本發明屬于運輸裝置，具體涉及在輸送機之間轉移物件的裝置，尤其涉及一種花籃循環方法。

背景技術：

1、在硅片制造加工領域中，硅片需要經過多道工序處理，而目前應用在硅片制造加工系統中的循環輸送設備采用單層輸送模式，導致機構臃腫，占用空間大，需要大量資源對設備進行維護。

2、因此，亟需開發一種新的花籃循環方法，以解決如何克服硅片制造加工系統中循環輸送設備采用單層輸送所導致占用空間大的技術問題。

3、需要說明的是，本背景技術部分中公開的以上信息僅用于理解本申請構思的背景技術，因此，并不認為上述描述構成現有技術的信息。

技術實現思路

1、本公開實施例至少提供一種花籃循環方法。

2、第一方面，本公開實施例提供了一種花籃循環方法，其包括：依次將下層空間的花籃抬升至上層空間，并放置于未完成工藝等待區；當未完成工藝等待區處花籃的數量達到設定值時，橫向搬運各花籃至相應工藝區進行處理，直至將各花籃放置于已完成工藝放置區；將已完成工藝放置區處各花籃依次移送下層空間。

3、在一種可選的實施方式中，垂直下落至下層空間的花籃，且花籃經轉向180度后，花籃再次垂直抬升至上層空間。

4、在一種可選的實施方式中，在下層空間依次設置第一傳輸機構、第一旋轉機構和第二傳輸機構；第一傳輸機構接取從上層空間垂直下落的花籃，并平移運輸至第一旋轉機構；花籃經第一旋轉機構轉向180度，經第二傳輸機構平移運輸直至被再次垂直抬升至上層空間。

5、在一種可選的實施方式中，第一傳輸機構的一側設置有第一升降機構，以使第一傳輸機構接取由第一升降機構從上層空間垂直下落的花籃。

6、在一種可選的實施方式中，第二傳輸機構的一側設置有第二升降機構，以使第二升降機構將第二傳輸機構運輸的花籃抬升至上層空間。

7、在一種可選的實施方式中，在未完成工藝等待區設置第一擺料機構；第一擺料機構依次接取由第二升降機構抬升至上層空間的花籃，并帶動各花籃平移，直至在第一擺料機構上排列的各花籃的數量達到設定值。

8、在一種可選的實施方式中，在已完成工藝放置區設置第二擺料機構，且第一擺料機構與第二擺料機構平行；通過龍門夾爪橫向搬運第一擺料機構上各花籃至相應工藝區進行處理，直至龍門夾爪將各花籃放置于第二擺料機構，且經第二擺料機構平移運輸直至各花籃被依次垂直下落至下層空間。

9、在一種可選的實施方式中，從第二擺料機構輸出的花籃經轉向后移送至第一升降機構，且由第一升降機構帶動相應花籃垂直下落至下層空間。

10、在一種可選的實施方式中，第一升降機構、第二升降機構分別位于第一擺料機構的兩側；在第二擺料機構與第一升降機構之間設置至少一個旋轉機構，以使相應旋轉機構帶動花籃轉向后移送至第一升降機構。

11、在一種可選的實施方式中，在第二擺料機構與第一升降機構之間依次設置第二旋轉機構、第三旋轉機構；第二旋轉機構、第三旋轉機構分別帶動花籃轉向90度，以將花籃移送至第一升降機構。

12、本發明的有益效果是，本發明通過設置下層空間、上層空間完成對花籃的循環輸送，充分利用縱向空間，下層空間與上層空間采用垂直輸送，下層空間、上層空間中進行轉向設置，實現對花籃的快速流轉，具有節約空間、體積小、集成度高、整體性強、傳輸效率高的優點。

13、本發明的其他特征和優點將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實施本發明而了解。本發明的目的和其他優點在說明書、權利要求書以及附圖中所特別指出的結構來實現和獲得。

14、為使本發明的上述目的、特征和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，并配合所附附圖，作詳細說明如下。

技術特征：

1.一種花籃循環方法，其特征在于，包括：

2.如權利要求1所述的花籃循環方法，其特征在于，

3.如權利要求2所述的花籃循環方法，其特征在于，

4.如權利要求3所述的花籃循環方法，其特征在于，

5.如權利要求4所述的花籃循環方法，其特征在于，

6.如權利要求5所述的花籃循環方法，其特征在于，

7.如權利要求6所述的花籃循環方法，其特征在于，

8.如權利要求7所述的花籃循環方法，其特征在于，

9.如權利要求8所述的花籃循環方法，其特征在于，

10.如權利要求9所述的花籃循環方法，其特征在于，

技術總結
本發明屬于運輸裝置技術領域，具體涉及一種花籃循環方法，本花籃循環方法包括：依次將下層空間的花籃抬升至上層空間，并放置于未完成工藝等待區；當未完成工藝等待區處花籃的數量達到設定值時，橫向搬運各花籃至相應工藝區進行處理，直至將各花籃放置于已完成工藝放置區；將已完成工藝放置區處各花籃依次移送下層空間；本發明通過設置下層空間、上層空間完成對花籃的循環輸送，充分利用縱向空間，下層空間與上層空間采用垂直輸送，下層空間、上層空間中進行轉向設置，實現對花籃的快速流轉，具有節約空間、體積小、集成度高、整體性強、傳輸效率高的優點。

技術研發人員：李中清,趙禮煜,汪蒙蒙,上官泉元
受保護的技術使用者：常州比太科技有限公司
技術研發日：
技術公布日：2025/4/28