guò)第1載具載置臺(tái)利用升降機(jī)構(gòu)升降，能夠使第1載具載置臺(tái)下降到作業(yè)者能夠?qū)⑤d具直接載置到第1載具載置臺(tái)上的高度。例如在評(píng)估時(shí)或保養(yǎng)時(shí)等非生產(chǎn)時(shí)使用襯底處理裝置的情況下，作業(yè)者大多用手搬送而非利用外部搬送機(jī)構(gòu)，此時(shí)，由于作業(yè)者能夠?qū)⑤d具直接載置到第1載具載置臺(tái)上，所以能夠在評(píng)估時(shí)或保養(yǎng)時(shí)靈活地使用襯底處理裝置，作業(yè)效率提高。

25、另外，在所述襯底處理裝置中，優(yōu)選具備：開(kāi)口部，供于使襯底從載置在所述第1載具載置臺(tái)上的載具通過(guò)；擋板部件，使所述開(kāi)口部開(kāi)閉；及擋板部件驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述擋板部件沿著所述開(kāi)口部在水平方向上移動(dòng)。能夠在開(kāi)口部的下方的區(qū)域確保例如供配置襯底載置部的空間。

26、另外，本發(fā)明的襯底處理裝置的載具搬送方法包含以下工序。襯底處理裝置具備：第1裝載塊，設(shè)有用于載置能夠收納多個(gè)襯底的載具的至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)；及第1處理塊，在水平方向上與所述第1裝載塊連結(jié)。所述工序是指：利用搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少任一個(gè)之上的多個(gè)載具保管架，分別保管所述載具；及利用搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少任一個(gè)之上的載具搬送機(jī)構(gòu)，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與所述多個(gè)載具保管架之間搬送所述載具。

27、根據(jù)本發(fā)明的載具搬送方法，載具搬送機(jī)構(gòu)在至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與多個(gè)載具保管架之間搬送載具。多個(gè)載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)分別搭載在第1裝載塊及第1處理塊中的至少任一個(gè)之上。因此，也可以不從裝載塊在水平方向上延長(zhǎng)地設(shè)置多個(gè)載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)，能夠削減在水平方向上延長(zhǎng)的設(shè)置面積。即，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

28、另外，本發(fā)明的載具緩沖裝置設(shè)于襯底處理裝置主體，該襯底處理裝置主體具備：第1裝載塊，設(shè)有用于載置能夠收納多個(gè)襯底的載具的至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)；及第1處理塊，在水平方向上與所述第1裝載塊連結(jié)；且該載具緩沖裝置包含以下要素：多個(gè)載具保管架，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少任一個(gè)之上，分別保管所述載具；及載具搬送機(jī)構(gòu)，搭載在所述第1裝載塊及所述第1處理塊中的至少任一個(gè)之上，在所述至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與所述多個(gè)載具保管架之間搬送所述載具。

29、根據(jù)本發(fā)明的載具緩沖裝置，載具搬送機(jī)構(gòu)在至少1個(gè)第1載具載置臺(tái)與多個(gè)載具保管架之間搬送載具。多個(gè)載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)分別搭載在第1裝載塊及第1處理塊中的至少任一個(gè)之上。因此，也可以不從裝載塊在水平方向上延長(zhǎng)地設(shè)置多個(gè)載具保管架及載具搬送機(jī)構(gòu)，能夠削減在水平方向上延長(zhǎng)的設(shè)置面積。即，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。

30、[發(fā)明的效果]

31、根據(jù)本發(fā)明的襯底處理裝置、載具搬送方法及載具緩沖裝置，能夠減小襯底處理裝置的占據(jù)面積。