1.一種碳化硅板刻劃方法，所述方法包括如下步驟：首先在刻劃開始時在刻劃起始點處刻劃出凹痕；以及從所述凹痕內開始刻劃。
2.一種碳化硅板刻劃方法，所述方法包括如下步驟：在刻劃開始時，首先致使切割輪在所述切割輪于刻劃起始點處與碳化硅板壓接的狀態下轉動或擺動，由此在所述起始點處刻劃出凹痕；隨后從所述凹痕內開始刻劃。
3.一種碳化硅板刻劃方法，所述方法包括如下步驟：在刻劃開始時，首先致使與切割輪單獨設置的金剛石刻劃針在所述金剛石刻劃針于刻劃起始點處與碳化硅板壓接的狀態下轉動或擺動，由此刻劃出凹痕；隨后致使所述切割輪在所形成的凹痕處與所述碳化硅板壓接；從所述凹痕內開始刻劃。
4.一種刻劃設備，包括：刻劃頭部，所述刻劃頭部具有切割輪，并且適合于通過使所述切割輪在與碳化硅板壓接的狀態下滾動來刻劃處刻劃線；以及金剛石劃針單元，所述金剛石劃針單元具有金剛石刻劃針，并且致使所述金剛石刻劃針與所述碳化硅板壓接，以便由此刻劃出凹痕。