技術(shù)總結(jié)
刻劃設(shè)備包括：水平工作臺(3)，碳化硅板(2)在真空抽吸作用下固定在該水平工作臺(3)上；進(jìn)給螺紋(5)和Y軸控制電動機(jī)(6)，該進(jìn)給螺紋(5)和Y軸控制電動機(jī)(6)用于使水平工作臺(3)在刻劃數(shù)字控制下沿著成對引導(dǎo)軌道(4、4)移動；引導(dǎo)軌道裝置本體(7)，該引導(dǎo)軌道裝置本體(7)沿著X軸方向安裝在水平工作臺(3)上方；支架(8)，該支架(8)安裝在引導(dǎo)軌道裝置本體(7)上，以便在被引導(dǎo)的同時沿X軸方向移動；進(jìn)給螺紋和X軸控制電動機(jī)(9)，該進(jìn)給螺紋和X軸控制電動機(jī)(9)用于使支架(8)在數(shù)字控制下沿X軸方向移動；以及刻劃頭部(10)，該刻劃頭部(10)安裝在支架(8)上。

技術(shù)研發(fā)人員：坂東和明
受保護(hù)的技術(shù)使用者：坂東機(jī)工株式會社
文檔號碼：201610979364
技術(shù)研發(fā)日：2011.01.07
技術(shù)公布日：2017.05.10