專利名稱：側(cè)翻式機(jī)械手的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種機(jī)械手，特別是涉及一種側(cè)翻式機(jī)械手。
背景技術(shù)：
目前，側(cè)翻式機(jī)械手末端主要采用氣缸夾緊、電機(jī)經(jīng)過帶輪減速后與旋轉(zhuǎn)軸相連接的結(jié)構(gòu)形式，氣缸的初始位置是縮進(jìn)，卡爪也隨之處于退回位置，抓取晶圓片時，卡爪隨氣缸伸出，夾緊晶圓片，然后電機(jī)帶動旋轉(zhuǎn)軸一起轉(zhuǎn)動，晶圓由于受到卡爪的夾緊力因而不
會掉落。這種結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)是電機(jī)傳動部分、氣動相關(guān)部件占用很大空間，而且增加了側(cè)翻式機(jī)械手末端的質(zhì)量，一般在3kg左右，嚴(yán)重影響了手臂運(yùn)行時的平穩(wěn)性以及手指的定位精度；同時該結(jié)構(gòu)形式復(fù)雜，零部件數(shù)量較多，經(jīng)濟(jì)性不好。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種通過電機(jī)直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸的側(cè)翻式機(jī)械手。一種側(cè)翻式機(jī)械手，包括有殼體、電機(jī)、旋轉(zhuǎn)軸及用以抓取晶圓片的手指，所述手指直接固定在旋轉(zhuǎn)軸上，所述電機(jī)固定在所述殼體內(nèi)并具有轉(zhuǎn)動軸，所述旋轉(zhuǎn)軸安裝在殼體的一端且與所述轉(zhuǎn)動軸固定一起，所述電機(jī)在驅(qū)使轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動時能夠帶動旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。在一實(shí)施方式中，所述旋轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)動軸是通過鍵固定一起。在一實(shí)施方式中，所述手指與旋轉(zhuǎn)軸各開設(shè)有氣路通道，所述手指的氣路通道與所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道氣路連接，且所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道與一個直通相連，所述直通位于所述殼體外部，用以連接一個氣管。在一實(shí)施方式中，所述手指與旋轉(zhuǎn)軸各開設(shè)有氣路通道，所述手指的氣路通道與所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道氣路連接，且所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道通過一個彎頭與一條盤繞在所述殼體內(nèi)的氣管相連，所述彎頭位于所述殼體內(nèi)部。在一實(shí)施方式中，所述手指是通過所述氣路通道而使其能夠?qū)⒕A片牢牢吸附住。在一實(shí)施方式中，所述殼體包括有用以收容電機(jī)的本體，所述本體的前端固定有安裝板，所述旋轉(zhuǎn)軸通過滾動軸承與所述安裝板轉(zhuǎn)動固定一起。在一實(shí)施方式中，所述旋轉(zhuǎn)軸的后端固定有軸端壓緊環(huán)，所述軸端壓緊環(huán)位于所述殼體內(nèi)并抵靠在所述滾動軸承上。在一實(shí)施方式中，所述殼體還包括有端蓋，所述端蓋固定在所述安裝板的前端，并套在所述旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸上套設(shè)有旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈，用以密封所述安裝板與所述旋轉(zhuǎn)軸之間的間隙，所述端蓋抵靠在所述旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈的前端上，用以阻旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈脫離旋轉(zhuǎn)軸。在一實(shí)施方式中，所述旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈位于所述端蓋與所述滾動軸承之間。在一實(shí)施方式中，所述側(cè)翻式機(jī)械手還包括底座，所述殼體固定在底座上，所述底座上設(shè)有用以調(diào)平的螺絲。與現(xiàn)有技術(shù)相比，在上述側(cè)翻式機(jī)械手中，通過電機(jī)能夠直接驅(qū)動旋轉(zhuǎn)軸，以帶動手指完成側(cè)翻，從而使手指在側(cè)翻時更平穩(wěn)性、定位精度也更高，另外，上述側(cè)翻式機(jī)械手由于零部件數(shù)量較少，因此成本較低、經(jīng)濟(jì)性好。


圖1是本發(fā)明側(cè)翻式機(jī)械手的一較佳實(shí)施方式的一主視圖。圖2是圖1的俯視圖。圖3是圖1的左視圖。圖4是圖1的剖視圖。圖5是本發(fā)明側(cè)翻式機(jī)械手的另一較佳實(shí)施方式的一剖視圖。主要元件符號說明
權(quán)利要求
1.一種側(cè)翻式機(jī)械手，包括有殼體、電機(jī)、旋轉(zhuǎn)軸及用以抓取晶圓片的手指，其特征在于:所述手指直接固定在旋轉(zhuǎn)軸上，所述電機(jī)固定在所述殼體內(nèi)并具有轉(zhuǎn)動軸，所述旋轉(zhuǎn)軸安裝在殼體的一端且與所述轉(zhuǎn)動軸固定一起，所述 電機(jī)在驅(qū)使轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動時能夠帶動旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。
2.如權(quán)利要求1所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)軸與轉(zhuǎn)動軸是通過鍵固定一起。
3.如權(quán)利要求1所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述手指與旋轉(zhuǎn)軸各開設(shè)有氣路通道，所述手指的氣路通道與所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道氣路連接，且所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道與一個直通相連，所述直通位于所述殼體外部，用以連接一個氣管。
4.如權(quán)利要求1所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述手指與旋轉(zhuǎn)軸各開設(shè)有氣路通道，所述手指的氣路通道與所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道氣路連接，且所述旋轉(zhuǎn)軸的氣路通道通過一個彎頭與一條盤繞在所述殼體內(nèi)的氣管相連，所述彎頭位于所述殼體內(nèi)部。
5.如權(quán)利要求3或4所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述手指是通過所述氣路通道而使其能夠?qū)⒕A片吸附。
6.如權(quán)利要求1所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述殼體包括有用以收容電機(jī)的本體，所述本體的前端固定有安裝板，所述旋轉(zhuǎn)軸通過滾動軸承與所述安裝板轉(zhuǎn)動固定一起。
7.如權(quán)利要求6所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)軸的后端固定有軸端壓緊環(huán)，所述軸端壓緊環(huán)位于所述殼體內(nèi)并抵靠在所述滾動軸承上。
8.如權(quán)利要求7所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述殼體還包括有端蓋，所述端蓋固定在所述安裝板的前端，并套在所述旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸上套設(shè)有旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈，用以密封所述安裝板與所述旋轉(zhuǎn)軸之間的間隙，所述端蓋抵靠在所述旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈的前端上，用以阻旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈脫離旋轉(zhuǎn)軸。
9.如權(quán)利要求8所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)彈簧張力密封圈位于所述端蓋與所述滾動軸承之間。
10.如權(quán)利要求1所述的側(cè)翻式機(jī)械手，其特征在于:所述側(cè)翻式機(jī)械手還包括底座，所述殼體固定在底座上，所述底座上設(shè)有用以調(diào)平的螺絲。
全文摘要
一種側(cè)翻式機(jī)械手，包括有殼體、電機(jī)、旋轉(zhuǎn)軸及用以抓取晶圓片的手指，所述手指直接固定在旋轉(zhuǎn)軸上，所述電機(jī)固定在所述殼體內(nèi)并具有轉(zhuǎn)動軸，所述旋轉(zhuǎn)軸安裝在殼體的一端且與所述轉(zhuǎn)動軸固定一起，所述電機(jī)在驅(qū)使轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動時能夠帶動旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。上述側(cè)翻式機(jī)械手能夠使手指在側(cè)翻時更平穩(wěn)性、定位精度也更高，另外，由于上述側(cè)翻式機(jī)械手零部件數(shù)量較少，因此成本較低、經(jīng)濟(jì)性好。
文檔編號B25J9/08GK103192375SQ201210002320
公開日2013年7月10日 申請日期2012年1月5日 優(yōu)先權(quán)日2012年1月5日
發(fā)明者徐方, 曲道奎, 李學(xué)威, 周道, 溫燕修, 何書龍, 鄭鋆, 王魯非 申請人:沈陽新松機(jī)器人自動化股份有限公司