專利名稱：液體噴射頭及液體噴射裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及從噴嘴吐出液體而在被記錄介質形成圖像、字符或者薄膜材料的液體噴射頭、使用該液體噴射頭的液體噴射裝置。
背景技術：
近年來，將墨滴吐出至記錄紙等而描繪字符、圖形，或者將液體材料吐出至元件基板的表面而形成功能性薄膜的噴墨方式的液體噴射頭得到利用。該方式將墨、液體材料從液體罐經由供給管供給至液體噴射頭，并使填充于通道的墨、液體材料從與通道連通的噴嘴吐出。在吐出墨時，使液體噴射頭、記錄噴射的液體的被記錄介質移動，記錄字符、圖形，或者形成既定形狀的功能性薄膜。例如在專利文獻I中記載有這種液體噴射頭。圖9是示出專利文獻I所記載的打印頭101的墨的流路的概略的圖(專利文獻I的圖2)。在打印頭101的下部設置有向下方吐出墨的墨吐出噴嘴201、以及將墨供給至該墨吐出噴嘴201的噴嘴液室202。在打印頭101的上部的右側設置有將墨供給至噴嘴液室202的出(OUT)液室301、以及將墨經由頭過濾器203供給至出液室301的進(IN)液室204。垂直或者傾斜地配置頭過濾器203。壓送至管114的墨流入至進液室204的下部，并從進液室204的上部流出至管115。出液室301與進液室204之間設置有頭過濾器203，構成為墨經由管114、進液室204及管115而進行循環。另外，相對于噴嘴液室202將出液室301設置于上方。由此，清洗時氣泡不通過頭過濾器203，而利用氣泡的浮力隨著墨的循環排出至外部。因此，與以往比較能夠顯著地減少循環清洗所使用的墨流量。專利文獻1:日本特開2004-351641號公報。

發明內容
在上述現有例中，設置于進液室204與出液室301之間的頭過濾器203是為了除去混入至墨的塵埃而設置的。然而，如果在墨流入部與墨吐出噴嘴201之間插入頭過濾器203，則流入的墨的壓力損失變大，示出用于穩定地吐出墨的條件范圍的打印穩定區域變窄。例如，能夠穩定地打印的電壓范圍變窄。另外，隨著使用打印頭101，氣泡附著并積累于頭過濾器203的進液室204，頭過濾器203的有效面積下降而在噴嘴液室202側產生墨的供給不足。而且，積累于進液室204的氣泡穿過頭過濾器203而流出至噴嘴液室202，成為點缺少等打印質量下降的原因。本發明是鑒于上述課題而做出的，其目的在于提供防止由于打印穩定區域變窄，或氣泡積累等導致吐出特性變差的液體噴射頭。本發明的液體噴射頭具備頭芯片，層疊形成有液體吐出用的通道的致動器基板和形成用于將液體供給至所述通道的液體供給室的蓋板；以及流路部件，設置于所述蓋板并將液體供給至所述液體供給室，所述流路部件具備流入液體的流入口、流出液體的流出口、以及使液體從所述流入口至所述流出口循環的循環路，過濾器不介于所述流入口或所述流出口與所述通道之間的任意流路。另外，在所述致動器基板的所述蓋板一側的表面排列有多個所述通道，所述液體供給室與所述通道連通并在所述通道的排列方向形成為長尺狀，所述循環路與液體流動的方向正交的方向的截面積比與所述液體供給室的長度方向正交的方向的截面積更大。另外，所述液體供給室在所述蓋板的所述流路部件側的表面開口，所述循環路在所述流路部件的所述蓋板側的表面開口，并且所述循環路的開口以與所述液體供給室的開口重疊的方式設置。另外，與所述循環路的液體流動的方向正交的方向的截面積從上游側向下游側逐漸變小。另外，所述頭芯片具有層疊第一頭芯片和第二頭芯片的結構。另外，所述第一頭芯片和所述第二頭芯片具有致動器基板彼此相對并接合的對稱結構，所述流路部件包含設置于所述第一頭芯片的第一流路部件、以及設置于所述第二頭芯片的第二流路部件，所述頭芯片具備從所述第一流路部件一側貫通至所述第二流路部件一側的流入貫通孔和流出貫通孔，并且所述第二流路部件經由所述流入貫通孔從所述第一流路部件流入液體，并經由所述流出貫通孔將液體流出至所述第一流路部件。另外，所述第一頭芯片和所述第二頭芯片具有致動器基板彼此相對并接合的對稱結構，所述流路部件包含設置于所述第一頭芯片的第一流路部件、以及設置于所述第二頭芯片的第二流路部件，并且所述第一流路部件和所述第二流路部件具有夾著所述第一及第二頭芯片對稱的結構。另外，在重力方向上所述循環路比所述液體供給室靠上方位置設置。本發明的液體噴射裝置具備上述任一個所記載的液體噴射頭、使所述液體噴射頭往復移動的移動機構、將液體供給至所述液體噴射頭的液體供給管、以及將所述液體供給至所述液體供給管的液體罐。本發明的液體噴射頭具備頭芯片，層疊形成有液體吐出用的通道的致動器基板和形成用于將液體供給至通道的液體供給室的蓋板；以及流路部件，設置于蓋板并將液體供給至液體供給室，流路部件具備流入液體的流入口、流出液體的流出口、以及使液體從流入口至流出口循環的循環路，過濾器不介于流入口或流出口與通道之間的任意流路。由此，混入流入的液體中的氣泡、塵埃經由循環路從流出口流出。另外，因為過濾器不介于流入口或流出口與通道之間，所以能夠提供防止氣泡積累于過濾器而流路截面積逐漸減少，或由于過濾器的壓力損失吐出穩定區域縮小的情況的液體噴射頭。


圖1是表示本發明所涉及的液體噴射頭的基本結構的概念圖。圖2是本發明的第一實施方式所涉及的液體噴射頭的示意性的分解立體圖。圖3是本發明的第二實施方式所涉及的液體噴射頭的縱截面示意圖。圖4是本發明的第三實施方式所涉及的液體噴射頭的頭芯片部的縱截面示意圖。圖5是本發明的第三實施方式所涉及的液體噴射頭的立體圖。圖6是本發明的第四實施方式所涉及的液體噴射頭的頭芯片部的縱截面示意圖。圖7是本發明的第五實施方式所涉及的液體噴射頭的頭芯片部的縱截面示意圖。
圖8是本發明的第六實施方式所涉及的液體噴射裝置的示意性的立體圖。圖9是示出現有公知的打印頭的墨的流路的概略的圖。附圖標記說明
I液體噴射頭；2頭芯片；3致動器基板；4蓋板；5通道；6液體供給室；7流路部件；8流入口 ；9流出口 ；10循環路；11噴嘴；12連通口 ；13噴嘴板；14流入連接部；15流出連接部；25頭芯片部；30液體噴射裝置。
具體實施例方式圖1是表示本發明所涉及的液體噴射頭I的基本結構的概念圖。液體噴射頭I具備頭芯片2、以及設置于蓋板4并將液體供給至液體供給室6的流路部件7，其中，頭芯片2具備形成有液體吐出用的多個通道5的致動器基板3、以及形成有用于將液體供給至這些通道5的液體供給室6的蓋板4。流路部件7具備流入液體的流入口 8、流出液體的流出口 9、從流入口 8至流出口9使液體循環的循環路10、以及用于將液體供給至液體供給室6的連通口 12。液體經由連通口 12從流路部件7供給至蓋板4的液體供給室6。從液體供給室6供給至各通道5的液體從致動器基板3的噴嘴11吐出。過濾器不介于流入口 8與多個通道5之間、或流出口 9與多個通道5之間的任意流路。由于該結構，混入從流入口 8流入的液體中的氣泡、塵埃經由循環路10從流出口9流出。而且，因為過濾器不介于流入口 8、流出口 9與多個通道5之間，所以能夠防止氣泡積累于過濾器而流路截面積逐漸減少，或由于過濾器的壓力損失示出用于使液體穩定地吐出的條件范圍的吐出穩定區域縮小的情況。此外，雖然在圖1所示的液體噴射頭I中經由連通口 12連續地形成有流路部件7的循環路10和液體供給室6，但本發明不限于該方式，也可以在流路部件7的循環路10與蓋板4的液體供給室6之間設置分離壁，并在該分離壁設置使循環路10與液體供給室6連通的連通口 12。在該情況下，如果在流入口 8 一側與流出口 9 一側這兩側設置連通口 12，則能夠使液體供給室6作為循環路起作用。此外，如圖1所示，由于通過連續地形成液體供給室6和循環路10而液體供給室6也作為循環路起作用，所以能夠進一步發揮本發明的效果O另外，如果使與循環路10的液體流動的方向正交的方向的截面積SI比與液體供給室6的通道5排列的方向正交的方向的截面積S2更大，則與液體供給室6相比更多的液體流過循環路10 (液體供給室6在通道5排列的方向具有長尺狀的細長形狀)。因此，從流入口 8流入的氣泡、塵埃經由循環路10從流出口 9流出，氣泡、塵埃難以堵塞于噴嘴11。另外，如果在重力方向上將循環路10比所述液體供給室6靠上方位置設置，則t匕液體輕的氣泡不流入液體供給室6，而經由循環路10從流出口 9流出。因此，與以往相比能夠大幅度地減少清洗時的液體的廢棄量。此外，在以噴嘴11相對于未圖示的被記錄介質位于重力方向的下方位置的方式配置液體噴射頭I的情況下，通過以相對循環路10位于重力方向的上方位置的方式配置流出口 9，能夠更有效地將氣泡從液體供給室6、循環路10排除。在該情況下，關于流入口 8與循環路10連通的方向，以怎樣的方向連接都可以。該具體的方式記載于以下的第一實施方式。
(第一實施方式)
圖2是本發明的第一實施方式所涉及的液體噴射頭I的示意性的分解立體圖。如圖2所示，液體噴射頭I包括致動器基板3、接合于致動器基板3上的蓋板4、以及接合于蓋板4上的流路部件7。在致動器基板3的表面形成有平行的多個槽。通過將蓋板4接合至致動器基板3而構成通道5。致動器基板3和蓋板4的各前方端面接合有具有與各通道5連通的噴嘴11的噴嘴板13。液體供給室6設置于蓋板4的后方一側，與各通道5的后方端連通，能將液體供給至各通道5。液體供給室6在流路部件7—側開口。在致動器基板3及蓋板4的前方端接合有噴嘴板13。頭芯片2由致動器基板3、蓋板4和噴嘴板13構成。在噴嘴板13形成有多個噴嘴11，各噴嘴11分別與通道5連通。鄰接的通道5由側壁16隔開，在側壁16的側面形成有驅動電極。驅動電極與形成于致動器基板3的后方端的表面的電極端子17電連接。在流路部件7的內部形成有循環路10和其他流路(例如流入口 8與液體供給室6之間的流路)，在流入口 8設置有流入連接部14，在流出口 9設置有流出連接部15。循環路10在蓋板4 一側開口。以循環路10的開口與液體供給室6的開口重疊的方式接合流路部件7與蓋板4。因此，循環路10與液體供給室6相接，液體供給室6也具有將液體供給至通道5的功能和作為使從流入口 8流入的液體流出至流出口 9的循環路的功能。液體噴射頭I如下地進行動作。從未圖示的液體存積部供給至流入連接部14的液體，例如墨，從與流入連接部14連通的流入口 8引入至流路部件7。引入至流路部件7的液體的一部分流入液體供給室6，供給至各通道5。引入至流路部件7的液體的殘余流過循環路10而流出至流出口 9，經由流出連接部15返回未圖示的液體存積部。然后，由未圖示的驅動部生成的驅動信號供給至致動器基板3的電極端子17，并施加至形成于側壁16的側面的驅動電極。側壁16按照施加的驅動信號而變形，通道5的內容積變化，填充至通道5的液體從噴嘴11吐出。在本第一實施方式中，液體從流入口 8的X方向向循環路10流入，沿流出口 9的-X方向流出，并從噴嘴11沿X方向吐出。另外，由于通道5沿y方向排列，所以液體供給室6在I方向具有長的長尺狀的形狀。流路部件7的循環路10與液體供給室6同樣在y方向具有長的長尺形狀。在液體噴射頭I中，液體的流入、流出的方向和液滴的吐出方向全都為X方向，并且能夠較薄地形成與液體的流入、流出及吐出方向正交的z方向的厚度。在此，如果與液體供給室6的長度方向正交的Xz平面的截面積S2相比更大地形成與循環路10的液體流動的方向正交的XZ平面的截面積SI，則循環路10的流路截面積比液體供給室6的流路截面積大。因此，即使在氣泡、塵埃混入至從流入口 8流入的液體中的情況下，與液體供給室6相比，液體更多地流過循環路10并從流出口 9流出。因此，氣泡、塵埃難以滯留于液體供給室6，從而降低堵塞噴嘴11而成為點缺少的缺陷的發生。另外，如果在重力方向上將循環路10比液體供給室6靠上方位置設置，則從流入口 8流入的氣泡流過上方位置的循環路10并從流出口 9流出，而不浸入至液體供給室6。因此，能夠消除氣泡堵塞于噴嘴11而成為點缺少的缺陷的發生。例如在相對于重力方向以X方向為下方、-X方向為上方的方式設置液體噴射頭I的情況下，將循環路10的上端kl形成為相對液體供給室6的上端k2位于上方位置。由此，能夠以從流入口 8流入的氣泡流過循環路10，而不流入液體供給室6的方式構成。此外，在本實施方式中，雖然示出了噴嘴11的配置沿通道5的并列方向呈一直線的方式，但噴嘴的配置也能為鋸齒形排列，也能采用三個噴嘴11沿通道5的深度方向以期望的距離互相錯開位置，該噴嘴群成為一組并驅動的方式(三周期型，three cycle type)。另外，在本實施方式中，雖然示出了全部的通道5與液體供給室6連通的方式(壁共有型)，但也能在通道5之中形成供給液體的通道和不供給液體的通道。在該情況下，液體供給室6在通道5開口的位置設有狹縫，該狹縫以在想要供給液體的通道5開口的方式形成。因為壁共有型難以從相鄰的通道同時吐出液體，所以適當地采用這些變形例即可。(第二實施方式)
圖3是本發明的第二實施方式所涉及的液體噴射頭I的縱截面示意圖。其相當于圖2所示的AA部分的縱截面。與第一實施方式不同的部分是形成于流路部件7的循環路10的形狀，其他部分與第一實施方式相同。如圖3所示，液體噴射頭I具備致動器基板3、蓋板4及流路部件7層疊的結構。致動器基板3具備并列于其上表面的多個通道5，各通道5與形成于蓋板4的液體供給室6連通。頭芯片2由致動器基板3和蓋板4構成。流路部件7具備在頭芯片2側的表面開口的循環路10，并且在-X方向的端面的-y方向側具備流入口 8，在-X方向的端面的+y方向側具備流出口 9，其中流入口 8和流出口9分別與循環路10連通。而且，循環路10具有與液體的流動(向+y方向的流動)正交的方向的截面積Sx從流入口 8的一側向流出口 9的一側逐漸變小的形狀。此外，與液體供給室6的長度方向正交的方向的截面積S2比從流入口 8側向流出口 9側緩緩變小的截面積Sx(最小的截面積Sx)小。由此，在從噴嘴11吐出液體的情況下，雖然液體隨著沿y方向流動而消耗，但由于循環路10的流路截面積從液體的流入側向流出側變窄，所以能夠將循環路10內的流速與各通道5的內部壓力從流入側至流出側維持在既定值以上。其結果是，能夠從液體的流入側的通道至流出側的通道均等化液體的吐出條件。另外，能夠使混入循環路10中的氣泡、塵埃不滯留于循環路10而向流出口 9流出。(第三實施方式)
圖4及圖5是用于說明本發明的第三實施方式所涉及的液體噴射頭I的圖，其中，圖4是頭芯片部25的縱截面示意圖，圖5是將頭芯片部25組裝于基體21的液體噴射頭I的立體圖。對相同的部分或具有相同功能的部分標記了相同的標號。如圖4所示，在頭芯片部25中，第一頭芯片2a和第二頭芯片2b具有使致動器基板3a、3b彼此相對并接合的對稱結構。即，第一頭芯片2a中，在表面形成有液體吐出用的通道5a的致動器基板3a和具備用于將液體供給至通道5a的液體供給室6a的蓋板4a接合。第二頭芯片2b中，在表面形成有液體吐出用的通道5b的致動器基板3b和具備用于將液體供給至通道5b的液體供給室6b的蓋板4b接合。而且，致動器基板3a和致動器基板3b使通道5a、5b的相反側的表面彼此相對并接合。而且，從形成于蓋板4a的液體供給室6a的一個端部到形成于蓋板4b的液體供給室6b的一個端部，形成有貫通2塊致動器基板3a、3b的流入貫通孔18。另外，從液體供給室6b的另一個端部到液體供給室6a的另一個端部，形成有貫通2塊致動器基板3b、3a的流出貫通孔19。流路部件7a具備流入口 8、流出口 9和在蓋板4a側開口的循環路10a，并以循環路IOa的開口部與液體供給室6a的開口部重疊的方式接合至蓋板4a的表面。流路部件7b具備循環路10b，并以循環路IOb的開口部與液體供給室6b的開口部重疊的方式接合至蓋板4b的表面。從流路部件7a的流入口 8流入的液體填充至蓋板4a的液體供給室6a,供給至致動器基板3a的各通道5a，并經由循環路IOa流出至流出口 9。而且，從流入口 8流入的液體經由流入貫通孔18供給至液體供給室6b，供給至致動器基板3b的通道5b。并且，經由循環路IOb從流出貫通孔19流出至流出口 9。如此，因為形成有2列通道5a、5b,所以能夠進行高密度的記錄。而且，由于在2個液體供給室6a、6b的外側分別設置有循環路10a、10b，所以混入從流入口 8流入的液體中的氣泡、塵埃經由循環路10a、IOb從流出口 9流出。而且，因為過濾器不介于流入口 8、流出口9與多個通道5a、5b之間，所以防止氣泡積累于過濾器而流路截面積逐漸減少，或由于過濾器的壓力損失而吐出穩定區域縮小的情況。此外，如果相對與液體供給室6a連通的通道5a的排列方向正交的方向的截面積更大地形成與循環路IOa的液體流動的方向正交的方向的截面積，則從流入口 8流入的液體比液體供給室6a更多地流過循環路10a。因此，能夠使混入液體中的氣泡、塵埃隨著液體從流出口 9流出，難以滯留于液體供給室6a，從而降低堵塞噴嘴而成為點缺少的缺陷的發生。如果相對與液體供給室6b連通的通道5b的排列方向正交的方向的截面積更大地形成與循環路IOb的液體流動的方向正交的方向的截面積，則同樣能夠使氣泡、塵埃從流出口 9流出，從而降低堵塞噴嘴而成為點缺少的缺陷的發生。另外，如果在重力方向上將循環路10a、10b分別比液體供給室6a、6b靠上方位置設置，則從流入口 8流入的氣泡流過上方位置的循環路10a、IOb并從流出口 9流出，而不流入液體供給室6a、6b。例如，將+X方向作為相對于重力方向的下方位置的方向，將-X方向作為相對于重力方向的上方位置的方向。然后，相對于液體供給室6a、6b以向-X方向突出的方式形成循環路10a、10b即可。此外，形成有流入貫通孔18和流出貫通孔19的位置只要在位于多個通道5的最外側的通道5與在y方向的致動器基板3a、3b的端部之間，無論哪里都可以，另外，如圖4所示，即使與液體供給室6a、6b直接連通也無妨，并且也能在蓋板4a、4b設置隔壁與液體供給室6a、6b隔開。在與液體供給室6a、6b隔開的情況下,在蓋板4a、4b中需要與流入貫通孔18和流出貫通孔19連通的未圖示的孔部，且該孔部分別連通至循環路10a、10b。如圖5所示，將頭芯片部25組裝于基體21。在頭芯片部25設置有液體的流入用的流入連接部14和使液體流出并循環的流出連接部15。在基體21設置有散熱板22和電路基板23。頭芯片部25與散熱板22之間、以及散熱板22與電路基板23之間通過柔性基板20電連接。在散熱板22的背面安裝有未圖示的驅動1C，其基于來自電路基板23的信號生成驅動致動器基板3a、3b的驅動信號。這樣，因為液體從流入口 8的X方向流入循環路10a、10b，沿流出口 9的-χ方向流出，并從噴嘴11沿X方向吐出，所以能夠較薄地形成與X方向正交的Z方向的厚度。從而能夠將多個液體噴射頭I沿Z方向緊湊地配設于滑架(carriage)單元。
(第四實施方式)
圖6是本發明的第四實施方式所涉及的液體噴射頭I的頭芯片部25的縱截面示意圖。與第三實施方式的頭芯片部25不同的部分是流路部件7a、7b的結構，其他與第三實施方式相同，因此以下主要對不同的部分進行說明，對于相同的部分則省略說明。如圖6所示，流路部件7a具備流入口 8和在蓋板4a側開口的循環路10a，并以循環路IOa的開口部與液體供給室6a的開口部重疊的方式接合至蓋板4a的表面。流路部件7b具備在蓋板4b側開口的循環路IOb和流入口 9，并以循環路IOb的開口部與液體供給室6b的開口部重疊的方式接合至蓋板4b的表面。在頭芯片部2a、2b的一個端部與另一個端部形成有貫通蓋板4a、致動器基板3a、致動器基板3b及蓋板4b的流入貫通孔18和流出貫通孔19。因此，從流入口 8流入的液體填充至蓋板4a的液體供給室6a，供給至致動器基板3a的各通道5a，并流過循環路10a。然后，從流入口 8流入的液體經由流入貫通孔18填充至液體供給室6b，供給至致動器基板3b的各通道5b，并流過循環路10b。流過循環路IOb的液體與從循環路IOa流出并流過流出貫通孔19的液體合流并從流出口 9流出。形成于頭芯片部25的流路具有關于通過中心點P的紙面垂直方向的直線呈線對稱的結構。因此，分別流過循環路IOa和循環路IOb的流量相等。另外，因為流路部件7a、7b與頭芯片2a、2b具有相同的形狀，所以能夠共用，并且設計、制造變得簡單。(第五實施方式)
圖7是本發明的第五實施方式所涉及的液體噴射頭I的頭芯片部25的縱截面模式圖。與第三實施方式的頭芯片部25不同的部分是流路部件7a、7b的結構和不形成流入貫通孔18及流出貫通孔19這一點，其他與第三實施方式相同，因此以下主要對不同的部分進行說明，對于相同的部分則省略說明。如圖7所示，流路部件7a具備流入口 8a、在蓋板4a側開口的循環路IOa和流出口 9a。流路部件7b同樣具備流入口 8b、在蓋板4b側開口的循環路IOb和流出口 ％。而且，在蓋板4a、4b及致動器基板3a、3b沒有形成貫通孔。即，具有使在層疊有致動器基板3a和蓋板4a的頭芯片2a之上層疊流路部件7a的2個層疊體翻轉，以貼合致動器基板3a、3b的面Q為基準的面對稱的結構。此外，流入口 8a、8b和流出口 9a、9b在y方向位于相同側。通過這樣形成，變得容易共有位于即將流入至流入口 8a、8b之前的流路管。而且，獨立各層疊體而使液體循環。如果這樣構成，則能夠獨立控制流過2個循環路10a、IOb的流量、以及供給至2個液體供給室6a、6b的液量、壓力，因此能夠降低2個通道5a、5b的吐出特性的偏差。另外，能夠獨立實施清洗等維護。(第六實施方式)
圖8是本發明的第六實施方式所涉及的液體噴射裝置30的示意性的立體圖。液體噴射裝置30具備使液體噴射頭1、I’往復移動的移動機構40、將液體供給至液體噴射頭1、I’的供給管35、35’、從液體噴射頭1、1’回收液體的回收管45、45’、將液體壓送至供給管35、35’的液體泵33、33’和液體罐34、34’。各液體噴射頭1、1’具備多個吐出槽，并從與各吐出槽連通的噴嘴吐出液滴。液體噴射頭1、1’使用已經說明的第一 第五實施方式的任一個。
液體噴射裝置30具備沿主掃描方向輸送紙等被記錄介質44的一對輸送單元41、42、將液體吐出至被記錄介質44的液體噴射頭1、1’、承載液體噴射頭1、1’的滑架單元43、將存積于液體罐34、34’的液體按壓供給至供給管35、35’的液體泵33、33’、以及使液體噴射頭1、1’沿與主掃描方向正交的副掃描方向掃描的移動機構40。未圖示的控制部控制驅動液體噴射頭1、I’、移動機構40、以及輸送單元41、42。一對輸送單元41、42沿副掃描方向延伸，具備接觸輥面且旋轉的柵格輥(gridroller)和壓緊棍(pinch roller)。由未圖示的馬達使柵格棍和壓緊棍沿主掃描方向輸送被轉移到軸周圍而夾入輥間的被記錄介質44。移動機構40具備沿副掃描方向延伸的一對導軌36、37、能夠沿著一對導軌36、37滑動的滑架單元43、連結滑架單元43并使其沿副掃描方向移動的無接頭帶38、以及經由未圖示的滑輪(pulley)使該無接頭帶38旋轉的馬達39。滑架單元43承載多個液體噴射頭1、I’，吐出例如黃色、品紅、青色(cyan)、黑色的4種液滴。液體罐34、34’存積對應的顏色的液體，將其經由液體泵33、33’、供給管35、35’供給至液體噴射頭1、1’，并經由回收管45、45’將液體回收至液體罐34、34’。各液體噴射頭1、I’按照驅動信號吐出各色液滴。在使液體從液體噴射頭1、I’吐出的時刻，通過控制驅動滑架單元43的馬達39的旋轉及被記錄介質44的輸送速度，能夠在被記錄介質44上記錄任意的圖案。因為本發明的液體噴射裝置30在頭芯片的流路部件設有用于使液體循環的循環路，所以混入液體中的氣泡、塵埃經由循環路流出。另外，因為過濾器不介于流入口或流出口與通道之間的任意流路，所以能夠提供不存在氣泡積累于過濾器而流路截面積減少，或由于過濾器的壓力損失而吐出穩定區域縮小情況的液體噴射裝置。
權利要求
1.一種液體噴射頭，具備頭芯片，層疊形成有液體吐出用的通道的致動器基板和形成用于將液體供給至所述通道的液體供給室的蓋板；以及流路部件，設置于所述蓋板并將液體供給至所述液體供給室，所述流路部件具備流入液體的流入口、流出液體的流出口、以及使液體從所述流入口至所述流出口循環的循環路，過濾器不介于所述流入口或所述流出口與所述通道之間的任意流路。
2.如權利要求1所述的液體噴射頭，其中，在所述致動器基板的所述蓋板一側的表面排列有多個所述通道，所述液體供給室與所述通道連通并沿所述通道的排列方向形成為長尺狀，所述循環路的與液體流動的方向正交的方向的截面積大于與所述液體供給室的長度方向正交的方向的截面積。
3.如權利要求1或2所述的液體噴射頭，其中，所述液體供給室在所述蓋板的所述流路部件側的表面開口，所述循環路在所述流路部件的所述蓋板側的表面開口，并且以所述循環路的開口與所述液體供給室的開口重疊的方式設置。
4.如權利要求1或2所述的液體噴射頭，其中，與所述循環路的液體流動的方向正交的方向的截面積從上游側向下游側逐漸變小。
5.如權利要求1或2所述的液體噴射頭，其中，所述頭芯片具有層疊第一頭芯片和第二頭芯片的結構。
6.如權利要求5所述的液體噴射頭，其中，所述第一頭芯片和所述第二頭芯片具有致動器基板彼此相對并接合的對稱結構，所述流路部件包含設置于所述第一頭芯片的第一流路部件、以及設置于所述第二頭芯片的第二流路部件，所述頭芯片具備從所述第一流路部件的一側貫通至所述第二流路部件的一側的流入貫通孔和流出貫通孔，所述第二流路部件經由所述流入貫通孔從所述第一流路部件流入液體，并經由所述流出貫通孔將液體流出至所述第一流路部件。
7.如權利要求5所述的液體噴射頭，其中，所述第一頭芯片和所述第二頭芯片具有致動器基板彼此相對并接合的對稱結構，所述流路部件包含設置于所述第一頭芯片的第一流路部件、以及設置于所述第二頭芯片的第二流路部件，所述第一流路部件和所述第二流路部件夾著所述第一及第二頭芯片并具有對稱的結構。
8.如權利要求1或2所述的液體噴射頭，其中，在重力方向上所述循環路比所述液體供給室靠上方位置設置。
9.一種液體噴射裝置，具備權利要求1或2所述的液體噴射頭；移動機構，使所述液體噴射頭往復移動；液體供給管， 將液體供給至所述液體噴射頭；以及液體罐，將所述液體供給至所述液體供給管。
全文摘要
本發明的液體噴射頭(1)具備形成有液體吐出用的通道(5)的致動器基板(3)和形成有將液體供給至通道(5)的液體供給室(6)的蓋板(4)層疊的頭芯片(2)、以及設置于蓋板(4)并將液體供給至液體供給室(6)的流路部件(7)。在此，流路部件(7)具備流入液體的流入口(8)、流出液體的流出口(9)、以及使液體從流入口(8)至流出口(9)循環的循環路(10)，并且過濾器不介于流入口(8)或流出口(9)與通道(5)之間的任意流路。從而防止混入液體中的氣泡、塵埃滯留于頭內，或者堵塞噴嘴而使吐出特性變差的情況。
文檔編號B41J2/045GK103009810SQ20121036890
公開日2013年4月3日 申請日期2012年9月27日 優先權日2011年9月27日
發明者坂田明史, 堂前美德 申請人:精工電子打印科技有限公司