本發(fā)明涉及掩膜板定位，尤其涉及一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構。

背景技術：

1、掩膜板在半導體制造、平板顯示、光學器件等眾多高科技領域中起著至關重要的作用。例如在半導體制造過程中，掩膜板用于定義集成電路的圖案，其精度直接影響到芯片的性能和質量。在平板顯示領域，掩膜板決定了顯示屏的像素布局和色彩表現(xiàn)。因此，對掩膜板的精確定位是實現(xiàn)高質量產品制造的關鍵環(huán)節(jié)。

2、現(xiàn)有技術中，定位精度有限：傳統(tǒng)的掩膜板定位機構往往難以實現(xiàn)高精度的定位調整。由于結構設計的局限性，在進行旋轉調整時，容易出現(xiàn)受力不均、角度偏差等問題，導致定位精度不高，無法滿足現(xiàn)代高科技產業(yè)對高精度制造的要求。

3、操作復雜：一些現(xiàn)有的定位機構操作繁瑣，需要人工進行大量的調整和校準工作。這不僅增加了操作人員的工作負擔，還容易引入人為誤差，降低了生產效率和產品質量。

4、適應性差：不同規(guī)格和尺寸的掩膜板需要不同的定位機構，現(xiàn)有技術中缺乏一種通用性強、能夠適應多種掩膜板尺寸的定位裝置。這增加了企業(yè)的設備投入成本，也不利于生產的靈活性和多樣性。

5、摩擦損耗大：在掩膜板的定位和調整過程中，由于部件之間的摩擦，容易導致磨損和能量損失。這不僅會降低機構的使用壽命，還可能影響定位的精度和穩(wěn)定性。

6、為此，我們提出了一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構。

技術實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術中存在的缺點，而提出的一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用了如下技術方案：

3、一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，包括臺面、安裝槽、外層槽板、旋轉中心件、安裝架、導向槽、電動微動平臺及調整受力中心件，所述安裝槽設置于臺面的上側，所述安裝槽內壁表面涂抹有鐵氟龍涂層，鐵氟龍涂層的摩擦系數為0.05，所述外層槽板設置于安裝槽內，所述旋轉中心件設置于臺面與外層槽板之間且位于拐角處，所述安裝架設置于臺面的拐角處且與旋轉中心件呈對角結構設置，所述導向槽設置于安裝架的一側，所述電動微動平臺設置于安裝架的一側，所述調整受力中心件設置于電動微動平臺的一側，所述調整受力中心件與旋轉中心件呈中心共線結構設置。

4、優(yōu)選的，所述外層槽板的一側設置有內層槽板，所述內層槽板的一側設置有若干階梯槽，所述階梯槽內設置有掩膜版。

5、優(yōu)選的，所述臺面的下側拐角處均設置有支撐件。

6、優(yōu)選的，所述旋轉中心件包括螺套及螺柱，所述螺套設置于安裝槽內拐角處，所述螺柱設置于外層槽板的拐角處，所述螺柱與螺套之間轉動連接設置。

7、優(yōu)選的，所述調整受力中心件包括螺釘、兩個軸承及隔套，所述螺釘設置于導向槽內，兩個所述軸承套接在螺釘的外側，所述隔套設置于兩個所述軸承之間。

8、優(yōu)選的，所述外層槽板與臺面之間設置有調整間隙。

9、綜上所述本發(fā)明，通過旋轉中心件與調整受力中心件的中心共線結構設置，使得在進行掩膜板位置調整時，受力更加均勻、直接，能夠精確地控制外層槽板的旋轉角度，從而實現(xiàn)對掩膜板的高精度定位。例如，在半導體制造等對精度要求極高的領域，該機構能夠將掩膜板的定位誤差控制在極小的范圍內，提高產品的質量和性能。

10、電動微動平臺能夠提供微小而精確的位移，進一步提高了定位的精度?？梢愿鶕嶋H需求進行精細的調整，滿足不同應用場景下對掩膜板定位精度的要求。

11、本發(fā)明，安裝槽內壁表面涂抹的鐵氟龍涂層具有極低的摩擦系數，能夠大大減少外層槽板與安裝槽之間的摩擦。在進行旋轉調整時，降低了摩擦損耗，延長了機構的使用壽命。

12、調整受力中心件中的兩個軸承和隔套的設計，使得螺釘在導向槽內的移動更加順暢，減少了摩擦阻力，提高了調整的精度和效率。

13、本發(fā)明，外層槽板一側設置的內層槽板以及若干階梯槽，可以適應不同尺寸和形狀的掩膜板。無論是小型掩膜板還是大型掩膜板，都能夠在該機構中得到穩(wěn)定的定位和調整，提高了機構的通用性和適應性。

14、臺面下側拐角處的支撐件可以保證整個機構的穩(wěn)定性，使其能夠在不同的工作環(huán)境下正常運行。無論是在實驗室還是在工業(yè)生產現(xiàn)場，都能夠為掩膜板的定位提供可靠的支撐。

15、本發(fā)明，通過電動微動平臺的控制，可以實現(xiàn)自動化的定位調整，減少了人工操作的復雜性和誤差。操作人員只需在控制系統(tǒng)中輸入相應的參數，即可實現(xiàn)對掩膜板的精確調整，大大提高了工作效率。

16、旋轉中心件采用螺柱與螺套的轉動連接方式，使得外層槽板的旋轉操作更加順暢、便捷。在需要調整掩膜板角度時，能夠快速、準確地進行操作，節(jié)省了調整時間。

技術特征：

1.一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，其特征在于，包括臺面(1)，

2.根據權利要求1所述的一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，其特征在于，所述外層槽板(3)的一側設置有內層槽板(9)，所述內層槽板(9)的一側設置有若干階梯槽(10)，所述階梯槽(10)內設置有掩膜版(11)。

3.根據權利要求1所述的一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，其特征在于，所述臺面(1)的下側拐角處均設置有支撐件(12)。

4.根據權利要求1所述的一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，其特征在于，所述旋轉中心件(4)包括螺套(41)及螺柱(42)，所述螺套(41)設置于安裝槽(2)內拐角處，所述螺柱(42)設置于外層槽板(3)的拐角處，所述螺柱(42)與螺套(41)之間轉動連接設置。

5.根據權利要求1所述的一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，其特征在于，所述調整受力中心件(8)包括螺釘(81)、兩個軸承(82)及隔套(83)，所述螺釘(81)設置于導向槽(6)內，兩個所述軸承(82)套接在螺釘(81)的外側，所述隔套(83)設置于兩個所述軸承(82)之間。

6.根據權利要求1所述的一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，其特征在于，所述外層槽板(3)與臺面(1)之間設置有調整間隙。

技術總結
本發(fā)明涉及掩膜板定位技術領域，尤其是一種用于掩膜板精確定位的旋轉調節(jié)機構，包括臺面，安裝槽設置于臺面的上側，安裝槽內壁表面涂抹有鐵氟龍涂層，外層槽板設置于安裝槽內，旋轉中心件設置于臺面與外層槽板之間且位于拐角處，安裝架設置于臺面的拐角處且與旋轉中心件呈對角結構設置，導向槽設置于安裝架的一側，電動微動平臺設置于安裝架的一側，調整受力中心件設置于電動微動平臺的一側，調整受力中心件與旋轉中心件呈中心共線結構設置，通過旋轉中心件與調整受力中心件的中心共線結構設置，使得在進行掩膜板位置調整時，受力更加均勻、直接，能夠精確地控制外層槽板的旋轉角度，從而實現(xiàn)對掩膜板的高精度定位。

技術研發(fā)人員：郝明毅,圖姆比科·姆布齊,莫子穎
受保護的技術使用者：深圳市創(chuàng)視微端智能有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2025/4/24