專利名稱:一種利于定向凝固的散熱平臺的制作方法
技術領域:
本實用新型涉及多晶硅鑄錠爐技術領域,尤其是多晶硅鑄錠爐熱場保溫技術領域。
技術背景 多晶硅鑄錠爐隔熱籠包括頂板、底板和四周的側板,且隔熱籠側板分為上下兩部分和內外兩層,隔熱籠上部分內側隔熱板離側面加熱器較近且隔熱板為石墨碳氈材料,長時間高溫燒烤后隔熱板會出現嚴重粉化;當隔熱籠側板上下運動時,側板與頂板書摩擦使粉化的石墨粉滑落。長此下去側面內側隔熱板就會變薄,進而影響隔熱籠的整體保溫效果,導致運行時加熱功率増加和熱場的溫度梯度出現不均勻,從而導致硅錠長晶時出現陰影。滑落的石墨粉進入粉化的硅液中,使硅錠的碳化物嚴重超標。為了保證爐子的正常使用和硅錠的質量指標,隔熱籠上部分內側保溫板使用I年左右就需要更換。這樣,無疑増加了成本,且在一定程度上影響生產進度。因此解決好此問題很有必要。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供ー種利于定向凝固的散熱平臺。為了達到上述目的,本實用新型的技術方案是,ー種利于定向凝固的散熱平臺陶瓷石墨結構支撐柱位置平臺四角,有效避開熱均衡器散熱位置,開關結構位于支撐柱內側,不用額外開孔來避開支撐柱;按照散熱位置的實際需求對散熱平臺做切削打磨處理,使中心部位散熱加快,周邊呈現蓄熱保溫效果。根據坩堝底部尺寸對石墨平臺進行切削,并使切削后的平臺更加符合晶體垂直生長所需的熱場梯度變化,實現對晶體生長過程的溫度梯度控制。所述散熱平臺中心厚度減薄,平臺中心向外呈現階梯狀(或平滑)增厚。所述支撐柱采用專利“一種陶瓷石墨結構的支撐柱”,改變原來三根支撐方式為四角支撐。本實用新型與現有技術相比,具有以下優點一、散熱平臺中心厚度減薄,平臺中心向外呈現階梯狀(或平滑)增厚,以便增加平臺散熱面積,并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量,能夠快遞反映到坩堝底部,以使得中心點散熱較邊緣加快,形成從中心向邊緣散熱的過程,從而使得爐內籽晶得到良好的保護的同吋,使得晶體生長過程得到有效控制,晶體生長垂直性得到優化ニ、支撐柱采用專利“ー種混合材質的支撐柱”,改變原來三根支撐方式為四角支撐使得石墨平臺更加容易調整,并使下部散熱的均衡性得到提高,避開了原設計中石墨柱支撐點靠近中心位置,下部開關設計在支撐柱內側既可完成開合及散熱效果,下部保溫處理更加易于處理,從而増加了保溫效果達到節能效果。
[0010]圖1、圖2為本實用新型的結構示意圖;圖3、圖4、圖5、圖6為本實用新型的其它形狀的階梯狀散熱平臺示意圖。
具體實施方式
以下結合結構示意圖對本實用新型作進ー步詳細說明。圖1、圖2為本實用新型的結構示意圖,如圖1、圖2所示,散熱平臺I為階梯狀分布,其底部1-1經切削處理為槽型(或穹頂)結構,上部為石墨構件1-2,増加平臺散熱面積,并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量;四角為支撐柱2,使得石墨平臺更加容易調整,并使下部散熱的均衡性得到提高;在平臺兩邊預留叉車插入口 3,利于鑄錠后的處理工作;。圖3、圖4、圖5、圖6為實用新型的其它形狀的階梯狀散熱平臺示意圖。
權利要求1.一種利于定向凝固的散熱平臺,其特征是散熱平臺底部(1-1)為中間高四周低的階梯結構;陶瓷石墨結構支撐柱(2)位于散熱平臺四角。
2.根據權利要求1所述的一種利于定向凝固的散熱平臺,其特征在于中心向外的階梯結構,包括外圓內方、外圓內圓、外方內方、外方內圓、多邊形結構;內部切削方式以階梯狀為主,包括階梯深淺分布、平滑過渡的切削方式。
3.根據權利要求1所述的一種利于定向凝固的散熱平臺,其特征在于開關結構位于支撐柱⑵內側。
專利摘要一種利于定向凝固的散熱平臺,中心厚度減薄,平臺中心向外呈現階梯狀(或平滑)增厚,以便增加平臺散熱面積,并使得中心部位較周邊相比減少蓄熱能力與蓄熱量,能夠快速反映到坩堝底部,以使得中心點散熱較邊緣加快,形成從中心向邊緣散熱的過程從而使得爐內籽晶得到良好保護的同時,使得晶體生長過程得到有效控制,晶體生長垂直性得到優化。同時配合專利“一種陶瓷石墨結構的支撐柱”,改變原來三根支撐方式,改為四角支撐,使得石墨平臺更加容易調整,并使下部散熱的均衡性得到提高,避開了原設計中石墨柱支撐點靠近中心位置,下部開關設計在支撐柱內側既可完成開合并達到所需的散熱效果;有效解決了原來石墨支撐柱對運動隔板的影響,使得下部保溫裝置更加易于處理,從而增加了保溫效果達到節能效果。
文檔編號C30B28/06GK202881447SQ201220417069
公開日2013年4月17日 申請日期2012年8月13日 優先權日2012年8月13日
發明者王有林, 張春慶, 王星, 王水林 申請人:王有林